【課題】磁場界浸型Cold-FE電子銃において、長時間の観察においても電子銃や電子光学系の再調整の必要が無く、効率のよい観察を可能とする。
【解決手段】永久磁石を備えた磁路を持ち収束作用を有する磁石レンズ１２０と電子源１０１を備える電子銃１の周辺または内部にゲッターポンプ１６aを備えることで電源を必要とする真空ポンプの設置を不要とし、電子銃１内部の真空度を高く維持する事により、電子源１０１を清浄化しプローブ電流の回復機能を持たせ、電子光学系の再調整を不要とする。 （もっと読む）

【課題】Ｗ（３１０）面からの放出電流の減衰の仕方の特徴を用いて、電界放出型電子源をより安定して使う方法の開示を目的とする。
【課題手段】本発明では、タングステンの＜３１０＞単結晶からなる電界放出電子源と、当該電子源が配置される真空室と、前記真空室を排気する排気系と、前記電子源と接続され、電流を流して前記電子源を加熱するフィラメントと、当該フィラメントに電流を流す電源と、当該電子源から放出される総電流量を測定する電流計と、を備える荷電粒子線装置であって、前記総電流量を定期的に測定し、当該総電流量が、最初の電子線放出直後の前記電子源からの総電流量、または前記フィラメントに電流を流した直後の前記電子線からの総電流量に対して所定の比率以下になったときに、前記電源が前記フィラメントに電流を流すように制御する制御部を備えることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】現用のＺｒ／Ｏ／Ｗ電子源よりも電子放出面の仕事関数を減少させ、狭エネルギー幅かつ高電流密度の放出電子が得られ、長寿命な電子源を提供し、高分解能像が短時間に得られる電子顕微鏡や高スループットな電子線描画装置を実現する。
【解決手段】先端を針状にした金属からなる針状電極１０４と、前記針状電極を加熱する発熱体１０３からなる電子源において、前記電子源は前記発熱体により加熱可能な拡散源を有し、酸素を含むバリウム化合物と炭素粒子の混合物を拡散源１０６とする。 （もっと読む）

【課題】陰極先端の周囲の真空度を高真空度にて正確に管理することができる電界放出型電子銃及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】初期減衰期間を測定することによって、陰極先端の周囲の真空度が十分に高いか否かを判定する。陰極先端の周囲の真空度が十分に高い場合には、電界放出を行い、安定期間に電子ビームを使用する。陰極先端の周囲の真空度が十分に高くない場合には、ベーキングを実施し、陰極先端の周囲の真空度を更に高くする。 （もっと読む）

【課題】自動チップ形成を備える帯電粒子源を提供する。
【解決手段】帯電粒子デバイスは、エミッタチップ１３を含むエミッタユニットと、エミッタチップに安定な引出電界を生成するための定電圧を供給するように構成された電圧供給ユニット２２２と、安定引出電界に加えてパルス引出電界を生成するためのパルス電圧を供給するように構成されたパルス電圧供給部品２２４と、エミッタ特性を測定するための測定ユニット１４２、１４２’、１４２”と、測定ユニットから信号を受け取るように構成され、かつパルス電圧供給部品を制御するように構成された制御ユニット１３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】エミッタ表面を有する冷陰極電界エミッタを含む荷電粒子ビーム照射デバイス、特に電子ビーム照射デバイスを動作する方法を提供する。
【解決手段】本方法は、（ａ）所与の引き出し電界下で高い初期照射電流と低い安定平均照射電流とを示す冷陰極電界エミッタを真空中に配置する段階と、（ｂ）エミッタ表面から電子を照射するために冷陰極電界エミッタに引き出し電界を印加して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射電流よりも高くなるようにする段階と、（ｃ）少なくとも１つの加熱パルスを印加してエミッタ表面を温度にまで加熱することにより清浄化処理を行い、清浄化処理は、冷陰極電界エミッタの照射電流が低い安定平均照射値にまで低下する前に行われるようにする段階と、（ｄ）清浄化処理（ｃ）を繰返して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射値を連続的に上回るように維持する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、加熱フラッシングに耐え得る繊維状炭素物質と導電性基材との接合部の耐熱性を有する電界放出型電子銃およびそれを用いた電子線応用装置を提供することにある。
【解決手段】繊維状炭素物質と、前記繊維状炭素物質を支持する導電性基材と、前記繊維状炭素物質を加熱できる加熱装置と、前記繊維状炭素物質より電子を電界放出させる引出装置と、前記電子を加速する加速装置とを有する電界放出型電子銃において、繊維状炭素物質と導電性基材との接触部分の一部に、炭化物または固溶体を形成する高融点物質である第一の導電性被覆層を形成し、さらに、導電性被覆層と、繊維状炭素物質と導電性基材との接触部分と、繊維状炭素物質の先端部分を除く、前記導電性基材からの突出部分を取囲むように、炭素から構成される第二の被覆層を設けることにある。更には、本発明の電界放出型電子銃を各種電子線応用装置に適用することである。 （もっと読む）

【課題】本発明の第一の課題は、長時間連続して安定した電界放出電流が得られるとともに、電界放出電子のエネルギー分布の広がりを抑制することができる電界放出型電子銃、およびその運転方法を提供することにある。本発明の第二の課題は、長時間の連続運転が可能であり、ノイズが少なく、かつ高分解能な電子ビーム応用装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の第一の課題を達成するための手段は、繊維状炭素物質とそれを支持する導電性基材から構成される電子源と、電子を電界放出させる引出装置と、電子を加速させる加速装置と、該電子源を加熱する手段を有する電界放出型電子銃において、電界放出前に該電子源を加熱保持後、電界放出電流の変動幅が規定値内になる最低の加熱温度を適宜調整することにある。本発明の第二の課題を達成するための手段は、本発明の電子銃およびその運転方法を各種電子ビーム応用装置に適用することにある。 （もっと読む）

【課題】
ＣＮＴ等の高輝度荷電電粒子線源からの荷電粒子線を安定に放出し、高分解能で長時間安定な荷電粒子線装置技術を提供する。
【解決手段】
本発明では、表面クリーニング（清浄化）手段を設け、これにより、例えば、ＣＮＴ表面に付着した非晶質のコンタミ膜を除去するよう構成する。そのために、表面クリーニング手段として、反応ガス導入手段５、６とガス活性化手段３０を備え、ＣＮＴ等の電子源１を入れるクリーナーを構成し、使用前に電子源１を処理する構造とする。あるいは、電子銃装置に、反応ガス導入手段とガス活性化手段を組み込み、装置内で表面クリーニングする構成とする。 （もっと読む）

【課題】
繊維状炭素物質先端部を破壊することなく、その先端部に存在するアモルファスカーボンを除去することができる手段を有する電界放出型電子銃およびその運転方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明の課題を解決するための手段は、単一の繊維状炭素物質とそれを支持する導電性基材から構成される電界放出型陰極と、電子を電界放出させる引出装置と、電子を加速させる加速装置を有する電界放出型電子銃に、該電界放出型陰極を加熱する手段および該電界放出型陰極に電子を電界放出させない極性の電圧を印加する手段を具備することにある。 （もっと読む）

【課題】電界エミッタ配置、並びに、電界エミッタの放出面を清掃する方法を提供すること。
【解決手段】荷電粒子の一次ビーム（１５）を生成するようになっている、放出面（１１）を有する電界エミッタ・チップ（１０）と、電界エミッタ・チップ（１０）の放出面（１１）に照射するようになっている、少なくとも１つの電子源（２０）と、を備えた電界エミッタ配置（１００）が提供される。 （もっと読む）

【課題】主用途に使用の荷電粒子をビーム放射するエミッタモジュールで、従来より十分なクリーニングを可能とするように改良する。
【解決手段】光軸に沿って荷電粒子を放射する荷電粒子ビームエミッタ（１５）と、同一光軸にほぼ沿って荷電粒子を放射するクリーニングエミッタ（１６）とを、同一母体（３２）に備えて一体化モジュールを構成し、クリーニング放射による荷電粒子ビームが、主用途に使用の荷電粒子ビームが通過するコラム内の経路と、ほぼ同一の経路をとるようにする。
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【解決手段】容易に再生・修復されて高寿命であり、しかも制御性よく、微小構造を形成することができるナノ電子源を用いた電子顕微鏡等の電子光学装置用電子ビーム源を提供する。
【効果】先端が先鋭化された針状形状を有するタングステン等の第１金属基体の清浄な先端表面に、パラジウム、白金等の第２金属を蒸着し、８００〜１，２００℃に加熱することにより、数ｎｍの大きさのナノピラミッドが成長し、原子１個乃至数個で終端された微小構造物が得られ、点光源として高い指向性、高輝度、高干渉性を有すると共に、この構造物がイオン衝撃や吸着等によってナノピラミッドが壊れた場合にも、加熱によって再生できるため、電子源の寿命は３００時間を超える。 （もっと読む）