【課題】 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層として、ＴｉＡｌＣ（Ｎ）Ｏ相中に、層厚方向に沿って長く成長した（０００１）面配向率の高い微粒柱状酸化アルミニウム相が均一分散した組織構造を有する、ＴｉＡｌＣ（Ｎ）Ｏ相と酸化アルミニウム相の複層（ｃ）上部層は、化学蒸着した状態で六方晶の結晶構造を有する酸化アルミニウム層からなり、さらに、該上部層の酸化アルミニウム層は、（０００１）面あるいはさらに（１１−２０）面の高い配向率を示す酸化アルミニウム層、を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】強靭ダクタイル鋳鉄の高速ミーリング切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層として、ＴｉＮからなる最内層、高窒素ＴｉＣＮからなる内層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる内側密着層、α型Ａｌ_２Ｏ_３からなる中間層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる外側密着層、高炭素ＴｉＣＮと高炭素ＣｒＣＮとの積層からなる外層を蒸着形成し、さらに、硬質被覆層の表面には、乾式もしくは湿式ブラスト処理を施し、硬質被覆層の表面平滑化、残留応力の低減化を図る。 （もっと読む）

【課題】切れ刃部ごとの工具寿命のバラつきがより少なく、長期間使用してもいずれの切れ刃部も欠損を起こしにくい表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材とその基材の一部または全部を覆う被膜とを備える表面被覆切削工具であって、その被膜は、少なくとも１層または２層以上の被覆層を含み、その被覆層のうち少なくとも１層は、Ｚｒを含有するＺｒ含有被覆層であって、さらに表面被覆切削工具は、２以上の切れ刃部を有し、この切れ刃部のうち１の切れ刃部である第１切れ刃部における被膜のＺｒ含有量は、該第１切れ刃部を除く他の切れ刃部のうちの少なくとも１の切れ刃部における被膜のＺｒ含有量と実質的に等しい表面被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】広範囲の硬度や強度を有する被削材を切削することができ、かつ表面被覆切削工具の交換回数を減らすことのできる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、該被膜は、少なくとも１層の被覆層を含み、該被覆層のうち少なくとも１層は、Ｚｒを含有するＺｒ含有被覆層であり、さらに上記表面被覆切削工具は、２以上の切れ刃部を有し、この切れ刃部のうち１の切れ刃部である第１切れ刃部における被膜のＺｒ含有量は、該第１切れ刃部を除く他の切れ刃部のうちの少なくとも１の切れ刃部における被膜のＺｒ含有量と異なることを特徴とする表面被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、基材と被覆層との密着性が向上した表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、超硬合金からなる基材とそれを被覆する１層以上の被覆層とを備えるものであって、該被覆層のうち該基材と接する最下層は、厚みが０．００５μｍ以上０．１μｍ以下であり、かつ化学式Ｍ_1-XＺ_X（ただし、ＭはＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｏ、およびＶからなる群より選ばれる少なくとも１種の元素を示し、Ｚは塩素を示し、Ｘは原子比を示し、０＜Ｘ≦０．５である。）で示される第１化合物を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

窒化ケイ素系誘電体層を堆積する方法が提供される。該方法は、ケイ素前駆体及びラジカル窒素前駆体を堆積チャンバーに導入することを含む。前記ケイ素前駆体は、Ｎ−Ｓｉ−Ｈ結合、Ｎ−Ｓｉ−Ｓｉ結合及び／又はＳｉ−Ｓｉ−Ｈ結合を有する。前記ラジカル窒素前駆体は、内包酸素を実質的に含まない。前記ラジカル窒素前駆体は、堆積チャンバーの外で発生させる。前記ケイ素前駆体及び前記ラジカル窒素前駆体は、相互作用して前記窒化ケイ素系誘電体層を形成する。
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【課題】本発明の目的は、基材と被覆層との密着性が向上した表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、超硬合金からなる基材とそれを被覆する１層以上の被覆層とを備えるものであって、該基材は、該被覆層と接する表面部にＷとＣｏとの複炭化物を主成分とする、厚みが０．００５μｍ以上０．１μｍ未満の基材表面層を有し、該被覆層のうち該基材と接する最下層は、Ｃｏを含む層であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ） 下部層として、０．２〜１μｍの平均層厚を有する窒化チタン層及び１〜３μｍの平均層厚および縦長成長結晶組織を有する炭化チタン層、（ｂ）密着性層として、０．２〜１μｍの平均層厚および微粒縦長成長結晶組織を有する炭化チタン層、（ｃ）中間層として、上記密着性層に隣接して形成された縦長成長結晶組織を有する平均結晶粒径が０．０５〜０．５μｍの炭窒化チタン層を少なくとも含む３〜８μｍの平均層厚を有するＴｉ化合物層、（ｄ） 上部層として、０．５〜５μｍの平均層厚を有する酸化アルミニウム層、上記（ａ）〜（ｄ）で構成された硬質被覆層を５〜１５μｍの全体平均層厚で形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層として、Σ３に最高ピークが存在し、かつΣ３の分布割合が６０％以上である構成原子共有格子点分布グラフを示すα型Ａｌ_２Ｏ_３層、（ｃ）上部層として、平板多角形状かつたて長形状の結晶粒組織構造を有し、Ｚｒを含有するα型Ａｌ_２Ｏ_３を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層の結晶粒の内、面積比率で６０％以上の結晶粒の内部は、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断され、さらに、上部層の全結晶格子界面のうちの７５％以上は、Σ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面で構成されている。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が断続重切削加工で優れた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具の提供。
【解決手段】硬質被覆層の中間層は、隣接する結晶粒相互の界面における（０００１）、{１０−１０}面の法線同士の交わる角度が１５度以下の結晶粒界面単位が全結晶粒界面単位の４５％以上を占める結晶粒界面配列を示す改質α型Ａｌ₂Ｏ₃層、上部層は、層厚方向に垂直な面内で平板多角形状、平行な面内でたて長形状を有し、かつ、上部層を構成する結晶粒の内、面積比率で６０％以上の結晶粒の内部は、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断されているＺｒ含有酸化アルミニウム層、さらに、隣接する結晶粒相互の界面における（０００１）、{１０−１０}面の法線同士の交わる角度が１５度以下の結晶粒界面単位が全結晶粒界面単位の３５％以上を占める結晶粒界面配列を示すＺｒ含有酸化アルミニウム層である。 （もっと読む）

半導体デバイス用のアルミニウムがドープされた金属（タンタル又はチタン）炭窒化物ゲート電極の作製方法が記載されている。当該方法は、上に誘電層を有する基板を供する工程、及びプラズマが存在しない状態で前記誘電層上に前記ゲート電極を作製する工程を有する。前記ゲート電極は、金属炭窒化物を堆積する堆積工程、及び前記金属炭窒化物上にアルミニウム前駆体の原子層を吸着させる吸着工程によって作製される。前記堆積工程及び前記吸着工程は、前記アルミニウムがドープされた金属炭窒化物ゲート電極が所望の厚さを有するまで、必要な回数だけ繰り返されて良い。
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【課題】耐摩耗性と耐欠損性との両方に優れた切削工具およびその製造方法を提供する。
【解決手段】切削工具は、基体１と被覆層２とを備えている。基体１は、硬質化合物よりなる複数の硬質相と、硬質相同士を結合する結合相とを有している。被覆層２は、基体１の表面１ａに形成されたセラミックスからなっている。被覆層２は、基体１の表面１ａの法線に沿った断面において、幅が５０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であり、かつ間隔が３０μｍ以上１００μｍ以下であり、かつ構成領域の幅が５．０μｍ以上１０．０μｍ以下である亀裂１１および１２を有している。 （もっと読む）

未焼成セラミック体を形成するための工具ダイが記載されている。この工具ダイは、基体上に堆積された耐摩耗性被覆を有し、約０．０３μｍから約０．８μｍＲｑまでの範囲の平均粗さを与える形態を有する外面または自由面を有する。ある実施の形態において、この耐摩耗性被覆は、微細な粒状材料と粗い粒状材料の多数の交互の層を有する。工具ダイおよび耐摩耗性被覆を製造する方法も提供される。
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【課題】
水蒸気バリア性、特に高湿度下での耐水蒸気ガスバリア性に優れた積層フィルムを提要する。
【解決手段】
フィルム基材（Ａ）の少なくとも片面に、不飽和カルボン酸化合物の金属塩であって、その金属塩を構成する金属化合物が９５モル％〜３０モル％の二価以上の金属化合物及び５モル％〜７０モル％の一価の金属化合物である不飽和カルボン酸化合物の金属塩から得られる重合体層（Ｃ）が形成されてなることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。あるいは、フィルム基材（Ａ）の片面に無機薄膜層（Ｂ）、上記重合体層（Ｃ）が順次形成されてなることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。 （もっと読む）

【課題】高速条件下の切削においてクレーター摩耗を低減するとともに高度な耐摩耗性を付与する被膜を備えた表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備え、該被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＡｌとＺｒとを少なくとも含む硬質酸化物被膜層であり、ＡｌとＺｒの含有量が前記硬質酸化物被膜層の厚み方向にそって変化する組成構造を有し、この変化は、Ａｌの含有量が極大となるＡｌ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ａｌ極大含有点におけるＡｌの含有量比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９〜０．９９９９であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１〜０．２であり、硬質酸化物被膜層に酸化ジルコニウムを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速条件下の切削においてクレーター摩耗を低減するとともに高度な耐摩耗性を付与する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具は、基材と該基材上に形成された被膜とを備え、該被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＡｌとＺｒとを少なくとも含む硬質酸化物被膜層であり、ＡｌとＺｒの含有量が前記硬質酸化物被膜層の厚み方向にそって変化する組成構造を有し、この変化は、Ａｌの含有量が極大となるＡｌ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ａｌ極大含有点におけるＡｌの含有量比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９〜０．９９９９であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１〜０．２であり、硬質酸化物被膜層に酸化ジルコニウムを含まないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、基材と被覆層との密着性が向上した表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、超硬合金からなる基材とそれを被覆する１層以上の被覆層とを備えるものであって、該被覆層のうち上記基材と接する最下層は、Ｃｏと塩素とを含み、厚みが０．００５μｍ以上０．１μｍ以下であり、かつＣｏを含有する原料を用いて形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、基材と被覆層との密着性が向上した表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、超硬合金からなる基材とそれを被覆する１層以上の被覆層とを備えるものであって、該基材は、該被覆層と接する表面部にＷとＣｏとの複炭化物を主成分とする、厚みが０．００５μｍ以上０．１μｍ未満の基材表面層を有し、該被覆層のうち上記基材と接する最下層は、厚みが０．００５μｍ以上０．１μｍ以下であり、かつ化学式Ｍ_1-XＺ_X（ただし、ＭはＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｏ、およびＶからなる群より選ばれる少なくとも１種の元素を示し、Ｚは炭素、窒素、酸素、硼素、および塩素からなる群より選ばれる少なくとも１種の元素を示し、Ｘは原子比を示し、０＜Ｘ≦０．５である。）で示される第１化合物を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【化１】


基板上にタンタル含有層を形成する方法であって、少なくとも以下の工程：ａ）式Ｃｐ（Ｒ¹）_mＴａ（ＮＲ²₂）₂（＝ＮＲ³） （Ｉ）：の少なくとも１種の前駆体化合物を有する蒸気を供給する工程と：ここで：Ｒ¹は有機配位子であって、各々がＨ、１ないし６個の炭素原子を有する直鎖または分枝ヒドロカルビル基からなる群において独立して選択され；Ｒ²は有機配位子であって、各々がＨ、１ないし６個の炭素原子を有する直鎖または分枝ヒドロカルビル基からなる群において独立して選択され；Ｒ³はＨ、１ないし６個の炭素原子を有する直鎖または分枝ヒドロカルビル基からなる群において選択される有機基である；ｂ）式（Ｉ）の少なくとも１種の化合物を有する蒸気を、原子層堆積プロセスに従って基板と反応させて、基板の少なくとも１つの表面上にタンタル含有錯体の層を形成する工程とを有する方法。 （もっと読む）

【課題】鋼や鋳鉄の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】下部層がＴｉ化合物層、上部層がＡｌ_２Ｏ_３層からなる硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、切刃稜線部の上部層はκ型Ａｌ_２Ｏ_３層、一方、切刃稜線部以外のすくい面および逃げ面の上部層はα型Ａｌ_２Ｏ_３層あるいは改質α型Ａｌ_２Ｏ_３層からなり、さらに、上記改質α型Ａｌ_２Ｏ_３層は、その表面研磨面の法線に対して、結晶粒の結晶面である（０００１）面の法線がなす傾斜角を測定・集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１５度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在する改質α型Ａｌ_２Ｏ_３層である。 （もっと読む）