【課題】電子銃における引出電極に設けた絞りで発生する二次電子の量を減らして、フレアの発生を抑制することにある。
【解決手段】電子銃における最も電子源１に近い引出電極５の絞り７Ａに炭素など二次電子放出率の小さい薄膜をコーティングすると、二次電子の発生量を減少させることができる。フレアの発生原因である引出電極で発生する二次電子が減少するので、結果的にフレアが減少する。また、引出電極５に２枚の絞り７Ａ，７Ｂを組み込み、この２枚の絞りに引出電極と等電位となる電位を与えることで、引出電極の下部から上部へ染み出す電界をなくすことができる。この結果、電子ビームが引出電極に衝突したときに発生する二次電子は引出電極から通過する方向の力をうけなくなり、結果的にフレアが減少する。 （もっと読む）

【課題】放出電流が安定で低雑音の電子顕微鏡用の冷陰極電界放出型電子源を提供する。
【解決手段】冷陰極電界放出型エミッタ先端５０３の後方に配置された開口５５４を有するエミッタ包囲電極５５２と、引出電極５０８とにより閉空間を形成し、閉空間の内部に配置された円形フィラメント５３０を加熱する事により放出される電子５２０による衝撃と熱的励起により、引出電極５０８とエミッタ包囲電極５５２の吸着物質５２２、５２６を離脱させ、ギャップ５６０より排気し除去する。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査透過型電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、集束イオン・ビーム（ＦＩＢ）システムなどの集束粒子ビーム・システム用の荷電粒子源を提供すること。
【解決手段】この源は、荷電粒子システムの軸を中心とすることができる小さな領域内にある独立してアドレス指定可能な多数の放出器を使用する。１つのチップから放出させ、または２つ以上のチップから同時に放出させることを可能にするため、これらの放出器は全て、個別に制御することができる。１つの放出器だけが活動化されるモードは高輝度に対応し、複数の放出器が同時に活動化されるモードは、高い角強度およびより低い輝度を提供する。単一の放出器を逐次的に使用することによって源の寿命を延ばすことができる。全ての放出器に対する機械／電気組合せアラインメント手順が記載される。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム装置の分解能を高める。
【解決手段】荷電粒子ビームを光軸に沿って放出するエミッタ組立体が提供される。ガンチャンバ（２０）内に収納されたエミッタ組立体は、エミッタ先端部（１５）を備えたエミッタ（５）を含み、エミッタ先端部は、光軸に垂直な第１の平面のところに位置決めされ、エミッタは、第１の電位まで付勢されるよう構成され、エミッタ組立体は、開口部を備えたエクストラクタ（１１２）を更に有し、開口部は、光軸に垂直な第２の平面のところに位置決めされ、エクストラクタは、第２の電位まで付勢されるよう構成され、第２の平面は、第１の平面から２．２５ｍｍ以上の第１の距離を有する。 （もっと読む）

【課題】引出電極との電位差によって電子線を放出させる電子源を備えた電子銃において、引出電極と絶縁碍子の接合部に生じる電界集中に起因して発生する微小放電を抑制し、絶縁耐力を向上する。
【解決手段】絶縁碍子４の固定ねじの通し穴の面と、絶縁碍子４の引出電極３と金属リング１６が接触する面に、導電性の金属被膜を形成するメタライズ部１３を施すことによって、固定ねじ５の周囲を均一な等電位の領域を形成し、微小放電の原因となる異物や、固定ねじのねじ山の先端部に強電界がかからない構造とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低収差の冷陰極型電子銃を提供することで、大電流においても高輝度の電子銃を提供することを目的とする。
【課題手段】本発明は、電子線を陰極から引き出し、引き出された電子線を収束する電界放出型電子銃において、レンズ磁界中に陰極が配置されるように磁場レンズを備え、陰極から電子を引き出すための引出電極を、絞り構造のない円筒形で構成したことを特徴とする。
【効果】本発明によれば、磁場を用いて電子線を収束する機能を持つ電子銃において、付随して発生する静電レンズ作用を低減し、収差が少なく輝度が高い電子銃を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】電子線の放出電流量を安定化するために、第１引出し電極に印加する電圧を制御しても、電子線の軌道の変動を抑えることができる電子線装置を提供する。
【解決手段】電子線装置は冷陰極型電界放出電子銃を有する。冷陰極型電界放出電子銃は、冷陰極と第１引出し電極と第２引出し電極とを有する。冷陰極と第１引出し電極の間の距離を、第１引出し電極と第２引出し電極の間の距離と比較して短く設定する。冷陰極から放出される電子線の電流量が減衰したとき、第１引出し電極に印加する電圧を増加する。 （もっと読む）

【課題】高分解能、高スループットのマルチビーム検査装置を実現するために、ラングミュア限界を越える高輝度、かつ高エミッタンスのビームを得る。
【解決手段】電子銃は平面のカソード、引出し電極又はアノード、及び円錐の一部の形状のウエーネルト電極を有し、電子銃電流Ie(mA)をカソード・アノード間距離Dac(mm)との関係により次の範囲とする。0.388/Dac-0.046≦Ie≦92.8/Dac+9.28、Dac≧3mm、あるいは、0.388/Dac-0.046≦Ie≦22/Dac+32.7、Dac＜3mm。又は、電子銃電流Ie(mA)をカソード半径との関係により数値限定（数式省略）する。輝度Ｂとカソード電流密度Ｊｃの関係は、シミュレーション値５７１（破線）と実測値５７２が比較的良く一致し、かつ輝度はラングミュア限界５７３を超えている。 （もっと読む）

【課題】高分解能、高スループットのマルチビーム検査装置を実現するために、ラングミュア限界を越える高輝度、かつ高エミッタンスの電子ビームを得る。
【解決手段】平面カソード、ウェーネルト、引き出し電極（又はアノード）を有する電子銃の後方に、レンズを設けてクロスオーバを形成することにより高輝度でエネルギー幅の小さい電子ビームを実現した。このビームを得るために、カソード電流Ieとカソード半径Rcは、単位をそれぞれmAとμｍとしたとき、シミュレーション結果に基づいて、0.5＋0.0098Rc＜Ie＜2.3＋0.026Rcとし、電子銃の輝度は前記レンズの強さを変えて調整する。輝度Ｂとカソード電流密度Ｊｃの関係を示すシミュレーション値５７１（破線）は実測値５７２と比較的良く一致し、かつ輝度はラングミュア限界５７３を超えている。 （もっと読む）

【課題】
超高真空度を保つために実施される加熱処理により生じる熱歪みによる陽極の位置ずれを抑制し、電子線の軌道がずれるのを防止する構造を持つ電界放射電子銃を提供すること。
【解決手段】
電界放射陰極６から電子線を引出すために設置される引出し電極７を、リング状絶縁碍子１４と同等の先膨張係数をもつ材料にて構成し、両者の接続には、リング状絶縁碍子１４と同等の先膨張係数をもつ材料からなるリング状碍子おさえ１６と引出し電極７でリング状絶縁碍子１４を挟みこみ、リング状絶縁碍子１４と同等の先膨張係数をもつ材料からなる電極固定ネジ１７を用い、それらを共締めにすることによって、真空チャンバ１３に固定する。 （もっと読む）

【課題】高分解能、高スループットのマルチビーム検査装置を実現するために、ラングミュア限界を越える高輝度、かつ高エミッタンスのビームを得る。
【解決手段】電子銃は光陰極のカソード、平面の一部の形状の引出し電極又はアノード、及び円錐台形状のウエーネルト電極を有し、カソード電流Ieとカソード半径Rcの単位をそれぞれmAとμｍとしたとき、カソード電流をシミュレーション結果に基づいて、0.5＋0.0098Rc＜Ie＜2.4＋0.026Rcとする。輝度Ｂとカソード電流密度Ｊｃの関係は、シミュレーション値５７１（破線）と実測値５７２は比較的良く一致し、かつ輝度はラングミュア限界５７３を超えている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、カーボンナノ材料を陰極に使用する電界放射電子銃に於いて、長時間安定したビーム放射方向を維持し軸ずれのない構造を提供することにある。
【解決手段】カーボンナノ材料を先端に接合した陰極と対向するように先端を先鋭化した導電性針を引出電極の開口部に陰極に突き出すように配置し、電位は引出電極と同一とする。電界放射された電子は電界集中した導電性針に向かって軌道を描き、長時間安定した電子ビームを得ることができる。電界放射された電子は、徐々にエネルギーが与えられるので全ての電子が導電性針に吸収されることはなく多くは電子ビームとして取り出せる。 （もっと読む）

【課題】医療用、工業用、分析用等における新規な構造の電界放射型の電子源を提供すること。
【解決手段】軸状に延びる陽極１２と、この陽極１２周囲に環状に配置される電界放射型の陰極１４と、を備える。さらに陽極１２周囲に陰極１４からの電子を遮蔽する部材２４を、備えた構成。 （もっと読む）

【課題】電子線源以外の引き出し電極等の部品に対しても吸着ガス分子の除去を行うことを可能にする電子線源装置を提供する。
【解決手段】電子線源である陰極１と、この陰極１から電子線を引き出すために、陰極１に印加される電圧に対して正の電圧が印加される引き出し電極２と、電子線を集束する電子線レンズとを少なくとも備え、引き出し電極２が、電流を流して、抵抗加熱により引き出し電極２自体を加熱することが可能であり、加熱により引き出し電極２に吸着したガスを除去する自己加熱洗浄機能を有する電子線源装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】フレア成分の発生が少ないショットキー電子銃を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムが塗布され、先端を鋭くエッチングしたタングステン単結晶電子源と、前記タングステン単結晶電子源を加熱するフィラメントと、前記フィラメントから発生する熱電子を抑制するサプレッサ電極と、前記タングステン単結晶電子源から電子ビームを放出するための電界を与える引出電極と、前記引出電極によって引出された電子ビームを所定の加速電圧まで加速する加速電極とを備え、前記引出電極は、通過する電子ビームの角度を制限する複数枚の絞りを有する。 （もっと読む）

【課題】 ＺｒＯ／Ｗエンハンスドショットキー放出型電子銃に関し、加速電圧に制限を受けずに、引出電極に起因するエミッターの先端近傍での圧力上昇を抑制して安定な動作を実現する。
【解決手段】 引出電極６の開孔７は、直径がシミュレーションにおいてタングステンエミッター２から放出される電子の引出電極６に衝突する割合が１％以下となる開口径である円筒面８と直径がサプレッサー電極５の平坦部にかかる電界強度がＫｉｌｐａｔｒｉｃ臨界電界となる開口径である円筒面１０との間に存在する円筒面１１と、タングステンエミッター２の先端から０．１４ｍｍ後退した点を頂点とする頂角９０°の円錐面９を含むより外側の領域に存在し円筒面１１の下端に連なる回転対称曲面１２と、からなる側面形状を有している。 （もっと読む）

【課題】 電界放出型電子銃を搭載する電子線装置において、試料上の電子線スポットの周りに拡がる散乱電子を除去する。
【解決手段】 引出電極５と加速電極６の間にリペラ電極１０を配置し、リペラ電極１０に所定の電圧を印加するためのリペラ電源１１を設ける。エミッタから引き出された電子が引出電極５に衝突して発生し加速電極６側に流れ込む二次電子ＳＥはリペラ電極１０により跳ね返されて試料には到達しない。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡、Ｘ線装置、オージェ電子分光器等の分析装置および電子線描画装置等において、公知の技術では、輝度が大きい、すなわち電子流密度が高く、精細にフォーカスでき（クロスオーバーが小さい）、且つ、装置が小型であるという特長を同時に有する電子銃は知られていなかった。
【解決手段】本発明は、 カーボンナノチューブ（以下、ＣＮＴと略称する）からなる電子エミッターと、該電子エミッターから電子を放出、加速および収束させるための静電レンズとして、バトラー型レンズとを備えたことを特徴とする電界放出型電子銃であり、該バトラー型レンズにおいて、引出し電極が電気的に独立して２〜１６分割されている。 （もっと読む）

【課題】不連続的放出パターンを有する荷電粒子エミッタによる荷電粒子装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置及び方法。装置は、少なくとも２つの放出ピークを含む放出パターンを有するエミッタ（１０２）と、ガンレンズ（１１９、５１９、９１９）と、ダイヤフラム（１２０）とを含み、ガンレンズは、デフレクタ・ユニット（１１０）を含み、デフレクタ・ユニットは、少なくとも２つの放出ピークのうちの放出ピークをダイヤフラムの開口部に向け、それによって少なくとも２つの放出パターンから放出ピークのうちの放出ピークを選択するようになっている。 （もっと読む）

電子銃に用いる電子ビーム源。電子ビーム源は先端に端部を有するエミッタを含む。エミッタは電子ビームを生成するように構成される。電子ビーム源は、エミッタの先端が抑制電極から突出し、引出し電極がエミッタの先端に隣接して配置されるようにエミッタを横方向に包囲するサップレッサ電極をさらに含む。引出し電極は、磁界が電子ビームの軸と同心の磁気ディスクを含む。 （もっと読む）