【課題】ラインセンサにおいて、画素内で発生したランダムノイズを低減することができ、これにより製造歩留まりを向上する。
【解決手段】複数の画素を１次元に配列してなる画素部１２０を有し、該複数の画素の各々で光電変換により得られた信号電荷を画素信号に変換して出力するラインセンサ１００において、該画素Ｐａは、入射光を光電変換して信号電荷を発生する光電変換素子ＰＤと、該光電変換素子で発生した信号電荷に応じた信号電圧を増幅する複数の増幅トランジスタＡＭＰｎ１、ＡＭＰｎ２、・・・、ＡＭＰｎｋとを備え、複数の増幅トランジスタの各々で増幅された信号電圧を複数の画素信号として並列出力し、この並列出力された複数の画素信号の信号レベルを平均化して得られる平均値を、各画素の画素値として出力する。 （もっと読む）

【課題】熱雑音を除去することができる固体撮像素子を提供する。
【解決手段】行列状に配置され、フォトダイオードと浮遊拡散層とを有し、初期化された浮遊拡散層に対応する第１初期化信号と、受光量に応じた第１映像信号とを出力する複数の画素回路１ａと、列毎に設けられ、複数の画素回路からの第１初期化信号と第１映像信号とを転送する列信号線と、列信号線を通して対応画素回路から転送されてくる第１初期化信号と第１映像信号を保持する複数の第１保持回路２ａと、列毎に設けられ、第１保持回路と列信号線とに接続された差分回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型で、かつ、大きい電荷保存容量、高い動的範囲、及び高感度を有する固体状
態のＣＭＯＳイメージセンサ画素を提供すること。
【解決手段】本発明の電荷転送トランジスタは、第１の拡散領域及び第２の拡散領域と、
制御信号により、前記第１の拡散領域から第２の拡散領域への電荷転送を制御するゲート
と、該ゲートの下部に統合された電位井戸とを備え、前記第１の拡散領域がピンドフォト
ダイオードであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速動作をすることができる固体撮像装置を備えるＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】Ｘ線検査システムは、Ｘ線発生装置から出力されて検査対象物を透過したＸ線を固体撮像装置１Ａにより撮像して該検査対象物を検査する。固体撮像装置１Ａは受光部１０Ａおよび信号読出部２０を備える。受光部ではＭ×Ｎ個の画素部がＭ行Ｎ列に配列されている。第１撮像モードのとき、受光部におけるＭ×Ｎ個の画素部のフォトダイオードで発生した電荷の量に応じた電圧値が信号読出部から出力される。第２撮像モードのとき、受光部における連続するＭ_１行の特定範囲に含まれる画素部のフォトダイオードで発生した電荷の量に応じた電圧値が信号読出部から出力される。固体撮像装置の移動方向に対して第２撮像モードのときの受光部における特定範囲の長手方向が垂直になるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明によれば、高い精度で半導体装置を製造することができる。特に画質の高い固体撮像装置を提供及び製造することが可能となる。
【解決手段】 半導体基板１０１の撮像領域１０３及び周辺領域１０４に第１導波路部材１１８と、第１導波路部材１１８を貫通するビアプラグとを有する。 （もっと読む）

【課題】受光領域のうち一部の領域の画素に蓄積された電荷を選択的に読み出す際に、一つの撮像フレームに要する時間を抑制し、また周辺回路への負荷を低減することができる固体撮像素子の制御方法を提供する。
【解決手段】受光領域のうち一部の領域を構成する一又は複数の読出対象行に含まれる画素に蓄積された電荷を、Ｌ回（Ｌは２以上の整数）の撮像フレームの各々において選択的に読み出すとともに、Ｌ回の撮像フレームのそれぞれにおいて、一部の非読出対象行のみに含まれる画素に蓄積された電荷のリセットを行い、且つ、二以上の非読出対象行の各々についてＬ回の撮像フレームの間に少なくとも一回、リセットを行う。 （もっと読む）

【課題】装置の信頼性や、製品の歩留まりなどを向上させる。
【解決手段】パッド電極ＰＡＤのパッド面の上面に設けるパッド開口ＰＫの側部を囲うように第１パッド周辺ガードリングＰＧ１を設ける。ここでは、パッド開口ＰＫの側部において、パッド開口ＰＫと同じ深さまで設けられたトレンチＴＲＰの全体に、金属材料を一体で埋め込むことで、この第１パッド周辺ガードリングＰＧ１を形成する。これにより、パッド開口ＰＫから吸湿した水分が内部へ侵入することを、第１パッド周辺ガードリングＰＧ１が遮断する。 （もっと読む）

【課題】積層フォトダイオードにおいて半導体基板表面からの深さ距離で決まる分光特性における混色を低減し、また、３色以上の分光特性を検知することにより感度を向上させることができる光電変換装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体基板中に、第１導電型の光電変換領域（１２，１４）と、前記第１導電型と逆の導電型である第２導電型の領域（１１，１３，１５）とを交互に複数積層した光電変換装置であって、複数の前記第１導電型の光電変換領域（１２，１４）の間に設けられる前記第２の導電型の領域（１３）に印加する電圧を制御することにより、前記半導体基板中に形成される空乏層の幅を変化させる電圧制御部（１８）を有することを特徴とする光電変換装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】「混色」の発生などを防止して、撮像画像の画像品質を向上させる。
【解決手段】第１トレンチＴＲ１と、半導体基板１０１において第１トレンチよりも浅い部分において、第１トレンチＴＲ１よりも幅が広い第２トレンチＴＲ２とを、トレンチＴＲとして形成する。そして、第１トレンチＴＲ１の内部を埋め込むと共に、第２トレンチＴＲ２の内側の面を被覆するようにピニング層３１１を形成する。そして、少なくともピニング層３１１を介して第２トレンチＴＲ２の内部を埋め込むように、遮光層３１３を形成する。 （もっと読む）

【課題】高い精度で暗電流を補正する。
【解決手段】固体撮像素子１は、入射光を光電変換する光電変換部を有し画像を撮像するための有効画素１１と、有効画素１１と同一の構成を有し遮光された第１の素子１２と、有効画素１１と同一の構成から前記光電変換部を取り除いた構成を有する第２の素子１３と、第１の素子１２の出力信号と第２の素子１３の出力信号との差分に応じた補正量を得る補正量取得部２５と、変換後の出力値が前記補正量に応じて補正されるように、有効画素１１からの出力をＡＤ変換するＡＤ変換部７，８，９，２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】「混色」の発生などを防止して、撮像画像の画像品質を向上させる。
【解決手段】半導体基板１０１において裏面（上面）側に形成されたトレンチＴＲ内に、画素分離部３０１を設ける。ここでは、受光面ＪＳに入射した光を吸収する絶縁材料によって、画素分離部３０１を形成する。 （もっと読む）

【課題】像消失期間を短縮することができる撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像装置は、静止画撮影による画素信号の読み出しと動画撮影による画素信号の読み出しとを並行して行うことが可能である。動画撮影の露光開始時刻から静止画撮影の露光期間内の所定の時刻までに画素２８の光電変換素子に蓄積された第１の信号電荷に基づく第１の画素信号と、所定の時刻から動画撮影の露光終了時刻までに画素２８の光電変換素子に蓄積された第２の信号電荷に基づく第２の画素信号とが読み出される。加算器２９は、第１の画素信号と第２の画素信号とを加算し、加算後の画素信号を動画用信号として出力する。 （もっと読む）

【課題】電気特性の変動が生じにくく、且つ電気特性の良好な半導体装置、およびその作製方法を提供することである。
【解決手段】基板上に下地絶縁膜を形成し、下地絶縁膜上に第１の酸化物半導体膜を形成し、第１の酸化物半導体膜を形成した後、第１の加熱処理を行って第２の酸化物半導体膜を形成した後、選択的にエッチングして、第３の酸化物半導体膜を形成し、第１の絶縁膜および第３の酸化物半導体膜上に絶縁膜を形成し、第３の酸化物半導体膜の表面が露出するように絶縁膜の表面を研磨して、少なくとも第３の酸化物半導体膜の側面に接するサイドウォール絶縁膜を形成した後、サイドウォール絶縁膜および第３の酸化物半導体膜上にソース電極およびドレイン電極を形成し、ゲート絶縁膜およびゲート電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】製造効率の向上、コストダウン、信頼性の向上、小型化を容易に実現させる。
【解決手段】ガラス基板３０１においてセンサ素子１００に対面する側の面のうち、画素領域ＰＡに対応する部分と、画素領域ＰＡの周辺に位置する周辺領域ＳＡの一部とを被覆するように、赤外カットフィルタ層３１１を形成する。そして、センサ素子１００と赤外カットフィルタ３００とが対面する面の周辺部分において、ガラス基板３０１にて赤外カットフィルタ層３１１で被覆されていない部分と、その赤外カットフィルタ層３１１の周辺部分とに接するように、接着層５０１を設ける。 （もっと読む）

【課題】撮像画像の画像品質を向上させる。
【解決手段】半導体基板１０１の画素分離部３０１に形成されたトレンチＴＲの内部に第１遮光部３１３Ａを設ける。これと共に、その第１遮光部３１３Ａの上面側に第２遮光部３１３Ｂを設ける。ここでは、画素領域ＰＡの中心よりも周辺において、第２遮光部３１３Ｂの中心が、画素分離部３０１の中心に対して、画素領域ＰＡの周辺の側へ多くシフトするように、第２遮光部３１３Ｂを形成する。つまり、少なくとも第２遮光部について「瞳補正」を実施する。 （もっと読む）

【課題】製造効率の向上、コストダウン、信頼性の向上、小型化を容易に実現させる。
【解決手段】接着層５０１によってセンサ素子１００に接着される第１ガラス基板３０１Ａにおいてセンサ素子１００に対面する面に対して反対側の面に、遮光層３１１を設ける。そして、第１ガラス基板３０１Ａにおいて遮光層３１１が設けられた面に対面するように、第２ガラス基板３０１Ｂを配置する。 （もっと読む）

【課題】 光電変換部の電荷の転送効率を向上させることを目的とする。
【解決手段】 活性領域１１５にＮ型半導体領域１０１及びフローティングディフュージョン１０５が配される。ＰＤからＦＤ１０５に電荷を転送するための転送ゲート電極１０３が半導体基板上に絶縁体を介して配される。ＰＤを構成するＮ型半導体領域１０１の一部と転送ゲート電極１０３の一部とが互いに重なる。活性領域１１５にＰ型半導体領域１０６が配される。Ｐ型半導体領域１０６と、Ｎ型半導体領域１０１の転送ゲート電極１０３と重なった部分とは、半導体基板と絶縁体との界面に平行な方向において互いに隣接して配される。Ｎ型半導体領域１０１の不純物濃度ピークの位置とＰ型半導体領域１０６の不純物濃度ピークの位置とが異なる深さである。 （もっと読む）

【課題】ローリングシャッタ的雑音を低減した高性能なグローバルシャッタ機能を有する固体撮像装置を提供する。
【解決手段】二次元状に配置された複数の単位画素セルを備え、グローバルシャッタ機能を有する固体撮像装置であって、前記複数の単位画素セル２３のそれぞれは、半導体基板の上方に形成され、入射光を信号電荷に変換する光電変換膜１６と、前記光電変換膜の前記半導体基板側の面に形成された画素電極１５と、前記半導体基板上に形成され、グローバルシャッタによって前記光電変換膜１６から転送された信号電荷を蓄積するグローバル電荷蓄積拡散層７とを備え、前記グローバルシャッタは前記複数の単位セルにおいて同時に光電変換膜１６からグ信号電荷を転送することであり、前記画素電極１５は、遮光性を有する金属で形成される。 （もっと読む）

【課題】衝撃ノイズによる誤動作を防止しつつ、Ｘ線の照射開始を自己検出する。
【解決手段】画素３７を制御するための走査線４７が行毎に、信号電荷を読み出すための信号線４８が列毎に配設された撮像領域５１を有するＦＰＤ２５と、蓄積動作と読み出し動作とを行わせるゲートドライバ５２と、Ｘ線の照射開始を検出するとともに、Ｘ線の照射開始を検出したときに、蓄積動作が開始するようにゲートドライバ５２を制御する制御部５４と、信号線４８のうち少なくとも１本の第１信号線に接続され、ＴＦＴ４３のオンオフの状態に関わらず、Ｘ線の入射量に応じた信号電荷を第１信号線に送出する短絡画素６２を有し、制御部５４は、蓄積動作が開始された後、第１信号線の出力値と第１信号線とは別の第２信号線の出力値に基づいて、照射開始の検出が、Ｘ線の照射による正当なものか、ノイズによる誤検出かを判定する。 （もっと読む）

【課題】焦点検出用信号を得るための画素を活用しつつ、暗電流成分をより低減させることができる補正を行う。
【解決手段】固体撮像素子は、入射光を受光して光電変換する光電変換部４１を有する複数の第１の画素２０Ａと、平面視において分割線により分割される一方側の領域及び他方側の領域にそれぞれ存し互いに独立して信号が読み出される第１の光電変換部４５又は４６及び第２の光電変換部４６又は４５を有し、第１の光電変換部４５又は４６は入射光を受光して光電変換する一方で、前記第２の光電変換部４６又は４５は遮光された複数の第２の画素２０Ｌ，２０Ｒと、を備える。 （もっと読む）