【課題】エネルギー効率が高い基板焼成炉の給排気システムを提供する。
【解決手段】炉体１０にて加熱されるガラス基板Ｗからは多量の有機物が発生する。炉体１０の排気口１４からは有機物を含む熱排気が排出され、ファン２１によって循環経路２０に熱風の気流として送り出され、その気流がヒータ２２によって加熱された後に耐熱ＨＥＰＡフィルタ１３によって浄化されて吹き出し口１２から炉体１０の内部空間に再供給される。熱排気の一部は排気管３０に流れ込んで触媒ユニット３１を通過する。触媒ユニット３１では有機物の熱分解と酸化分解とが同時に生じ、排気気体中に含まれる有機物のほとんどが分解され、触媒ユニット３１の入口側温度よりも出口側温度が約２００℃上昇する。高温の排気気体が熱交換器５０に流入して給気気体との熱交換が行われることとなり、エネルギー効率を良好なものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】隣接する２つの熱処理ゾーン間で処理対象物の搬送方向を横断する方向に気体を流通させ、隣接する熱処理ゾーン間の熱干渉を抑制して搬送方向の断熱材の長さを短くし、装置の長さを短縮できる連続焼成装置を提供する。
【解決手段】連続焼成装置１０の炉１１内で複数の熱処理ゾーン１２のそれぞれの間に給気部材１及び排気部材２を基板１００の搬送方向Ｘに直交する方向で対向する位置に配置し、給気部材１から、炉１１の外部の気体を排気部材２に向けて吐出し、排気部材２によって炉１１の内部の気体を炉１１の外部に排出し、隣接する熱処理ゾーン１２の間が気体によって遮断され、一方の熱処理ゾーン１２の熱が他方の熱処理ゾーン１２に影響を与えることが効果的に抑制される。 （もっと読む）

【課題】省エネルギー性に優れ、炉体構造が簡素で築炉コストが安く、しかも窯詰め位置による焼成ムラを生じにくいセラミック焼成用のシャトルキルンを提供する。
【解決手段】炉壁及び炉天井がセラミックファイバ２により構成され、その内部に台車４が装入されるシャトルキルンである。炉体１の後壁中央部を外側に突出させて炉壁により煙道１０を形成するとともに、その下部に炉室から煙道１０への排気孔を形成する。左右の炉壁の前後位置には、上下の各水平面内においてフレームが逆向きの旋回流を形成するように、バーナー８を前後逆向きに複数段配置する。従来品よりも大幅なコストダウンが可能である。 （もっと読む）

【課題】炉内圧力を安定させることにより被処理物の品質を安定させるとともに、炉の運用の安全性を高めることのできる加熱炉の炉内圧力制御方法を提供する。
【解決手段】加熱炉の排気系に、エゼクター１１と、このエゼクター１１に供給される駆動ガスの流量を調節する排気側マスフローコントローラ１３とを配設するとともに、前記加熱炉に、その内部に連通して炉内圧力を検知する圧力計９を設け、この圧力計９の計測値を用いて排気側マスフローコントローラ１３を制御することにより、該炉内の圧力を所定の値に維持する。 （もっと読む）

【課題】ワークへの異物の付着を防止するとともに、ワークにおける脱バインダ効率を向上させることが可能な連続熱処理装置を提供する。
【解決手段】連続熱処理装置は、処理室１０の内部にて所定の搬送方向にワークを搬送するワイヤ１６を備える。また、連続熱処理装置は、ガス導入部１２およびガス排出部１４を備える。ガス導入部１２は、処理室１０の上部から脱バインダ用ガスを導入するとともにワーク１８に向かって脱バインダ用ガスを吹き付けるように構成される。ガス排出部１４は、少なくとも一部がワーク１８の上面よりも下に位置するように処理室１０の側面に配置され、かつ、搬送方向の所定領域に延びるような形状を呈する。 （もっと読む）

【課題】被加熱物の熱処理に伴って発生する生成ガスや、生成ガスが冷却されて発生するいわゆる昇華物の漏出を抑制可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】被加熱物が配される熱処理室１２と、当該熱処理室１２の室温を上昇させる熱源１４と、前記熱処理室１２に被加熱物を出し入れ可能な換装部６とを有し、前記換装部６は、熱処理室１２の外部と内部とを繋ぐ空間であり、当該換装部６に、熱処理室１２の内部から外部へ流れる気流を遮ることが可能な遮断手段が熱処理室１２の内部から外部に向かう方向に複数配置されている。 （もっと読む）

【課題】透明石英ガラスからなる部材が失透するのを抑制することが可能な焼成炉を提供すること。
【解決手段】焼成炉１は、被焼成物を輻射加熱するための赤外線ランプ５と、被焼成物が配置される台９と、赤外線ランプ５と台９との間に配置されて焼成空間Ｓを画成し、透明石英ガラスからなる赤外線透過部材７と、を備えている。焼成空間Ｓには、ガス供給部１７からのガス供給通路１９が接続されている。ガス供給通路１９から焼成空間Ｓ内にガスが供給されると、当該ガスにより、赤外線透過部材７の内周面、すなわち台９側の表面に沿ってガス流Ｆが形成されることとなる。 （もっと読む）

本発明は、加熱室（１２）に連結される雰囲気ガス供給管（９１）に吸気弁（９１ａ）を、排気管（１３１）に排気弁（１３１ａ）をそれぞれ備え、加熱室（１２）に圧力センサー（１５０）を装着する熱処理装置を提供する。前記圧力センサー（１５０）、吸気弁（９１ａ）および排気弁（１３１ａ）に連結される制御ユニット（８０）を用いて、加熱室（１２）の内部圧力に応じて吸気弁（９１ａ）と排気弁（１３１ａ）を開閉することにより、加熱室（１２）に雰囲気ガスをさらに供給し或いは冷却室（１３）の雰囲気ガスを排出することができるようにする。これにより、被加工物（１）の熱処理に用いられる雰囲気ガスの使用量を最小化してコストを節減し、例えばガス爆発などの安全事故を防止するうえ、雰囲気ガスの燃焼に起因する環境汚染を減らすことができる。 （もっと読む）

【課題】セラミック焼成体を効率的に冷却することができるセラミック焼成体の冷却方法を提供する。
【解決手段】セラミック焼成体３６を収容した焼成用治具３３を、上記焼成用治具を搬送する搬送部材を備えた冷却装置３０を用いて冷却するセラミック焼成体の冷却方法であって、上記冷却装置は、複数の送風機３２を備え、上記搬送部材上に載置された焼成用治具内の上記セラミック焼成体を上記送風機により冷却することを特徴とするセラミック焼成体の冷却方法。 （もっと読む）

【課題】タール状の付着物による不良発生をなくしたフラットパネル熱処理炉を提供する。
【解決手段】熱処理炉本体１の入口にパネル送り込み手段４を設けたフラットパネル熱処理炉に関するもので、パネル送り込み手段４の上部に所定長さにわたって天井構造体７を設け、その下面とパネル送り込み手段との間隙を例えば１０〜１００ｍｍ程度に狭くすることにより、熱処理炉本体１の入口からの炉内ガスの逆流を防止する。また天井構造体の下面に向かって空気を吹き込むノズル９を設けたり、天井構造体の下面にヒーターを設けたりすれば、より確実な効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】
過熱水蒸気を用いる加熱装置において、凝縮によりピストン（被加熱物）の表面に発生する水滴が蒸発によりピストン（被加熱物）の熱量を奪うことを抑え、短時間にピストン（被加熱物）を昇温させることを課題とする。
【解決手段】
第２噴射部２１を、ピストン７（被加熱物）の温度または加熱室８の温度が所定の温度に到達した後に噴射口２２から加圧気体の噴射を開始し、所定時間経過後に噴射を止める作動を行う。この作用によりピストン７（被加熱物）の上面３１及び外周面３２に発生した水滴を除去することができ、ピストン７(被加熱物)の加熱時間を短縮することができる。
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【課題】炉内の温度を均一化することが可能な熱処理炉を提供すること。
【解決手段】ガスを流入するＪ字型の流入管１２と、ガスを流出する流出管１４と、流入管１２を介して流入されたガスを加熱するヒーターとが炉本体１１に設けられ、さらに流入管１２を介して流入されたガスを攪拌するファン１３を備える。したがって、炉内の温度を均一化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】開閉扉の密閉性が保たれない場合でも、ガラス基板にパーティクルが付着するのを防止することができるガラス基板用熱処理装置を提供する。
【解決手段】炉体内部に、ヒータを備える加熱室３を設け、この加熱室の基板収納口４に開閉蓋５を配設したガラス基板用熱処理装置において、前記基板収納口の下方には、排気管７が炉体の左右方向に向けて配設されており、この排気管の上面には、吸気用の吸引孔１１穿設しており、この吸引孔を介して加熱室内部の気体や夾雑物を吸引できるようにしている。 （もっと読む）

【課題】縦型炭化炉下部の水などの液シールより発生する水蒸気量を抑え、炉の構成材であるマッフルの減耗を抑制し、長期連続運転を可能とすることで炭化繊維の生産性の飛躍的な向上を図りつつ、品質安定化が可能な炭化炉および炭化繊維の製造方法を提供すること。
【解決手段】不活性雰囲気中のマッフル４内に複数の被炭化繊維１２を連続的に走行させて焼成する炭化炉１の糸条出口側に導管６を設け、該導管６を液体中に浸漬してシールを行う炭化炉１において、前記繊維糸条出口側のシール導管６に不活性ガス供給口８を設けるとともに、該不活性ガス供給口から５００ｍｍ以上液シール側に離れた位置に不活性ガス抜き出し口９を設けたことを特徴とする炭化炉。 （もっと読む）

【課題】炉室内の材料のより有効かつより精密な熱処理を可能にする高温空気炉モジュール、同様に高温空気炉を提供する。
【解決手段】本発明は、壁部によって少なくとも部分的に境界付けられている炉室２０を有する高温空気炉モジュール１２であって、前記炉室が、気流を生成するための空気供給装置１４と、気流を加熱するための熱伝達装置４２とを備えている、高温空気炉モジュールに関する。本発明によれば、供給された気流を前記空気供給装置１４によって１つの流れ方向２４に導くために、前記空気供給装置１４と前記炉室２０との間に構成される流入空気管路２２が設けられており、前記導入空気管路には、前記流れ方向２４に互いにある距離で配置されかつ気流が前記炉室２０を通して流れる前に気流を滑らかにするように意図される第１及び第２の絞り手段３０、３２が設けられている。さらに、本発明によれば、高温空気炉１０は、互いに対し１８０度回転して配向されておりかつ互いに連通して接続されている、複数の高温空気炉モジュール１２で形成されている。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネル等の加熱処理を行う際に、被加熱物の乾燥ムラを防止できる加熱処理方法および加熱処理装置を提供する。
【解決手段】加熱処理装置１には搬入口６から搬入される被加熱物２を加熱室を貫通して搬出口７まで搬送する搬送ローラ９と上下から加熱する複数のヒータ１０を備える。複数の加熱室Ｒ１〜Ｒ６はそれぞれ下部に給気口１３を、上部に排気口１４を備える。加熱室毎に温風を給排気し、各加熱室の温風の給気量と排気量の比を、被加熱物の温度が上昇する方向に向かって気流が生成されるように設定する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等を熱処理する際に、排気量を増やしたり、排出機構を大きくすることなく、被加熱物から発生する燃焼ガスを効果的に除去できる熱処理装置を提供する。
【解決手段】トンネル状の加熱空間２ａ、３ａ、４ａを有しその両端に被加熱物８の搬入口６と搬出口７を設けた加熱炉１と、搬入口から加熱空間に搬入される被加熱物を搬出口まで搬送する搬送部９と、搬送される被加熱物を加熱する加熱部１０と、被加熱物の搬送方向に流れる気流を加熱空間に形成する気流生成部としての給気管１２、１３、１４と排気管１５、１６、１７を備え、加熱空間は、被加熱物の搬送方向に直交する方向の断面積が被加熱物の搬送方向に沿って変化する熱処理装置。 （もっと読む）

【課題】高濃度の水素雰囲気のような特殊雰囲気下での被熱処理物の熱処理が、短い炉長でも可能な連続式熱処理炉と、当該熱処理炉を使用した熱処理方法を提供する。
【解決手段】大気以外の特殊雰囲気下で被熱処理物１の熱処理を行う連続式の熱処理炉であって、炉内の上方に前記熱処理を行う熱処理空間を有し、前記特殊雰囲気を構成する気体が炉内に導入された際に、当該気体がその浮力により前記熱処理空間に封じ込められるように構成された連続式熱処理炉。 （もっと読む）

【課題】表面が金属又は合金からなる基体を加熱処理して酸化物層を形成する加熱処理を効率よく且つ生産性良好に行う加熱処理装置及び加熱処理方法を提供する。
【解決手段】表面が金属又は合金からなる基体３を加熱処理する加熱処理装置であって、少なくとも燃料ガスが導入されて先端から燃焼ガスを噴出するガスバーナ２０と、このガスバーナに燃料ガスを導入する燃料ガス導入手段２１、２２と、前記ガスバーナから放出された燃焼炎を導入する導入口を有する燃焼室１と、この燃焼室１に連通部１３を介して連通して設けられると共に前記基体３を載置して加熱処理する処理室２と、前記ガスバーナ２０から噴出された燃焼ガスを前記連通部１３から導入して当該処理室２内に燃焼ガスの均一な雰囲気を形成する処理雰囲気形成手段１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 パルス浸炭時における所望の低真空度の浸炭期圧力と、浸炭期圧力から拡散期圧力への迅速な移行特性が得られ、低コストで信頼性および耐久性にすぐれた真空浸炭装置を提供する。
【解決手段】 処理材を収容する浸炭室３と、浸炭室３内を真空排気する真空ポンプ７，８と、浸炭室３内に浸炭ガスを供給する浸炭ガス供給装置４とをそなえ、浸炭室３内に前記浸炭ガスをパルス状に導入して処理材の真空浸炭をおこなう真空浸炭装置１において、前記真空ポンプの吸気側と排気側とを、開閉弁１６をそなえた還流管路１５でバイパス状に接続し、浸炭室３内へパルス状に導入される前記浸炭ガスの導入開始時に開閉弁１６を開放し導入終了時に開閉弁１６を閉鎖する制御手段（制御装置２０）を具備した。 （もっと読む）