【課題】 従来に比べて、小型で且つ、高い感度を得ることが可能なＭＥＭＳセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】 可動電極部は、Ｘ１−Ｘ２方向に間隔を空けて配置された複数本の可動支持部５０と、各可動支持部５０の側部から延出し、各可動支持部５０にてＹ１−Ｙ２方向に間隔を空けて配置された複数本の可動電極子６０と、を有する。固定電極部は、Ｘ１−Ｘ２方向に間隔を空けて配置された複数本の可動支持部５０と、各固定支持部５１の側部から延出し、各固定支持部５１にてＹ１−Ｙ２方向に間隔を空けて配置された複数本の固定電極子６２と、を有する。複数本の可動支持部と複数本の固定支持部とがＸ１−Ｘ２方向に交互に配列されており、隣り合う可動支持部と固定支持部とが組６６にされて、各組の可動支持部と固定支持部の間にて可動電極子６０と固定電極子６２とが交互に配列されている。 （もっと読む）

【課題】サイズが小さいばかりでなく効果的に大量生産することができる高感度圧力センサを製造する方法を提供する。
【解決手段】第１の絶縁層１５０によって第２のデバイス層２００から分離された第１のデバイス層１００を備えるデバイスウェーハを備える、環境的影響力を測定するためのデバイスおよび同デバイスを製作する方法が開示される。エッチングされた基板ウェーハ６００に第１のデバイスウェーハが接合されて、懸垂されたダイアフラム５００および突起５５０が作製され、その撓みが、内蔵された検出素子８５０によって測定される。 （もっと読む）

【課題】物理量の入力に対して、高い線形性をもって容量素子の構造体が変位する物理量検出装置を提供すること。
【解決手段】物理量検出装置は、物理量に応じて変位する構造体を有し、前記構造体の変位に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に一定の電荷を供給する電荷供給回路と、前記電荷供給回路により電荷が供給された後で、前記物理量検出素子の静電容量に応じた信号を出力する出力回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ安価に製造することができる振動式トランスデューサを実現する。
【解決手段】真空室３３内に設けられ基板３１に対して引張の応力が付与され基板面に平行方向より垂直方向の断面厚さが長い断面形状を有し基板に平行に且つ互いに平行に設けられた第１，第２のシリコン単結晶の振動梁３２ａ、３２ｂと、基板面に平行に設けられ第１，第２の振動梁の一端に接続される板状の第１の電極板３４ａと、基板面に平行に設けられ第１，第２の振動梁の間に設けられた第２の電極板３４ｂと、第１，第２の振動梁の両側に第１，第２の振動梁を挟んで且つ第１，第２の振動梁と第１，第２の電極板と共に基板面に平行な一平面状をなす板状の第３，第４の電極板３４ｃ、３４ｄと、振動梁と第２、第３，第４の電極板との対向する側壁部面に設けられ相互の付着を防止する凸凹部３７とを具備した。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて高精度での製作及び組み立てが不要である加速度センサを提供する。
【解決手段】基板１と、変位可能に基板に支持され可動電極１２を有する変位部材３，７と、可動電極との間に静電力を発生させる第１固定電極１１とを備えた加速度センサであって、上記第１固定電極は、基板の厚み方向に直交する方向において可動電極に対向して基板に支持され、加速度の作用により可動電極に対向する面積が変化する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ製造技術を用いた単一チップ上に作られた面内加速度計と面外加速度計の両方を含む超頑強、かつ、高性能な、３軸加速度計を提供する。
【解決手段】物体に堅固に取り付けられた基板付きの面内加速度計及び一体成形の材料からなる、基板１０４の上方に可動自在に所定の距離を離間される、プルーフマス１０２を含む。プルーフマスは１０２、プルーフマスと基板との間に異なる高さの隙間を形成するためにプルーフマスから下に伸びる複数の電極突部１１６を含む。プルーフマス１０２は、物体が加速しているときに、複数の基板電極１０８，１１０の各々の上面に平行な方向に動く構成で、隙間の領域の変化及び基板とプルーフマスとの間の容量の変更をもたらす。面内加速度計は面外加速度計の製造に使用される技術と同じ技術を用いて製造可能で高い衝撃用に適する。 （もっと読む）

【課題】面外櫛形駆動の加速度計（１０）を提供すること。
【解決手段】ある例示的な加速度計が、応答を線形化する。ある例示的な加速度計が、基板（５８）の表面に平行な表面をもつ複数の歯を有する、１つまたは複数のステータ（４２、５０）を備える。歯の表面は、基板の表面から第１の距離にある。プルーフマス（５４）は、そのプルーフマスの端部に取り付けられた複数のロータ歯を含む１つまたは複数のロータ（３８、４６）を備える。ロータ歯には、ステータ歯の対応する歯が噛み合う。ロータ歯は、基板の表面に平行な表面を含む。ロータ歯の表面は、基板の表面から第２の距離にある。第１の距離と第２の距離は、閾値の量だけ異なる。面外方向でのステータに対するロータの動きにより、ロータとステータの両端で測定される容量値が線形に変化する。 （もっと読む）

本発明は、二重固体電極を有するＭＥＭＳマイクロフォンの改善された製造方法と、改善された性質を有するマイクロフォンを提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体圧力センサ及びその製造方法に係り、Ｓｉ基板の開口部のダイヤフラム側壁すべてをその基板面に対して垂直な面とすることにある。
【解決手段】半導体圧力センサは、単結晶シリコン基板と、前記単結晶シリコン基板を裏面側からエッチングすることによって形成されたダイヤフラム及び４面のダイヤフラム側壁と、前記単結晶シリコン基板の表面側に形成されたリード導体及び歪ゲージ抵抗からなるブリッジ回路と、を備え、前記ダイヤフラムは、面方位が（１１０）面であり、かつ、平面形状が平行四辺形であり、前記ダイヤフラム側壁は、４面とも面方位が（１１１）面であり、かつ、２面ずつ互いに平行に向かい合っており、圧力印加に伴う前記ダイヤフラムの撓み量に応じて前記ブリッジ回路の出力値が変動することを利用して、前記ダイヤフラムに印加される被検出対象の圧力を検出する。 （もっと読む）

【課題】広範囲の加速度に対して検出精度を向上した静電容量型加速度センサを提供することを課題とする。
【解決手段】第１の静電容量ＣＡの固定電極を構成する第１の固定電極基板１１と、第２の静電容量ＣＢの固定電極を構成する第２の固定電極基板１２と、第１の静電容量ＣＡならびに第２の静電容量ＣＢの可動電極を構成する可動電極基板１３とを有し、第１の固定電極基板１１ならびに第２の固定電極基板１２は、段差を有して可動電極基板１３との電極間距離が異なる可動電極基板１３との対向面を備え、可動電極基板１３には、外部から与えられた加速度に応じて第１の固定電極基板１１ならびに第２の固定電極基板１２の方向に対して垂直方向に揺動自在に移動する重り部１５が形成され、加速度の印加により変化する第１の静電容量ＣＡならびに第２の静電容量ＣＢの容量値に基づいて加速度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広範囲の加速度に対して検出精度を向上した静電容量型加速度センサを提供することを課題とする。
【解決手段】第１の静電容量ＣＡの固定電極を含む第１の固定電極基板１１と、第２の静電容量ＣＢの固定電極を含む第２の固定電極基板１２と、第１の静電容量ＣＡならびに第２の静電容量ＣＢの可動電極を構成する可動電極基板１３とを有し、可動電極基板１３には、外部から与えられた加速度に応じて第１の固定電極基板１１ならびに第２の固定電極基板１２の方向に対して垂直方向に揺動自在に移動する重り部１５が形成され、第１の固定電極基板１１ならびに第２の固定電極基板１２の固定電極の一部が可動電極基板１３のの重り部１５に対向する対向面を備え、加速度の印加により変化する第１の静電容量ＣＡならびに第２の静電容量ＣＢの容量値に基づいて加速度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】線形性および応答範囲を改善するために、２つのステータ歯のセットを備える二方向性平面外静電櫛駆動装置を提供する。
【解決手段】電気的に独立した、ステータ櫛歯の第１のセット（１３２）は、ステータ櫛歯の第２セット（１３６）からずれている。ローター櫛歯（１２４）のセットが、ステータ櫛歯の両方のセットに挟み込まれる。ステータ櫛歯の第１セットに付与される第１電圧は、ローター櫛歯をステータ櫛歯の第１セットに方に向けて引くように作用する。ステータ櫛歯の第２セットに付与される第２電圧は、ローター櫛歯をステータ櫛歯の第２セットの方に向けて引くように作用する。これにより、二方向動作が可能になる。機械的および電気的に独立であり、ローター櫛歯にはさみこまれるステータ歯の第１セットおよび第２セットの製造を可能にする製造方法が開示される。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳセンサーの感度の検出に影響を与える可動錘の質量と、容量電極のダンピング係数、弾性変形部のバネ特性等の設計の自由度を向上させる。
【解決手段】多層配線構造を加工して形成されるＭＥＭＳセンサーは、弾性変形部１３０によって固定枠部１１０に連結され、周囲に空洞部が形成されている可動錘部１２０と、固定枠部１１０に固定された固定電極部１５０と、可動錘部１２０に接続され、固定電極部１５０に対向して配置される可動電極部１４０とを含む容量電極部１４５と、可動錘部１２０の質量、可動電極部１４０のダンピング係数および弾性変形部１３０におけるバネ特性の少なくとも一つを調整するための調整層ＣＢＬ（ＣＢＬ１〜ＣＢＬ３）とを含み、調整層ＣＢＬは、多層配線構造の構成要素である、少なくとも一層の絶縁層を含む。 （もっと読む）

【課題】質量部の変位感度比率を均一化することにより、Ｚ軸方向の加速度が加わってもＸＹ軸方向の加速度検出精度が悪くなってしまうことのない多軸加速度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】ＸＹＺ座標系におけるＸＹ平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部１２を複数の梁部１４を介して周囲の支持部１３に支持する可動基板１１と、この可動基板１１における支持部１３と接合され、かつ可動基板１１における質量部１２と所定間隔を有する固定電極１６を上面に設けた固定基板１５とを備え、前記複数の梁部１４を、支持部１３からＸ軸あるいはＹ軸と平行方向に延びた第１の梁部１７と、質量部１２に連結され、かつＸＹ軸と４５°方向に斜めに延びた第２の梁部１８とにより構成し、前記第２の梁部１８の長手方向と垂直な断面２次モーメントを第１の梁部１７の長手方向と垂直な断面２次モーメントより小さくしたものである。 （もっと読む）

【課題】コストを大幅に増加させることなく精度を向上したＣＭＯＳセンサを提供する。
【解決手段】一実施形態におけるＣＭＯＳセンサシステムにおいて向上した精度を提供する方法及びシステムは、相補型金属酸化膜半導体基板１１２上の第１の端子１１４及び第２の端子１１６を有する複数のセンサ素子と、第１の端子１１４を電源に選択的に接続すると共に、該第１の端子１１４を読出し回路１０８に選択的に接続するように構成される第１の複数のスイッチと、第２の端子１１６を電源に選択的に接続すると共に、該第２の端子１１６を読出し回路１０８に選択的に接続するように構成される第２の複数のスイッチとを含む。 （もっと読む）

微小電子機械システム（ＭＥＭS）トランスデューサ９０が、相互直交方向９２，９４，９６の加速を検知するようになっている。ＭＥＭSトランスデューサ９０は、アンカーシステム１１６によって基板９８の上方につるして保持された試験質量１００を含む。アンカーシステム１１６は、方向９６の加速に応答して試験質量１００が回転軸１３２に関して回転することを可能とすべく、回転軸線１３２に関して試験質量１００を基板９８に枢動的に接続する。試験質量１００は、試験質量１００を通って延びる開口１１２を有する。開口１１２内には別の試験質量１４８が存在し、別のアンカーシステム１５２が基板９８の表面１０４の上方に試験質量１４８を保持する。アンカーシステム１５２が、少なくとも一つの方向９２または方向９４の加速に応答して、試験質量１４８が基板９８の表面１０４と実質的に平行に移動することを可能にする。
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【課題】平面外ＭＥＭＳデバイスから加速度および回転を決定するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）慣性センサシステムおよび方法は、線形加速度および回転を決定するように動作させることができる。一例示的実施形態は、第１の電極対を介して第１のプルーフマスに第１の線形加速度再平衡力を加え、第２の電極対を介して第２のプルーフマスに第２の線形加速度再平衡力を加え、第３の電極対を介して第１のプルーフマスに第１のコリオリ再平衡力を加え、第４の電極対を介して第２のプルーフマスに第２のコリオリ再平衡力を加え、加えられた第１および第２の線形加速度再平衡力に対応する線形加速度を決定し、かつ、加えられた第１および第２のコリオリ再平衡力に対応する回転を決定する。 （もっと読む）

【課題】高圧を検出することが可能な構成でありながら、検出精度を高くする。
【解決手段】本発明の圧力センサ１は、圧力が導入される開口部９及び導入された圧力により変形可能なダイヤフラム８を有する中空筒状のステム７を備えると共に、前記ダイヤフラム８上に設けられたセンサチップ１０を備えたものにおいて、ステム７及びセンサチップ１０を２組設け、２個のセンサチップ１０から出力される２つの出力信号がほぼ１次関数となる２つの圧力検出範囲を組み合わせることにより、圧力センサの圧力検出範囲をカバーするように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械装置の特性向上を図る。
【解決手段】微小電気機械装置を、半導体層(1)と、前記半導体層の上部に形成された空洞(15a)と、前記空洞上に形成されたゲート電極(17)と、前記空洞の下部に位置する前記半導体層中に形成された複数のソース、ドレイン対(13sa,13da等）と、を有し、前記ゲート電極は、前半導体層方向に可動に構成され、前記複数のソース、ドレイン対間は、それぞれ独立してソース、ドレイン間電流を測定可能に構成され、前記複数のソース、ドレイン対のいずれか１つを選択し、選択されたソース領域およびドレイン対間に流れる電流により、前記ゲート電極上に加わる力を検出するように構成する。かかる構成によれば、複数のソース、ドレイン対のうち、ゲート電極に加わる力に対するソース、ドレイン対間に流れる電流特性が線形的なものを選択することができ、検出精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械装置の特性向上（例えば、リニアリティの向上）を図る。
【解決手段】微小電気機械装置を、半導体層(1)と、半導体層の上部に形成された空洞(15a）と、空洞上に形成されたゲート電極(17)と、空洞の下部に位置する半導体層中に形成され、離間して配置されたソース領域(13s)およびドレイン領域(13d)と、ソース領域およびドレイン領域間として規定されるチャネル領域であって、空洞の第１の領域において第１のチャネル長（Da1）を有し、空洞の第１の領域より外側に位置する第２の領域において第１のチャネル長より短い第２のチャネル長(Da2)を有するチャネル領域と、を有し、ゲート電極は、半導体層方向に可動に構成され、ゲート電極上に加わる力を、チャネル領域に流れる電流によりにより検出するように構成する。このように、チャネル長を、空洞のより外側において短くしたので、検出精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）