【課題】十分なＥＭ耐性および配線間ＴＤＤＢ寿命を確保しつつ、層間絶縁膜の低誘電率化を行っても絶縁膜ライナー膜厚を薄くすることができ、配線間の実効比誘電率Ｋｅｆｆを低減した高速で高信頼性な配線を得ることができる。
【解決手段】第１の絶縁膜１には配線溝Ｍ１が形成されており、配線溝Ｍ１内にはＣｕ膜２ｂが設けられている。Ｃｕ膜２ｂの上にはＳｉＣＮ膜３ａ、ＳｉＣＯ膜３ｂおよびＳｉＯＣ膜４ａが順に設けられており、ＳｉＯＣ膜４ａはＳｉＣＮ膜３ａおよびＳｉＣＯ膜３ｂよりも低誘電率な絶縁膜である。ＳｉＣＯ膜３ｂの上面には、高密度化処理が施されて高密度膜３ｃが形成されている。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）上部層として、平板多角形（平坦六角形状を含む）状かつたて長形状の結晶粒組織構造を有し、Ｚｒを含有するα型Ａｌ_２Ｏ_３を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層の結晶粒の内、面積比率で６０％以上の結晶粒の内部は、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断されている。 （もっと読む）

【課題】高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下部層として、密着性Ｔｉ化合物層と縦長成長結晶組織を有する改質Ｔｉ系炭窒化物層、上部層としてＡｌ_２Ｏ_３層からなる硬質被覆層を形成し、前記改質Ｔｉ系炭窒化物層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面、｛１１０｝面および｛１１１｝面の各法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、｛１１２｝面、｛１１０｝面および｛１１１｝面についての測定傾斜角が、前記表面研磨面の法線に対して０〜１０度の傾斜角の範囲内にあるそれぞれの結晶粒子の総面積Ａ、総面積Ｂ、総面積Ｃの比Ａ／ＢおよびＡ／Ｃの値がいずれも２〜８である結晶配向性を示す。 （もっと読む）

【課題】高熱発生を伴い、かつ、切刃に対して衝撃的負荷が作用する高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下部層として、密着性Ｔｉ化合物層と縦長成長結晶組織を有する改質Ｔｉ系炭窒化物層、上部層としてＡｌ_２Ｏ_３層からなる硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、前記改質Ｔｉ系炭窒化物層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線および｛１１０｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうちで、｛１１２｝面についての測定傾斜角および｛１１０｝面についての測定傾斜角が、前記表面研磨面の法線に対して０〜１０度の傾斜角の範囲内にあるそれぞれの結晶粒子の総面積Ａと総面積Ｂを求めた場合、Ａ／Ｂが２〜９である結晶配向性を示す改質Ｔｉ系炭窒化物層である。 （もっと読む）

【課題】 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層として、粒状結晶組織のＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層のうちの少なくとも１層、（ｂ）中間層として、粒状結晶組織のＣｒＣＮＯ層、（ｃ）上部層として、縦長成長結晶組織のＴｉＣＮ層、（ｄ）最表面層として、Ａｌ_２Ｏ_３層、上記（ａ）〜（ｄ）からなる硬質被覆層を蒸着形成し、必要により、上記（ｃ）と（ｄ）の間に、密着層として、粒状結晶組織のＴｉ化合物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】酸化アルミニウム膜の密着性を高め、皮膜の耐剥離性に優れた被覆工具を提供する。
【解決手段】基体表面に周期律表４ａ、５ａ、６ａ族金属から選択される元素の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物、炭酸化物、窒酸化物及び炭窒酸化物のいずれか１種の単層皮膜又は２種以上の多層皮膜が形成され、皮膜の上層に結合膜を介してα型酸化アルミニウム膜が形成されている被覆工具において、結合膜とα型酸化アルミニウム膜との界面における結合膜の表面形状が樹状突起８と、これに連なる枝状突起９とからなる樹枝形状を有し、枝状突起の長さｎｍをＬＢとしたとき、５≦ＬＢ≦２００、であり枝状突起とα型酸化アルミニウム膜との界面は、透過電子顕微鏡の観察により連続した格子縞を有することを特徴とする被覆工具である。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下部層として、密着性Ｔｉ化合物層と縦長成長結晶組織を有する改質Ｔｉ系炭窒化物層、上部層としてＡｌ_２Ｏ_３層からなる硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、前記改質Ｔｉ系炭窒化物層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線および｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうちで、｛１１２｝面についての測定傾斜角および｛１１１｝面についての測定傾斜角が、前記表面研磨面の法線に対して０〜１０度の傾斜角の範囲内にあるそれぞれの結晶粒子の総面積Ａと総面積Ｂを求めた場合、Ａ／Ｂが２〜９である結晶配向性を示す改質Ｔｉ系炭窒化物層である。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金からなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、粒状結晶組織のＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層のうちの少なくとも１層、（ｂ）中間層として、粒状ＴｉＷＣＮＯ層、（ｃ）上部層として、縦長成長結晶組織のＴｉＣＮ層、（ｄ）最表面層として、Ａｌ_２Ｏ_３層、上記（ａ）〜（ｄ）を蒸着形成し、必要により、上記（ｃ）と（ｄ）の間に、密着層として、粒状結晶組織のＴｉ化合物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】プレス金型のコーティング皮膜の耐焼付き性，耐摩耗性を向上し、かつその摩耗を目視で簡便に判定する技術を提供する。
【解決手段】プレス金型の表面に第１コーティング皮膜を形成し、第１コーティング皮膜の上面にその第１コーティング皮膜と異なる色調を有する第２コーティング皮膜を形成し、第２コーティング皮膜が摩耗して第１コーティング皮膜が露出するまでプレス金型を使用する。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層からなる下部層と、Ａｌ−Ｚｒ複合酸化物層と改質Ｔｉ炭窒酸化物層の交互積層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｚｒ複合酸化物層は、組成式（Ａｌ_１−ＸＺｒ_Ｘ）_２Ｏ_３（０．００３≦Ｘ≦０．０５）を満足し、また、改質Ｔｉ炭窒酸化物層は、層の縦断面研磨面の法線に対して、（００１）面および（０１１）面の法線がなす傾斜角を測定し、（００１）面の法線同士および（０１１）面の法線同士の交わる角度が２度以上の場合を粒界と設定した場合、測定領域において粒界として識別される結晶粒相互間の界面のうち、（００１）面の法線同士、および（０１１）面の法線同士の交わる角度が１５度以上の粒界の長さＧＢＬと、測定した層の層厚Ｔの比の値ＧＢＬ／Ｔが３２０〜６００を示す。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮し、厚膜化が可能な表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層からなる下部層と、Ａｌ_２Ｏ_３層と改質（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮＯ層の交互積層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、改質（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮＯ層は、層の縦断面研磨面の法線に対して、（００１）面および（０１１）面の法線がなす傾斜角を測定し、（００１）面の法線同士および（０１１）面の法線同士の交わる角度が２度以上の場合を粒界と設定した場合、測定領域において粒界として識別される結晶粒相互間の界面のうち、（００１）面の法線同士、および（０１１）面の法線同士の交わる角度が１５度以上の粒界の長さＧＢＬと、測定した層の層厚Ｔの比の値ＧＢＬ／Ｔが２５０〜５００を示す。 （もっと読む）

【課題】エッチングされた所望のアスペクト比の提供。
【解決手段】構造を形成するための方法が、基板の表面にわたって少なくとも１つの特徴部を形成するステップを含む。少なくとも１つの特徴部の上には窒素含有誘電体層を形成する。少なくとも１つの特徴部の少なくとも１つの側壁上の窒素含有層の第１の部分を、第１の速度で取り除き、少なくとも１つの特徴部の底部領域に隣接する基板の上の窒素含有層の第２の部分を、第２の速度で取り除く。第１の速度は第２の速度よりも大きい。窒素含有誘電体層の上に誘電体層を形成する。 （もっと読む）

【課題】高切込み・高送りの重切削加工で、硬質被覆層がすぐれた層間付着強度および耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、硬質被覆層として、少なくとも、Ｔｉ化合物層と酸化アルミニウム層を化学蒸着で形成してなる表面被覆切削工具において、工具基体とＴｉ化合物層の間に、組成式：Ｗ（Ｃ_１−ＸＮ_Ｘ）を満足するＷの炭窒化物（Ｘは原子比で、０．００５≦Ｘ≦０．１）を主体とする下地層を介在形成し、また、下地層についてオージェ電子分光分析した場合、Ｔｉ化合物層と下地層の界面近傍に、Ｃｏ濃度の最高点が存在する。 （もっと読む）

【課題】高速高送り断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ系化合物層からなる下部層と、Ａｌ_２Ｏ_３層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、Ｔｉ系化合物層のうちの少なくとも一つの層が、（Ｔｉ_１−ＸＣｒ_Ｘ）Ｃ_１−ＹＮ_Ｙ（原子比で、０．００５≦Ｘ≦０．０５、０．４５≦Ｙ≦０．５５）を満足するＴｉＣｒＣＮ層であり、また、少なくとも他の一つの層が、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、層の縦断面研磨面の法線に対して、（００１）面および（０１１）面の法線がなす傾斜角を測定し、（００１）面の法線同士および（０１１）面の法線同士の交わる角度が２度以上の場合を粒界と設定した上で、測定領域において粒界として識別される結晶粒相互間の界面のうち、（００１）面の法線同士、および（０１１）面の法線同士の交わる角度が１５度以上の粒界の長さＧＢＬと、測定したＴｉＣＮＯ層の層厚Ｔの比の値ＧＢＬ／Ｔが３２０〜６００である改質ＴｉＣＮＯ層で構成する。 （もっと読む）

【課題】高速高送り断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、少なくとも、ＴｉとＺｒの複合炭窒化物層およびＺｒの炭窒化物層のうちの１層または２層以上と、１層以上のＴｉＣＮＯ層とからなる下部層と、Ａｌ_２Ｏ_３層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上記ＴｉＣＮＯ層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、層の縦断面研磨面の法線に対して、（００１）面および（０１１）面の法線がなす傾斜角を測定し、（００１）面の法線同士および（０１１）面の法線同士の交わる角度が２度以上の場合を粒界と設定した上で、測定領域において粒界として識別される結晶粒相互間の界面のうち、（００１）面の法線同士、および（０１１）面の法線同士の交わる角度が１５度以上の粒界の長さＧＢＬと、測定したＴｉＣＮＯ層の層厚Ｔの比の値ＧＢＬ／Ｔが３２０〜６００である改質ＴｉＣＮＯ層からなる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、耐摩耗性および耐欠損性を両立させるとともに、基材と被覆層との密着性にも優れた刃先交換型切削チップを提供することにある。
【解決手段】本発明の刃先交換型切削チップは、基材と該基材上に形成された被覆層とを備えるものであって、該被覆層は、ＴｉＣＮ層を少なくとも含む複数の層からなり、その複数の層のうち少なくとも１層は圧縮残留応力が付与されており、該ＴｉＣＮ層は、ＴｉＣＮを主体とする層であり、Ｘ線回折において（４２２）面に最高ピーク強度を有するとともに（３１１）面に第２のピーク強度を有し、かつ（４２２）面のピーク強度Ｉ（４２２）と（３１１）面のピーク強度Ｉ（３１１）とのピーク強度比Ｉ（４２２）／Ｉ（３１１）が１．１以上１０以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、特に高速切削速度での鋼の湿式または乾式フライス加工、硬化鋼のフライス加工、および工具鋼の高速送りの倣いフライス加工に有用な、コーティングした超硬合金インサート（切削工具）に関係する。
【解決手段】この切削工具インサートは、ＷＣ、ＮｂＣおよびＴａＣを含む超硬合金本体、Ｗ合金Ｃｏバインダー相、ならびに等軸粒子を伴うＴｉＣ_ｘＮ_ｙＯ_ｚの最内層、柱状粒子を伴うＴｉＣ_ｘＮ_ｙＯ_ｚの層およびα−Ａｌ_２Ｏ_３の層を含むコーティング、によって特徴づけられる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、耐摩耗性および耐欠損性を両立させるとともに、基材と被覆層との密着性にも優れた刃先交換型切削チップを提供することにある。
【解決手段】本発明の刃先交換型切削チップは、基材と該基材上に形成された被覆層とを備えるものであって、該被覆層は、複数の層からなり、その最表面層のみに圧縮残留応力が付与されており、該最表面層は、Ｔｉの炭化物、窒化物および炭窒化物のいずれかを主成分とする層であり、かつそれに付与される圧縮残留応力は０．０５ＧＰａ以上２ＧＰａ以下であり、該被覆層は、該最表面層の内側に少なくとも１層のＡｌ₂Ｏ₃を主体とするアルミナ層を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】鋼のフライス加工に対して向上した性能を持つ被膜付き切削工具を提供する。
【解決手段】鋼の湿式または乾式フライス加工に特に有用な、被膜付き超硬合金インサート（切削工具）であって、ＷＣ、ＮｂＣおよびＴａＣ、Ｗ合金化Ｃｏバインダー相を含んでなる超硬合金ボディならびに等軸粒子を持つＴｉＣ_xＮ_yＯ_zの最内層、柱状粒子を持つＴｉＣ_xＮ_yＯ_z層およびαＡｌ₂Ｏ₃層を含んでなる被膜により特徴づけられる。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れると共に、良好な仕上げ面光沢が得られる切削工具を提供する。
【解決手段】切削工具10は、超硬合金層11とサーメット層12とが積層されてなり、すくい面全面が超硬合金層11で形成され、逃げ面が超硬合金層11とサーメット層12との積層面で形成される。切刃部分(切削工具10の角部)は、超硬合金層11が薄く、工具10の最大厚さをh1、切刃部分に存在する超硬合金層の最大厚さをh2とするとき、h2/h1が0.002以上0.02以下を満たす。すくい面側にサーメットよりも靭性に優れる超硬合金層を具えることで、切屑などとの接触による衝撃に強く、切刃部分の逃げ面側におけるサーメット層の割合が高いことで、良好な仕上げ面光沢が得られる。 （もっと読む）