【課題】単一のＳｉＣ超硬合金層、または少なくとも１つのＳｉＣ超硬合金層を含むＳｉＣ多層構造体で被覆された物体、および物体を単一のＳｉＣ超硬合金層、または少なくとも１つのＳｉＣ超硬合金層を含むＳｉＣ多層構造体で被覆する方法を提供する。
【解決手段】単一のＳｉＣ層は、ハロゲン元素を含むナノ結晶３Ｃ−ＳｉＣから、ＳｉＣ多層構造体は、ハロゲン元素を含むナノ結晶３Ｃ−ＳｉＣおよび非晶質ＳｉＣの混合物、またはハロゲン元素を含むナノ結晶３Ｃ−ＳｉＣおよび非晶質炭素の混合物から形成する。被覆は、Ｈ₂および／または１種もしくは複数種の不活性ガス、一般式Ｓｉ_nＸ_2n、Ｓｉ_nＸ_2n+2もしくはＳｉ_nＸ_yＨ_z（ここで、Ｘはハロゲン元素、ｎ≧２）で表される１種または複数種のハロゲン化ポリシラン、ならびに１種もしくは複数種の炭化水素を含む混合ガスを用いて、熱ＣＶＤプロセスを介して行う。 （もっと読む）

【課題】難削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層からなる下部層、改質酸化アルミニウム層からなる中間層及び改質酸化クロム層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、中間層及び上部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占め、また、上部層と中間層の界面に臨んで存在するΣ３対応粒界の数と位置を測定した場合、上記界面に臨んで存在する中間層Σ３対応粒界のうちの３０〜７０％が、上部層Σ３対応粒界と連続する結晶粒界を形成している。 （もっと読む）

【課題】ステンレス鋼、ダクタイル鋳鉄等の難削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層としてα型Ａｌ_２Ｏ_３層、（ｃ）上部層として、平板多角形状かつたて長形状の結晶粒組織構造を有するＣｒ含有α型Ａｌ_２Ｏ_３層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、中間層及び上部層は、それぞれ、（０００１）面配向率の高いα型Ａｌ_２Ｏ_３層、Ｃｒ含有α型Ａｌ_２Ｏ_３層からなり、また、上部層の結晶粒の内、面積比率で６０％以上の結晶粒の内部は、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断されている。 （もっと読む）

【課題】 硬質合金鋼の高速連続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層と中間層と上部層とからなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層はＴｉ化合物層、中間層は（０００１）面配向率が高いα型Ａｌ_２Ｏ_３層、上部層は、Ａｌ_２Ｏ_３相とＣｒ_２Ｏ_３相の均一混合組織層であって、さらに、該混合組織層の各結晶面のうちの相互に隣接する結晶粒の界面で、１つの構成原子を共有する格子点（構成原子共有格子点）の分布を算出し、前記構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がＮ個存在する構成原子共有格子点形態をΣＮ＋１で表した場合、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が４０〜６０％である。 （もっと読む）

【課題】 高速高送り切削加工において硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ） 下部層として、窒化チタン層及び縦長成長結晶組織を有する炭化チタン層、（ｂ）密着性層として、微粒縦長成長結晶組織を有する炭化チタン層、（ｃ）中間層として、上記密着性層に隣接して形成された縦長成長結晶組織を有する炭窒化チタン層、及び、炭窒化チタン層に挟まれた状態で存在し、かつ、微粒縦長成長結晶組織を有する少なくとも一層または複数層の炭化チタン層を含むＴｉ化合物層、（ｄ） 上部層として、酸化アルミニウム層、上記（ａ）〜（ｄ）で構成された硬質被覆層を１５〜３０μｍの全体平均層厚で形成する。 （もっと読む）

【課題】 硬質合金鋼の高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層と中間層と上部層とからなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層はＴｉ化合物層、中間層は（０００１）面配向率が高いα型Ａｌ_２Ｏ_３層、上部層は、Ａｌ_２Ｏ_３相とＣｒ_２Ｏ_３相の混合組織を有し、上部層の中間層側（工具基体側）よりも上部層の表面側においてより多くの酸化クロムを含有する混合組織層であって、さらに、該混合組織層の各結晶面のうちの相互に隣接する結晶粒の界面で、１つの構成原子を共有する格子点（構成原子共有格子点）の分布を算出し、前記構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がＮ個存在する構成原子共有格子点形態をΣＮ＋１で表した場合、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が３０〜５０％である。 （もっと読む）

【課題】 刃先に大きな衝撃がかかる切削においてもαＡｌ_２Ｏ_３層とＴｉＣＮ層との界面で破壊が起きず、αＡｌ_２Ｏ_３層が剥離しない切削工具を提供する。
【解決手段】 基体２表面にＴｉＣＮ層４とαＡｌ_２Ｏ_３層６を順に形成し、すくい面１１においてαＡｌ_２Ｏ_３層６の表面を鏡面とした状態で電界放出型走査顕微鏡を用いて後方散乱電子回折像解析からαＡｌ_２Ｏ_３層の各結晶の結晶方位を特定し、これに基づいてカラーマップを作成したとき、５０〜９０面積％が長径１μｍ〜３μｍの粗粒子２１、０〜２０面積％が長径０．５μｍより大きくて１μｍより小さい中粒子２３、１０〜５０面積％が長径０．０５μｍ〜０．５μｍの微粒子２２で構成され、かつ、粗粒子２１のうちの８０面積％以上が（０，０，０，１）面の結晶方位を持つとともに、微粒子２２のうちの５０面積％以上が（１，０，−１，０）面の結晶方位を持っている切削工具１である。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層として、Ｔｉ化合物層からなる下部層と酸化アルミニウム層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層と下部層の界面には、三次元網状構造の界面組織が形成され、該界面組織の三次元網状構造は六方晶の結晶構造を有するＴｉ酸化物で構成され、該網状構造の網目間隙には酸化アルミニウムが充填され、さらに、該界面組織の断面を走査型電子顕微鏡で観察した場合、単位断面積当り、酸化アルミニウムが充填された直径１０〜５００ｎｍの網目間隙が３０箇所以上存在する。 （もっと読む）

【課題】刃先に大きな衝撃がかかる切削においても酸化アルミニウム層とチタン層との界面で破壊が起きず、酸化アルミニウム層が剥離しない安定した切削性能を発揮する切削工具を提供する。
【解決手段】基体の表面に、少なくとも炭窒化チタン層３とα型結晶のαα酸化アルミニウム層４を基体側から順に含む硬質被覆層を形成してなり、硬質被覆層の断面組織において、炭窒化チタン層３とαα酸化アルミニウム層４との間は、炭窒化チタン層３の先端に高さ０．２μｍ〜１．０μｍで、中間高さにおける幅が０．１μｍ〜１．５μｍの突起７が並んでおり、かつ、突起７の側面に高さ２０ｎｍ〜１００ｎｍで、中間高さにおける幅が１０ｎｍ〜５０ｎｍの小突起８を有する表面被覆切削工具である。 （もっと読む）

プラズマ増強原子層堆積（ＰＥＡＬＤ）を使用して誘電体層上に導電性の金属層を形成する方法を、関連する組成物および構造と共に提供する。ＰＥＡＬＤによって導電層を堆積する前に、非プラズマ原子層堆積（ＡＬＤ）プロセスによって誘電体層上にプラズマバリア層を堆積する。プラズマバリア層は、誘電体層上のＰＥＡＬＤプロセスにおけるプラズマ反応物質の有害作用を減少させるか、または防止し、接着を増強することができる。非プラズマＡＬＤプロセスおよびＰＥＡＬＤプロセスの双方において、同じ金属反応物質を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工において、優れた耐熱塑性変形性、層間密着強度を示す表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】下部層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、（ａ）下部層は、Ｔｉの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物および炭窒酸化物のいずれか１種又は２種以上からなるＴｉ化合物層、（ｂ）上部層は、Ｙ（イットリウム）を０．１〜２原子％含有するとともに、該上部層についてＸ線回折を行ったときにＹ_２Ｏ_３の（８４０）面からの回折強度Ｉ（８４０）の値が最大回折強度を示し、かつ、他のＹ_２Ｏ_３の結晶面で２番目に大きい回折強度Ｉsecとの比の値Ｉ（８４０）／Ｉsecが１．５以上であるＹ_２Ｏ_３分散Ａｌ_２Ｏ_３層、で構成する。 （もっと読む）

【課題】 難削材の高速断続切削で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体表面に、（ａ）Ｔｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）Ｃｒ／（Ａｌ＋Ｃｒ）の値（原子比）が０．００１〜０．１であるＡｌとＣｒの複合酸化物層と、改質α型酸化アルミニウム層の積層構造からなる上部層を形成し、さらに、上記ＡｌとＣｒの複合酸化物層と上記改質α型酸化アルミニウム層は、各層を構成する結晶粒について、隣接する結晶粒相互の界面における（０００１）面の法線同士および｛１０−１０｝面の法線同士の交わる角度が１５度以下の結晶粒界面単位が全結晶粒界面単位の、それぞれ３５％以上および４５％以上を占める結晶粒界面配列を示す。 （もっと読む）

【課題】炭窒化ケイ素膜形成用前駆体の化学気相成長により基材上に膜を形成するための方法を提供する。
【解決手段】


式中、Ｒが、直鎖、分枝若しくは環状の飽和若しくは不飽和のＣ₁〜Ｃ₁₀アルキル基、芳香族、複素環、又は式Ｃのシリルから選択され、Ｒ¹が、直鎖、分枝又は環状の飽和又は不飽和のＣ₂〜Ｃ₁₀アルキル基、芳香族、複素環、水素、シリル基から選択され、置換基を選択的に有無し、式Ａ中のＲとＲ¹を結合して環状基（ＣＨ₂）_n（式中、ｎは１〜６）にしてもよく、Ｒ²が、単結合、（ＣＨ₂）_n鎖、環、ＳｉＲ₂又はＳｉＨ₂を表すアミノシランからなる前駆体及び混合物を用いる。 （もっと読む）

【課題】高速切削条件下でクレーター摩耗を低減しかつ高度な耐摩耗性を付与する被膜を備えた表面被覆切削工具の提供。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、この被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＴｉとＺｒとを少なくとも含む硬質被膜層であり、この硬質被膜層は、ＴｉとＺｒの含有量が硬質被膜層の厚み方向に沿って変化する組成構造を有し、この変化は、Ｔｉの含有量が極大となるＴｉ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ｔｉ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ｔｉ極大含有点におけるＴｉの含有比率Ｔｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９≦Ｔｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）≦０．９９９９であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）≦０．２であることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、超硬合金基材及びコーティングから成る切削工具インサートに関する。該超硬合金基材は、ＷＣ、８〜１１質量％のＣｏ、６．５〜１１質量％のＩＶｂ族、Ｖｂ族及びＶＩｂ族に由来する金属の立方晶炭化物を含み、バインダー相はタングステンとの高合金である。該超硬合金は８〜１４ｋＡ／ｍの保磁力を有する。該コーティングは、ＴＣ（００６）＞２及び＜６の組織係数を有する柱状粒子から成る少なくとも１つの２〜９μｍ厚のα−Ａｌ２Ｏ３層を含む。同時に、ＴＣ（０１２）、ＴＣ（１１０）、ＴＣ（１１３）、ＴＣ（２０２）、ＴＣ（０２４）及びＴＣ（１１６）は全て＜１であり、そしてＴＣ（１０４）は二番目に高い組織係数である。全コーティング厚は７〜１５μｍである。 （もっと読む）

【課題】高速切削条件下でクレーター摩耗を低減しかつ高度な耐摩耗性を付与する被膜を備えた表面被覆切削工具の提供。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、この被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＴｉとＺｒとを少なくとも含む硬質被膜層であり、この硬質被膜層は、ＴｉとＺｒの含有量が硬質被膜層の厚み方向に沿って変化する組成構造を有し、この変化は、Ｔｉの含有量が極大となるＴｉ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ｔｉ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ｔｉ極大含有点におけるＴｉの含有比率Ｔｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９９９＜Ｔｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）≦１であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）≦０．２であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速条件下の切削においてクレーター摩耗を低減するとともに高度な耐摩耗性を付与する被膜を備えた表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、この被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＡｌとＺｒとを少なくとも含む硬質酸化物被膜層であり、ＡｌとＺｒの含有量が該被膜層の厚み方向に沿って変化する組成構造を有し、この変化は、Ａｌの含有量が極大となるＡｌ極大点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ａｌ極大含有点におけるＡｌの含有比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９９９＜Ａｌ≦１であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．２であり、該被膜層は、酸化ジルコニウムを含む。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層としてα型Ａｌ_２Ｏ_３層、（ｃ）上部層として、平板多角形状かつたて長形状の結晶粒組織構造を有するＺｒ含有α型Ａｌ_２Ｏ_３層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、中間層及び上部層は、それぞれ、（０００１）面配向率の高いα型Ａｌ_２Ｏ_３層、Ｚｒ含有α型Ａｌ_２Ｏ_３層からなり、また、上部層の結晶粒の内、面積比率で６０％以上の結晶粒の内部は、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断されている。 （もっと読む）

本発明は、金属機械加工用の工具およびその製法に関し、該工具は、超硬合金、サーメット、セラミックス、または超硬質材料の基材、およびコーティングを含み、該コーティングは、内側アルミナ層および外側チタンホウ窒化物層を含み、ここで前記層が、アルミナ層以外の酸化物層を含む一以上の層によって分離されている。 （もっと読む）

【課題】 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層として、ＴｉＡｌＣ（Ｎ）Ｏ相中に、層厚方向に沿って長く成長した（０００１）面配向率の高い微粒柱状酸化アルミニウム相が均一分散した組織構造を有する、ＴｉＡｌＣ（Ｎ）Ｏ相と酸化アルミニウム相の複層（ｃ）上部層は、化学蒸着した状態で六方晶の結晶構造を有する酸化アルミニウム層からなり、さらに、該上部層の酸化アルミニウム層は、（０００１）面あるいはさらに（１１−２０）面の高い配向率を示す酸化アルミニウム層、を蒸着形成する。 （もっと読む）