【課題】ステンレス鋼、低炭素鋼等の溶着を発生しやすい被削材の切削加工において硬質被覆層がすぐれた耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ超硬合金、ＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）Ｔｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）酸化アルミニウム層からなる中間層、（ｃ）第１上部層と第２上部層とからなる上部層、からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上記第１上部層は、上記中間層に接して形成され、０．５〜５μｍの平均層厚を有し、層中の平均塩素濃度が０．２〜２原子％であるＴｉ化合物層であって、上記第２上部層は、切れ刃稜線部以外では上記第１上部層に接して形成され、０．２〜５μｍの平均層厚を有する酸化アルミニウム層または平均塩素濃度が０．１原子％以下のＴｉ化合物層であって、上記上部層は、切れ刃稜線部において第２上部層が存在せず上記第１上部層が露出して形成されている。 （もっと読む）

【課題】高速断続切削加工において硬質被覆層がすぐれた耐チッピング、耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ超硬合金、ＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）Ｔｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）酸化アルミニウム層からなる上部層、からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上記下部層の層厚方向に０．１μｍの厚み幅間隔で、各厚み幅領域に存在する孔径２〜３０ｎｍの空孔の空孔密度を測定した場合に、空孔密度が２００〜５００個／μｍ^２の厚み幅領域と空孔密度が０〜２０個／μｍ^２の厚み幅領域とが、下部層の層厚方向に沿って、交互に少なくとも複数領域形成されている空孔分布形態を有する。 （もっと読む）

【課題】コーティング付き基材および同基材を作製する方法を提供する。
【解決手段】コーティングは、チタンオキシカーボナイトライドまたはチタンアルミニウムオキシカーボナイトライドの少なくとも１つの層を含み、該層は、酸素原子のチタン原子に対するパーセント比が約０．０１〜約０．０９の範囲内、アルミニウム原子のチタン原子に対するパーセント比が約０〜約０．１の範囲内にある。コーティングは、硬度のヤング率に対する比率が少なくとも０．０６である。基材は切削インサートとすることができる。上記コーティング付き基材を作製する方法も開示され、その方法では、チタンオキシカーボナイトライドまたはチタンアルミニウムオキシカーボナイトライドを含むコーティング層は、ガスの混合物を使用して、約７５０℃〜約９５０℃で基材に中温化学蒸着（ＭＴ−ＣＶＤ）により堆積され、水素ガスの窒素ガスに対する比率は５を超える。 （もっと読む）

【課題】鋼や鋳鉄等の高速連続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）３〜２０μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）１〜１５μｍの平均層厚を有する酸化アルミニウム層からなる中間層、（ｃ）４〜１４μｍの平均層厚の縦長成長結晶組織をもつ改質Ｔｉ炭窒化物層からなる上部層、前記（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の硬質被覆層が化学蒸着により形成された表面被覆切削工具において、（ｄ）上部層を構成する改質Ｔｉ炭窒化物層は、表面から層厚方向に沿って内部側に、深さ０．５〜４．０μｍの範囲内の間隔をおいて、酸素含有量の複数のピークが現れ、該ピーク位置における酸素含有量Ｏ_ＭＡＸは、Ｏ_ＭＡＸ＝３〜８原子％である酸素濃化領域を少なくとも１つ備えている。 （もっと読む）

【課題】高速断続切削加工において硬質被覆層がすぐれた耐チッピング、耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ超硬合金、ＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）Ｔｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）酸化アルミニウム層からなる上部層、からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、前記上部層中に孔径分布がバイモーダルな分布をとる孔径２〜５０ｎｍの微小空孔が分布している。 （もっと読む）

【課題】低誘電率、低エッチングレート、高絶縁性の特性を備える絶縁膜を形成する。
【解決手段】処理容器内の加熱された基板に対して、所定元素含有ガスと、炭素含有ガスと、窒素含有ガスとを供給することで、基板上に所定元素を含む所定厚さの炭窒化層を形成する工程と、処理容器内の加熱された基板に対して、所定元素含有ガスと、酸素含有ガスとを供給することで、基板上に所定元素を含む所定厚さの酸化層を形成する工程と、を交互に繰り返すことで、基板上に、炭窒化層と酸化層とが交互に積層されてなる所定膜厚の酸炭窒化膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた靭性、耐チッピングを備え、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ超硬合金、ＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）改質ＴｉＣＮ層を含むＴｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）酸化アルミニウム層からなる上部層、からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上記改質ＴｉＣＮ層の膜厚方向に、０．０２μｍの厚み幅間隔で、各厚み幅領域における平均粒径Ｄの膜厚方向変化を調べた場合に、平均粒径Ｄが０．５〜１．５μｍである厚み幅領域と、平均粒径Ｄが０．０５〜０．３μｍである厚み幅領域とが、上記改質ＴｉＣＮ層の膜厚方向に沿って、交互に少なくとも複数領域形成されていることによって、下部層の上記改質ＴｉＣＮ層の平均粒径Ｄが膜厚方向に沿って０．５μｍ〜５μｍの周期で周期的に変化する結晶粒組織構造を備える。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下部層として少なくともＴｉＣＮ層を含むＴｉ化合物層、上部層としてＺｒ含有κ−Ａｌ_２Ｏ_３結晶粒とＺｒ含有α−型Ａｌ_２Ｏ_３結晶粒との混合相からなるＺｒ含有Ａｌ_２Ｏ_３層が形成された表面被覆切削工具において、下部層には、ＴｉＣＮ｛１１０｝結晶粒とＴｉＣＮ｛１１２｝結晶粒が合計面積割合で６０％以上形成され、また、ＴｉＣＮ｛１１０｝結晶粒の上方には上部層のＺｒ含有κ−Ａｌ_２Ｏ_３結晶粒が、また、ＴｉＣＮ｛１１２｝結晶粒の上方には上部層のＺｒ含有α−Ａｌ_２Ｏ_３結晶粒が夫々形成され、Ｚｒ含有α−Ａｌ_２Ｏ_３結晶粒のうちの３０％以上はＡｌ_２Ｏ_３{０００１}結晶粒で構成され、Ｚｒ含有α−Ａｌ_２Ｏ_３結晶粒のクラック密度はＺｒ含有κ−Ａｌ_２Ｏ_３結晶粒のそれよりも高い。 （もっと読む）

【課題】 被覆層の耐チッピング性に優れて、耐欠損性に優れる切削工具等の被覆部材を提供する。
【解決手段】 基体の表面を被覆層で被覆した被覆部材であって、前記被覆層はＴｉＣＮ層とＡｌ_２Ｏ_３層が順に積層されており、１００μｍ^２領域で観察した際に、前記ＴｉＣＮ層は、平均粒子幅が３〜６μｍで、各粒子の粒径分布が標準偏差σで前記平均粒子幅の０．３倍以下のＴｉＣＮ粒子からなり、前記Ａｌ_２Ｏ_３層は、粒径３〜６μｍのＡｌ_２Ｏ_３巨大粒子が１０−３０面積％と、粒径０．３〜１．５μｍのＡｌ_２Ｏ_３微細粒子が７０−９０面積％とからなる切削工具１等の被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】高速断続切削加工において硬質被覆層がすぐれた耐チッピング、耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ超硬合金、ＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）Ｔｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）酸化アルミニウム層からなる上部層、からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上記上部層の層厚方向に０．１μｍの厚み幅間隔で、各厚み幅領域に存在する孔径２〜３０ｎｍの空孔の空孔密度を測定した場合に、空孔密度が２００〜５００個／μｍ^２の厚み幅領域と空孔密度が０〜２０個／μｍ^２の厚み幅領域とが、上部層の層厚方向に沿って、交互に少なくとも複数領域形成されている空孔分布形態を有する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた耐熱亀裂性、耐熱性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】少なくとも１層の縦長成長結晶組織を有するＴｉの炭窒化物（ｌ−ＴｉＣＮ）層を含むＴｉ化合物層からなる下部層と酸化アルミニウム層からなる上部層を被覆形成した表面被覆切削工具において、逃げ面およびすくい面に形成されたｌ−ＴｉＣＮ層のそれぞれについて、測定領域にある結晶粒の（００１）面および（０１１）面の法線がなす傾斜角を測定し、（００１）面の法線同士および（０１１）面の法線同士の交わる角度が２度以上の場合を粒界とし、粒界として識別される部分のうち（００１）面の法線同士、（０１１）面の法線同士の交わる角度が１５度以上の粒界の合計長さ（μｍ）を求めたとき、逃げ面の測定領域で求められた粒界の合計長さＧ_Ｆ（μｍ）とすくい面の測定領域で求められた粒界の合計長さＧ_Ｃ（μｍ）は、Ｇ_Ｆ／Ｇ_Ｃ＞１．５の関係を満足する。 （もっと読む）

【課題】耐スクラッチ性、耐磨耗性、及び耐腐食性セラミックスコーティングを金属基材上に備える整形外科用インプラント、並びにかかるコーティングの作製方法を提供する。
【解決手段】金属基材は有利なことに、セラミックスでコーティングされる前に、ＨＩＰ処理され、かつ均質化され、このＨＩＰ処理され、かつ均質化された金属基材は、セラミックスでコーティングされる前に研削され、研磨されることが好ましい。セラミックスコーティングは、窒化チタン、チタン炭窒化物、又は窒化チタン及びチタン炭窒化物の両方の複数の薄い交互層を備えるバンドを含んでもよく、アルミナオーバーコートを含んでもよい。本発明のコーティングは、別の方法で表面の亀裂又はコーティングされた表面上のスクラッチから生じる恐れのあるマイクロ亀裂の成長を抑え、これにより向上した摩耗特徴、耐スクラッチ性、基材材料への腐食性流体の浸透の防止をもたらす。 （もっと読む）

【課題】鋼や鋳鉄等の高速連続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層からなる下部層（但し、上部層と接する下部層は改質ｌ−ＴｉＣＮ層）と、Ａｌ_２Ｏ_３層からなる上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、前記改質ｌ−ＴｉＣＮ層は、Ａｌ_２Ｏ_３層との界面から改質ｌ−ＴｉＣＮ層内部側に深さ０．５〜２．０μｍの範囲内の間隔をおいて、酸素含有量の複数のピークが現れ、該ピーク位置における酸素含有量Ｏ_ＭＡＸは、Ｏ_ＭＡＸ＝３〜８原子％である少なくとも３つの酸素濃化領域を備え、また、前記Ａｌ_２Ｏ_３層は、測定領域の粒界の全長ＧＢ_Ｌ（μｍ）と、測定領域の面積Ｇ_Ａ（μｍ^２）が、ＧＢ_Ｌ／Ｇ_Ａ＝２２〜４１の関係を満足する微細結晶Ａｌ_２Ｏ_３層である。 （もっと読む）

【課題】 鋼や鋳鉄等の高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層からなる下部層（但し、上部層と接する下部層は改質ｌ−ＴｉＣＮ層）と、Ａｌ_２Ｏ_３層からなる上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、上記改質ｌ−ＴｉＣＮ層は、上記Ａｌ_２Ｏ_３層との界面から改質ｌ−ＴｉＣＮ層内部側の深さ０．５〜２．０μｍの範囲内において、酸素含有量のピークが現れ、該ピーク位置における酸素含有量Ｏ_ＭＡＸは、Ｏ_ＭＡＸ＝３〜８原子％である酸素濃化領域を備え、また、上記Ａｌ_２Ｏ_３層は、測定領域の粒界の全長ＧＢ_Ｌ（μｍ）と、測定領域の面積Ｇ_Ａ（μｍ^２）が、ＧＢ_Ｌ／Ｇ_Ａ＝１２〜２８の関係を満足する微細結晶Ａｌ_２Ｏ_３層である。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層として少なくともＴｉＣＮ層を含むＴｉ化合物層、（ｂ）上部層としてα型Ａｌ_２Ｏ_３層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層のＴｉＣＮ層について、｛１１０｝面の法線がなす傾斜角度数分布グラフを作成した場合、０〜１０度の範囲内の傾斜角を有するＴｉＣＮ｛１１０｝結晶粒が、度数全体の５０％以上を占め、また、上部層のα型Ａｌ_２Ｏ_３層について、（０００１）面の法線がなす傾斜角度数分布グラフを作成した場合、３５〜４５度の範囲内の傾斜角を有するＡｌ_２Ｏ_３（１１−２６）結晶粒が、度数全体の６０％以上を占め、さらに、層厚方向に垂直な面内で観察した場合、Ａｌ_２Ｏ_３（１１−２６）結晶粒の平均結晶粒径は、Ａｌ_２Ｏ_３（１１−２６）結晶粒以外の結晶粒の２〜５倍である。 （もっと読む）

【課題】 高い密着性と耐摩耗性を有する切削工具等の表面被覆部材を提供する。
【解決手段】 基体５の表面に、Ｔｉの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物および炭窒酸化物のうちの１層以上の下層７と、α型結晶構造のＡｌ_２Ｏ_３層８とを形成してなり、Ａｌ_２Ｏ_３層８の表面から波長５１４．５３ｎｍのHｅ−Ｎｅレーザーを照射
して得られるラマンスペクトルにおいて、波数４１６〜４２０ｃｍ^−１のＡｌ_２Ｏ_３層のピークから低波数側で隣り合うブロードピークのピーク強度Ｉ０に対して、波数１０５０〜１１２０ｃｍ^−１の範囲内に現れるピークのピーク強度をＩ_１、波数７８０〜８５０ｃｍ^−１の範囲内に現れるピークのピーク強度をＩ_２としたとき、比（Ｉ_１／Ｉ_０）が０．０５〜０．５、かつ比（Ｉ₂／Ｉ_０）が０．０５〜０．５の切削工具１等の表面被覆部材
である。 （もっと読む）

【課題】高速重切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐剥離性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下部層として、ＴｉＮ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮ、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯの少なくとも１層以上からなるＴｉ化合物層、上部層としてα型Ａｌ_２Ｏ_３層、を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層と上部層の界面において、平均粒径５〜１００ｎｍのクロム酸化物粒子を、界面単位長さ当り３０〜８０％の線分割合で島状に点在分布させることにより、下部層−上部層間の付着強度を向上させるとともに、上部層のα型Ａｌ_２Ｏ_３層の結晶方位分布制御を行うことにより、硬質被覆層の耐摩耗性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】高速重切削加工において硬質被覆層がすぐれた靭性、耐チッピングを備え、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ超硬合金、ＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）Ｔｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）酸化アルミニウム層からなる上部層、からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上記上部層の層厚方向に０．０２μｍの厚み幅間隔で、各厚み幅領域における平均粒径Ｄを求めて平均粒径Ｄの層厚方向変化を調べた場合に、平均粒径Ｄが０．５〜１．５μｍである厚み幅領域と、平均粒径Ｄが０．０５〜０．３μｍである厚み幅領域とが、上部層の層厚方向に沿って、交互に少なくとも複数領域形成されていることによって、上部層の酸化アルミニウムの平均粒径Ｄが層厚方向に沿って０．５μｍ〜５μｍの周期で周期的に変化する結晶粒組織構造を備える。 （もっと読む）

【課題】ＣＶＤ法、ＡＬＤ法等に好適な反応剤、特に酸化剤との反応性に優れ、成膜速度向上及び低温薄膜化が可能となるチタニウムプレカーサを提供すること。
【解決手段】下記一般式（１）で表される金属化合物。式中、Ｒ¹は、水素原子又はメチル基を表し、Ｒ²は、メチル基又はエチル基を表し、Ｒ³は、メチル基又はエチル基を表す。
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【課題】重切削の場合であっても耐摩耗性と潤滑性に優れた切削工具の製造方法を提供する。
【解決手段】超硬合金から成る基材と、この基材上に形成された皮膜とを備える切削工具の製造方法であって、
当該切削工具の製造方法は、
（ステップ１）基材上に化学蒸着法または物理蒸着法により金属窒化物、金属炭化物および金属酸化物のうちの少なくとも１種からなる皮膜を形成すること、
（ステップ２）皮膜の表層に機械的硬化処理を施すこと、の一連の各ステップを含む。 （もっと読む）