【課題】 高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、下部層と上部層からなる硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、下部層は、（Ｔｉ，Ａｌ）系複合窒化物あるいは複合炭窒化物層からなり、上部層は、（Ｃｒ，Ａｌ）系複合窒化物層であって、かつ、該上部層は、立方晶構造からなる薄層Ａと、立方晶構造と六方晶構造の混在する薄層Ｂの交互積層構造として構成されている。 （もっと読む）

【課題】 高速切削加工において、硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、硬質被覆層は、（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層または（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層（但し、Ｍは、ＳｉまたはＢから選ばれる１種または２種の元素）を備え、該（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層、（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層は、立方晶構造からなる薄層Ａと、立方晶構造と六方晶構造の混在する薄層Ｂの交互積層構造からなる。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐ピッチング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、組成式：（Ａｌ_{１−α−β}Ｃｒ_αＭ_β）Ｎ_γで表した場合、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．９≦γ≦１（Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分）を満足する均一組成のＡｌとＣｒのＭの複合窒化物層、（ｂ）上部層として、組成式：（Ａｌ_{１−α−β}Ｃｒ_αＭ_β）Ｎ_δで表した場合、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．５≦δ＜１を満足する平均組成を有し、かつ、上部層表面における窒素含有割合（ε値）が、０≦ε≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層、を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】レンズの表面に成膜する際に、曲率半径の小さい小径レンズに対しても均一な膜厚の膜を形成する。
【解決手段】レンズＬを回転自在に支持する１個以上のレンズ支持部材３０が真空槽２内に設けられている。各レンズ支持部材３０は、レンズＬの中心軸の角度が個別に設定可能となっている。これにより、レンズ支持部材３０ごとに回転軸の角度を設定できることから、曲率半径の小さい小径レンズＬに対しても、均一な膜厚の膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】本願発明の目的は、高い皮膜硬度と潤滑性を兼ね備えた皮膜を提供することを課題とする。
【解決手段】基材に被覆される皮膜はＡ層とＢ層の積層で、該Ａ層は金属硼化物で、金属はＡｌ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｚｒから選択される１種以上、該Ｂ層は炭素を含有する層、該Ａ層と該Ｂ層は夫々５０ｎｍ以下の層厚の積層構造、該Ａ層の平均層厚をＴＡ（ｎｍ）、該Ｂ層の平均層厚をＴＢ（ｎｍ）としたとき、ＴＢ／ＴＡの値がＴＢ／ＴＡ≦０．６、該Ａ層は六方晶の結晶構造、であることを特徴とする皮膜である。 （もっと読む）

【課題】成膜レートを低下させることなく、基板上に形成される薄膜の厚み分布を改善できる成膜方法を提供する。
【解決手段】真空槽内の略中央付近に軸線Ｚ１の回りに自転するメインドラム６を配置し、中心付近の領域には筒状の反応プロセスゾーン３０を配置する。メインドラム６の外周には開口窓６６がドラムの自転方向に沿って複数形成してあり、この開口窓６６を通じてメインドラム６内側の反応プロセスゾーン３０と、メインドラム６外側の成膜プロセスゾーン２０とが連通する。メインドラム６の内側には、軸線Ｚ１と同心の円上に沿って、かつ略等分周した位置に４つの軸線Ｚ２が形成してあり、各軸線Ｚ２の回りに回転するサブドラム１２が配置してある。サブドラム１２の外周には基板ホルダ１４が装着してあり、サブドラム１２の自転と同期して基板ホルダ１４も回転する。メインドラム６の回転速度とサブドラム１２の回転速度はそれぞれ独立に制御される。 （もっと読む）

【課題】ビアの側面や底面に対する蒸着膜の付き回り性を向上させる。
【解決手段】本発明に係る真空蒸着装置１０は、真空チャンバ１１と、真空チャンバ内に設置された蒸発源１３と、蒸発源に対向して配置されたステージ１５と、ステージを面内で回転させる回転手段１８と、蒸発源に対するステージの設置角度を変化させる角度調整手段１９とを備える。そして、基板Ｗを面内で回転させるとともに、基板の表面に対する蒸発粒子の入射角が連続的に変化するように基板の傾斜角を蒸発源に対して変化させながら、基板の表面に蒸発粒子を堆積させる。これにより、基板の半径位置に関係なく、ビアの側面や底面に対する蒸着膜の付き回り性を高めることができる。また、これに伴って、基板面内において蒸着膜のカバレッジ特性の均一化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】回転部の位置確認が不要な連続式成膜装置を提供する。
【解決手段】連続式成膜装置１は、成膜室２と、真空室３と、ゲートバルブ４とを備えている。また、連続式成膜装置１は、基板ホルダ１１を有する回転部５１と、固定部５２とを有し、回転部５１が固定部５２に対して相対回転することにより基板ホルダ１１を自公転させる自公転機構５と、回転部５１と係合して回転部５１を回転駆動する回転駆動手段７と、成膜室２と真空室３との間で自公転機構５を搬送する搬送手段６とを備えている。自公転機構５は、搬送手段６により搬送される際には、回転部５１と固定部５２とが相対回転不能である搬送形態となり、回転部５１が回転駆動手段７により回転させられる際には、回転部５１と固定部５２とが相対回転可能である自公転形態となる。 （もっと読む）

配列された基材群に材料を堆積させるための装置及び方法。配列された基材群を、第１の回転運動にて１つ以上の成膜材料源を過ぎて移動させることができる。さらに同時に、配列された基材群を、第２の回転運動にて移動させることができる。第１及び第２の回転運動の組み合わせが、各々の基材を、歯車及び軸受を必要とせずに該基材の長手軸を中心にして移動させる。
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【課題】製造歩留まりを向上することが可能な対向ターゲットスパッタ装置を提供すること。
【解決手段】真空維持可能な真空槽と、真空槽内に配置されかつ基板を載置する基板ホルダーと、基板ホルダーに対向して設けられたターゲットを載置するターゲットホルダーと、ターゲットホルダーのうちターゲットを載置する表面の反対側に配置される磁石と、ターゲットホルダーに直流電源を印加するスパッタ電源と、真空槽内にガスを導入或いは排気するガス供排気手段とを備える対向ターゲットスパッタ装置において、磁石は環状の矩形状であり、かつ、磁石の長手方向の中心軸を前記ターゲットホルダーの長手方向の中心軸に対して傾けたことで解決できる。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも多くの被処理物を１度に処理する。
【解決手段】 この発明に係る表面処理装置１０によれば、各被処理物２８，２８，…をプラズマ領域６４に送り込むための公転ユニット３２に複数のホルダユニット３４，３４，…が取り付けられ、これら複数のホルダユニット３４，３４，…のそれぞれに複数の被処理物２８，２８，…が取り付けられる。これにより、従来よりも多くの被処理物２８，２８，…を１度に設置することができる。そして、公転ユニット３２内の大回転板，それぞれのホルダユニット３４内の小回転板，およびそれぞれの被処理物２８を保持するホルダ４０、の各回転数が適切に設定されることで、各被処理物２８，２８，…に対して均一に表面処理が施されると共に、個々の被処理物２８に対してもその表面全体にわたって均一に表面処理が施される。 （もっと読む）

【課題】高硬度材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＣの１種又は２種以上からなるＴｉ化合物：３５〜５０％、Ａｌ及び／又はＡｌ_２Ｏ_３：８〜１６％、ＷＣ：１〜６％、残部：ｃ−ＢＮ（いずれも質量％）からなる圧粉体の超高圧焼結材料で構成され、分散相を形成するｃ−ＢＮ相と連続相を形成するＴｉ化合物相との界面に超高圧焼結反応生成物が介在した組織を有するインサート本体の表面に、硬質被覆層として、（Ｔｉ_１−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ層（原子比で、Ｘ＝０．４〜０．６５）からなる下部層と、上部層とを蒸着形成し、該上部層は、ＴｉＮ層とＴｉ（Ｃ_ＹＮ_１−Ｙ）層（原子比で、Ｙ＝０．１〜０．７）との交互積層構造として構成する。 （もっと読む）

【課題】耐酸性に優れ、かつ接触抵抗が低い燃料電池用金属セパレータおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る燃料電池用金属セパレータ１は、表面が平面の、または、表面の少なくとも一部に凹形状のガス流路が形成される金属基材２を用いて製造された燃料電池用金属セパレータであって、金属基材２の表面に、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａから選択される１種以上の非貴金属を含んでなる耐酸性金属皮膜３と、この耐酸性金属皮膜３の上にＡｕ、Ｐｔから選択される１種以上の貴金属、および、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａから選択される１種以上の非貴金属を含んでなる導電性合金皮膜４と、を有する構成とした。また、本発明に係る燃料電池用金属セパレータの製造方法は、耐酸性金属皮膜を成膜する工程Ｓ１と、導電性合金皮膜を成膜する工程Ｓ２と、を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】成膜効率の高い成膜装置を実現する。
【解決手段】板状の反転治具５７に基板Ｗを複数保持し、基板を保持する４枚の反転治具５７を保持する基板ホルダ５０を、真空チャンバー内に基板Ｗと蒸着源とが対向するように配置し、真空蒸着を開始する。蒸着源と対向する基板Ｗが成膜された場合、基板ホルダ５０を９０度回転させる。１面が成膜された反転治具５７を、反転治具５７と一体になったゼネバ５８１を回転させることで反転させる。全ての反転治具５７の両面が成膜されるまで、真空蒸着を継続する。 （もっと読む）

【課題】ワーク自公転方式の優れた特徴を活かし、高均一膜と高生産性を同時に達成することが可能な薄膜処理装置を提供すること。
【解決手段】ワークを自公転させる歯車機構を１つの搬送できるモジュールとすることにより、モジュールをロードロック室からスパッタ室へ搬送する機構及び、スパッタ室にてモジュール内の固定ステージを固定する外串と、回転ステージに回転駆動を伝達する回転部を設置することにより、ワークを高速自公転することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｃｒ_1−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎあるいは組成式：（（Ｃｒ_1−ＺＭ_Ｚ）_1−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、０．４５≦Ｘ≦０．７５、０．０１≦Ｚ≦０．２５）を満足するＣｒとＡｌ（とＭ）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点間とでＡｌおよびＣｒ含有量がそれぞれ連続的に変化する組成変化（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層または組成変化（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分）からなる下部層、（ｂ）層厚方向に向かって酸素含有割合が高くなる酸素濃度分布構造を有し、最下面では酸素を実質的に含有せず、最表面では窒素を実質的に含有しない組成傾斜型酸窒化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点間とでＡｌおよびＣｒ含有量がそれぞれ連続的に変化する組成変化（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層または組成変化（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分）からなる下部層、（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｃｒ_1−ＸＹ_Ｘ）Ｎ（但し、原子比で、０．００１≦Ｘ≦０．１）を満足するＣｒとＹの複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）ＣｒとＡｌの複合窒化物層、あるいは、ＣｒとＡｌとＭ（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）層厚方向に向かって酸素含有割合が高くなる酸素濃度分布構造を有し、最下面では酸素を実質的に含有せず、最表面では窒素を実質的に含有しない組成傾斜型酸窒化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）