ワークピース上に反応ガスから層を析出するためのＣＶＤ反応器であって、反応器壁１１と反応器床１２とによって仕切られた、細長い、鉛直方向に延びる反応器室１０と、反応器床１２の領域内で反応器室１０内に入る、反応ガスを反応器室１０内に流入させるための流入導管３４と、反応器床の領域内で反応器室１０から出る、反応器室１０から使用済反応ガスを流出させるための中心の流出導管３１と、反応器室１０の中心に配置されて中心軸線を中心として回転可能な多階層状のワークピース収容体２１と、を具備するＣＶＤ反応器。
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【課題】超硬合金の表面に非晶質炭素膜を被覆してなり、基材の表面を特定の凹凸面とすることで密着性を向上させた新規の被覆超硬合金部材を提供する。
【解決手段】被覆超硬合金部材は、炭化タングステンを含む硬質相１２および鉄族金属を含む結合相１１からなる超硬合金からなる基材１０と、基材１０の表面に被覆された非晶質炭素膜２と、を備える。非晶質炭素膜２が被覆された基材１０の表面は、硬質相１２が消失してなる凹部１２⁻をもつ凹凸面１０ｆであり、ＷＣの平均粒径をＸ［μｍ］、凹部の最大深さをＹ［μｍ］、凹凸面における前記結合相の面積率をＺ［％］としたとき、Ｘ、ＹおよびＺの値を所定の範囲内とすることで、アンカー効果により基材１０の表面と非晶質炭素膜２との密着性が向上する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層として、Ｚｒを含有するα型Ａｌ_２Ｏ_３層（ｃ）上部層として、α型Ａｌ_２Ｏ_３層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上記（ｂ）、（ｃ）の各層は、平板多角形状（平坦六角形状を含む）かつたて長形状の結晶粒組織構造を有し、各層のうちの所定面積比率の結晶粒は、その内部が、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断されている。 （もっと読む）

【課題】ハイス工具の耐摩耗性を大きく低下させることなく潤滑性能を向上させる。
【解決手段】焼入焼戻し処理によって工具基材１８に生成された炭化物３０ａ、３０ｂの中、バナジウムの炭化物３０ａ以外のタングステンやモリブデンの炭化物３０ｂが溶剤によって溶かして除去されることにより、工具基材１８の表面２０に多数の窪み３２が形成され、その窪み３２が油溜りとして用いられることにより、潤滑油剤を用いてねじ転造加工を行う際の潤滑性能が向上する。その場合に、炭化物３０ｂが除去されることにより工具基材１８の耐摩耗性が低下するが、最も硬度が高いバナジウムの炭化物３０ａが残っているため耐摩耗性の低下が抑制され、従来の水蒸気処理によって設けられる多孔質の酸化膜に比べると高い耐摩耗性が得られ、油溜り（窪み３２そのもの）による潤滑性能の向上効果が長時間に亘って得られるようになって耐久性が向上する。 （もっと読む）

【課題】基材の表面に被覆膜を被覆した被覆部材に関し、基材と被覆膜との密着性を向上させるための新規の手法を用いた被覆部材の製造方法およびその製造方法により得られる被覆部材を提供する。
【解決手段】本発明の被覆部材は、基材の表面の少なくとも一部に被覆膜を形成する被覆膜形成工程と、基材の表層部および被覆膜のうち引張り残留応力が発生したいずれか一方を塑性変形させて該被覆膜にかかる残留応力を緩和させる応力緩和工程と、を経て製造される。被覆膜にかかる残留応力が緩和されることで、基材と被覆膜との密着性が向上する。被覆膜の表面に適切な条件の下でショットピーニングなどを施すことで、基材の表層部および被覆膜のいずれか一方のみを簡便に塑性変形させることができる。 （もっと読む）

【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層と改質（Ｔｉ，Ｚｒ）ＣＮ層からなる下部層、改質α型酸化アルミニウム層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層と下部層の界面に臨んで存在するΣ３対応粒界の数と位置を測定した場合、上記界面に臨んで存在する下部層Σ３対応粒界のうちの３０〜７０％が、上部層Σ３対応粒界と連続する結晶粒界を形成し、さらに好ましくは、上記界面から少なくとも基体表面側に１μｍまでの深さ領域における下部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占め、また、上部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占める。 （もっと読む）

【課題】高速切削条件においてクレーター摩耗の低減とともに高度な耐摩耗性の付与可能な被膜を備えた表面被覆切削工具の提供。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、該被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＡｌとＺｒとを少なくとも含む硬質酸化物被膜層であり、硬質酸化物被膜層は、ＡｌとＺｒの含有量が前記硬質酸化物被膜層の厚み方向に沿って変化する組成構造を有し、この変化は、Ａｌの含有量が極大となるＡｌ極大点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ａｌ極大含有点におけるＡｌの含有比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９９９＜Ａｌ≦１であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．２であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、密着性Ｔｉ化合物層と改質ＴｉＣＮ層からなる下部層、改質（Ａｌ，Ｚｒ）_２Ｏ_３層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層と下部層の界面に臨んで存在するΣ３対応粒界の数と位置を測定した場合、上記界面に臨んで存在する下部層Σ３対応粒界のうちの３０〜７０％が、上部層Σ３対応粒界と連続する結晶粒界を形成し、さらに好ましくは、上記界面から少なくとも基体表面側に１μｍまでの深さ領域における下部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占め、また、上部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占める。 （もっと読む）

【課題】耐欠損性を向上させることで破壊強度と耐摩耗性に優れ、かつ放電加工等の電気加工を主体とした研磨加工が可能な多結晶・単結晶の高強度ダイヤモンド膜工具やコーティング工具を提供する。
【解決手段】多結晶ダイヤモンド膜をコーティングした工具、もしくは／および単結晶ダイヤモンド工具において、気相法による膜状ダイヤモンドにボロンをドーピングすることで破壊強度を向上させる。また、ボロン添加による導電性付与により電気加工を可能にする。 （もっと読む）

【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、少なくとも改質ＴｉＣＮ層を含むＴｉ化合物層からなる下部層、改質α型酸化アルミニウム層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層と下部層の界面に臨んで存在するΣ３対応粒界の数と位置を測定した場合、上記界面に臨んで存在する下部層Σ３対応粒界のうちの３０〜７０％が、上部層Σ３対応粒界と連続する結晶粒界を形成し、さらに好ましくは、上記界面から少なくとも基体表面側に１μｍまでの深さ領域における下部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占め、また、上部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占める。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて厚い被膜をＰＶＤ法で形成することにより優れた耐摩耗性を有するとともに、形成時や切削加工時に被膜が破壊されることを低減した表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材と、該基材上に形成された被膜とを含む表面被覆切削工具であって、上記被膜は、１５μｍ以上５０μｍ以下の厚みを有する物理蒸着層であって、Ｘ線回折において（２００）面配向を示し、その（２００）面におけるピークの半価幅２θが０．１°＜２θ＜０．９°を満たす柱状組織を含み、この柱状組織は、複数の柱状晶を含み、基材表面から垂直方向２μｍの位置であって基材表面に対して平行な所定の長さの線分上において、基板表面に対して垂直方向の長さが２．５μｍ以上４μｍ以下である柱状晶が上記線分の５０％以上８０％以下を占めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ステンレス鋼、耐熱鋼等の高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層として、ＴｉＮからなる最内層、高窒素ＴｉＣＮからなる内層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる内側密着層、α型Ａｌ_２Ｏ_３からなる中間層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる外側密着層、ＺｒＮ、ＺｒＣＮ、ＺｒＣの単層または積層からなる外層を蒸着形成し、さらに、硬質被覆層の表面には、乾式もしくは湿式ブラスト処理を施し、硬質被覆層の表面平滑化、残留応力の低減化を図る。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層として、ＴｉＮからなる最内層、高窒素ＴｉＣＮからなる内層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる内側密着層、α型Ａｌ_２Ｏ_３からなる中間層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる外側密着層、（Ｔｉ，Ｚｒ）（Ｃ，Ｎ）層または（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｃ層からなる外層を蒸着形成し、さらに、硬質被覆層の表面には、乾式もしくは湿式ブラスト処理を施し、硬質被覆層の表面平滑化、残留応力の低減化を図る。 （もっと読む）

【課題】強靭ダクタイル鋳鉄の高速高送り切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層として、ＴｉＮからなる最内層、高窒素ＴｉＣＮからなる内層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる内側密着層、α型Ａｌ_２Ｏ_３からなる中間層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる外側密着層、高炭素ＴｉＣＮと高炭素ＺｒＣＮとの積層からなる外層を蒸着形成し、さらに、硬質被覆層の表面には、乾式もしくは湿式ブラスト処理を施し、硬質被覆層の表面平滑化、残留応力の低減化を図る。 （もっと読む）

【課題】高速条件下の切削においてクレーター摩耗を低減するとともに高度な耐摩耗性を付与することができる被膜を備えた表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、この被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＡｌとＺｒとを少なくとも含む硬質酸化物被膜層であり、該被膜層は、ＡｌとＺｒの含有量が前記被膜層の厚み方向にそってＡｌの含有量が極大となるＡｌ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ａｌ極大含有点におけるＡｌの含有量比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９≦Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．９９９９であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．２である組成構造を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐欠損性、耐摩耗性にすぐれたダイヤモンド被覆工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体表面にダイヤモンド皮膜が被覆されたダイヤモンド被覆工具であって、ダイヤモンド皮膜は、配向ダイヤモンド皮膜と無配向ダイヤモンド皮膜との少なくとも３層以上の積層構造、あるいは、配向ダイヤモンド皮膜と高Σ３ダイヤモンド皮膜と無配向ダイヤモンド皮膜との少なくとも３層以上の積層構造からなり、前記配向ダイヤモンド皮膜の（１１０）面または（１１１）面は、傾斜角度数分布グラフにおける０〜１０度の傾斜角区分で５０％以上の度数を占め、また、前記Σ３ダイヤモンド皮膜は、上記に加え、さらに、構成原子共有格子点分布グラフにおいて、ΣＮ＋１全体に対してΣ３が４０％以上の分布割合を占める。 （もっと読む）

【課題】耐欠損性、耐摩耗性にすぐれたダイヤモンド被覆工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体表面にダイヤモンド皮膜が被覆されたダイヤモンド被覆工具であって、上記ダイヤモンド皮膜は、平均結晶粒径０．２〜１．５μｍの配向ダイヤモンド結晶粒が、無配向ダイヤモンド結晶粒のマトリックス中に面積率で３０〜８０％分散分布する膜構造を備え、さらに、前記ダイヤモンド皮膜の結晶粒の（１１０）面または（１１１）面の少なくともいずれかの面は、基体表面の法線に対する傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在し、かつ、０〜１０度の範囲内に存在する度数合計は、度数全体の３０〜６０％の割合を占める。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層と中間層と上部層とからなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層はＴｉ化合物層、中間層は（０００１）面配向率が高いα−Ａｌ_２Ｏ_３層、上部層は、α−Ａｌ_２Ｏ_３相とＺｒＯ_２相の混合組織を有し、上部層の中間層側（工具基体側）よりも上部層の表面側においてより多くの酸化ジルコニウムを含有する混合組織層であって、さらに、該混合組織層の各結晶面のうちの相互に隣接する結晶粒の界面で、１つの構成原子を共有する格子点（構成原子共有格子点）の分布を算出し、前記構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がＮ個存在する構成原子共有格子点形態をΣＮ＋１で表した場合、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が３５〜７０％である。 （もっと読む）

【課題】耐欠損性、耐摩耗性にすぐれたダイヤモンド被覆工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体表面にダイヤモンド皮膜が被覆されたダイヤモンド被覆工具であって、ダイヤモンド皮膜は、Σ３対応粒界比率の高いダイヤモンド皮膜と無配向ダイヤモンド皮膜、との少なくとも３層以上の積層構造からなり、前記Σ３対応粒界比率の高いダイヤモンド皮膜は、構成原子共有格子点分布グラフにおいて、ΣＮ＋１全体に対してΣ３が４０％以上の分布割合を占める。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層と中間層と上部層とからなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層はＴｉ化合物層、中間層は（０００１）面配向率が高いα型Ａｌ_２Ｏ_３層、上部層は、Ａｌ_２Ｏ_３相とＺｒＯ_２相の均一混合組織層であって、さらに、該混合組織層の各結晶面のうちの相互に隣接する結晶粒の界面で、１つの構成原子を共有する格子点（構成原子共有格子点）の分布を算出し、前記構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がＮ個存在する構成原子共有格子点形態をΣＮ＋１で表した場合、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が４０〜６０％である。 （もっと読む）