【課題】 既存の電子カラムに使用される電子放出源と異なり、電子を安定的に放出することができるＣＮＴを用いる電子放出源と、ＣＮＴを容易に整列付着または蒸着するための方法と、これを用いる電子カラムを提供する。
【解決手段】図４は、図２のチップ先端１１にＣＮＴチップ５０が付着された電子放出源１０がチップ先端１１を基準としてソースレンズ２０と整列結合された状態を示し、このように整列された状態で、イオンビームソース１１０からイオンビームがソースレンズ２０のホールを通過してＣＮＴチップ５０に走査され、このイオンビーム（Ｉ）によってＣＮＴチップ５０が垂直に整列され、既存の電子カラムにおいて電子ビームが放出される方向の逆方向にイオンビームを走査し、この際、イオンビームは平行にチップに向かって平行ビームとして進行することもでき、あるいはフォーカシングされてチップ先端１１に向かって走査される。 （もっと読む）

本発明は、粒子を放出するための少なくとも１個の電界放出尖端部（４）を有する、真空室（２）内に配置されているかまたは真空室（２）内に向いている少なくとも１個の粒子エミッタ（３）と、少なくとも１個の粒子エミッタ（３）に付設された、放出された粒子流（５）を集束するための磁界発生器（６）とを備え、粒子エミッタ（３）の電界放出尖端部（４）が、磁界発生器（６）とは反対の基板（８）の側の表面（７）上または表面内に製作されたエミッタ構造体（９）によって形成され、基板（８）が真空室（２）と真空室（２）の外側にある大気室（１０）との間の隔壁として形成され、磁界発生器（６）が真空室（２）の外側で、エミッタ構造体（９）とは反対の基板（８）の側（１４）に配置されている、特に電子顕微鏡またはイオン顕微鏡のような粒子光学的機器のための粒子を熱誘導電界放出するための装置と、装置を製作する方法に関する。
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【課題】エミッタ電極の先端面をエッチング加工することによりエミッタ電極の先端に極めて細い針状部を形成することができる電界放出型電子銃の製造方法を提供する。
【解決手段】電子ビームの出射のための複数分割エミッタ電極を備える電界放出型電子銃の製造方法であって、エミッタ電極（２１）の先端部２８に集束イオンビームＩを照射して先端部２８を除去加工することにより、先端部２８に互いに独立しかつ電子ビームの出射方向に伸長する複数の針状部３０を形成する。 （もっと読む）

【課題】陰極先端部に傾斜することなくレーザー光を照射して電子線を発生させて引き出すことを第１の目的とし、そのための光学部品の構成を利用して陰極先端部の拡大観察を容易に行えるようにすることを第２の目的とし、陰極に照射されるレーザー光の強度変化をリアルタイムで計測し、その結果をフィードバックさせて照射レーザー光強度を一定にすることを第３の目的とする。
【解決手段】電子線発生装置は、陰極先端部に対向する位置に反射鏡２４を配置し、反射鏡に、陰極先端部から発生した電子線を通過させる穿孔３９が形成してあり、所定の位置に配したレーザー照射器からのレーザー光２２を反射して、陰極先端部に向かうように反射鏡をレーザー照射器からのレーザー光に対し所定角度傾斜させてある。 （もっと読む）

【課題】本発明の第一の課題は、長時間連続して安定した電界放出電流が得られるとともに、電界放出電子のエネルギー分布の広がりを抑制することができる電界放出型電子銃、およびその運転方法を提供することにある。本発明の第二の課題は、長時間の連続運転が可能であり、ノイズが少なく、かつ高分解能な電子ビーム応用装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の第一の課題を達成するための手段は、繊維状炭素物質とそれを支持する導電性基材から構成される電子源と、電子を電界放出させる引出装置と、電子を加速させる加速装置と、該電子源を加熱する手段を有する電界放出型電子銃において、電界放出前に該電子源を加熱保持後、電界放出電流の変動幅が規定値内になる最低の加熱温度を適宜調整することにある。本発明の第二の課題を達成するための手段は、本発明の電子銃およびその運転方法を各種電子ビーム応用装置に適用することにある。 （もっと読む）

【課題】水素終端されたダイヤモンドの電子放出能力の低下を抑制できる電子銃と、この電子銃の製造方法とを提供すること。
【解決手段】電子銃２は、水素終端されたダイヤモンドから成る電子放出部４と、電子放出部４の周囲に設けられた電極１０とを備え、電極１０は、この電極１０の表面２４から内側に向かう領域に形成されたゲッター領域２６を有する。そして、電子銃２は、電子放出部４を加熱する加熱器１４を備え、ゲッター領域２６は水素を含有する。 （もっと読む）

【課題】 電界放出型電子源を用いて、イオンビームの空間電荷を効率良く中和して、空間電荷によるイオンビームの発散を効果的に抑制することができる装置を提供する。
【解決手段】 このイオンビーム照射装置は、イオンビーム２の経路の近傍に設けられていて電子１２を放出する電界放出型電子源１０を備えている。電界放出型電子源１０は、それから放出するときの電子１２の、イオンビーム２の進行方向に平行な方向からの角度である入射角度が、−１５度から＋４５度（イオンビーム２の内向きが＋、外向きが−）の範囲内の角度を成す向きに配置されている。 （もっと読む）

【課題】電子放出材料自体の劣化が少なく、薄型でコンパクトな構成且つ低コストにできる電子放出素子、これを用いた帯電装置、プロセスカートリッジ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】帯電装置１００の電子放出素子６０は、基板として絶縁材料６１上に電極層６２を設けた複合基板を用いたものであり、電極層６２上には窒化ホウ素材料（ｓｐ３結合性窒化ホウ素）６３の薄膜を固定化して形成してある。窒化ホウ素材料６３の上には薄膜電極６４が設けられている。薄膜電極６４と電極層６２との間には、直流駆動電源６７が設けられている。また、電子放出素子６０の薄膜電極６４と像担持体６６の裏面の電極６５との間には、バイアス電源６８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】従来のものより２桁以上高い電流密度のスピン偏極電子線を生成できるスピン偏極電子発生装置を提供する。
【解決手段】スピン偏極電子発生装置１０において、励起光入射装置４６は、スピン偏極電子発生素子２２の半導体基板６２側から励起光を入射し超格子半導体光電層６６に収束させるものであることから、直列的に配設された貫通孔を有するアノード電極、ソレノイドレンズ、偏向電磁石（スピンマニピュレータ）を順次通してスピン偏極電子発生素子の表面に励起光を収束させる従来の場合に比較して、励起光入射装置４６の収束レンズ５４とスピン偏極電子発生素子２２との間の焦点距離ｆを少なくとも１／１０程度に大幅に短縮できるので、スピン偏極電子発生素子２２に収束される励起光Ｌのスポット径を格段に小さくすることができ、高い電流密度のスピン偏極電子線Ｂを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、特許文献３と非特許文献１に開示されている対物レンズ、つまり、対物レンズの内側磁極と外側磁極より電子銃側に、試料を配置する対物レンズにおいて、高分解能化（低収差化）を実現することにある。
【解決手段】上記の課題を解決するための磁界型レンズの設計基本方針は、レンズの光軸上磁束密度分布Ｂ（ｚ）において如何にしてＢを強く、かつレンズの厚み（つまりＢ分布のｚ幅）を薄くするかに尽きる。そのためには対物レンズ１３の内側磁極と外側磁極の形状や配置を見直し、試料上の電子ビーム照射部近傍のみに磁界を集中させる必要がある。そのためには先ず図４に示すように内側磁極１３ａを円錐台形状にし、試料１２はその円錐台の台側近くに配置するように構成した。 （もっと読む）

【課題】
ＣＮＴ等の高輝度荷電電粒子線源からの荷電粒子線を安定に放出し、高分解能で長時間安定な荷電粒子線装置技術を提供する。
【解決手段】
本発明では、表面クリーニング（清浄化）手段を設け、これにより、例えば、ＣＮＴ表面に付着した非晶質のコンタミ膜を除去するよう構成する。そのために、表面クリーニング手段として、反応ガス導入手段５、６とガス活性化手段３０を備え、ＣＮＴ等の電子源１を入れるクリーナーを構成し、使用前に電子源１を処理する構造とする。あるいは、電子銃装置に、反応ガス導入手段とガス活性化手段を組み込み、装置内で表面クリーニングする構成とする。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブ層を表層部に備えた金属板よりなる電子放出源において、前記カーボンナノチューブ層に供給する電力に対する電子の放出能力を大きくすること。
【解決手段】前記カーボンナノチューブ層の表面部を窒化する。このカーボンナノチューブ層は炭素六員環と炭素五員環とが垂直方向に起立した状態で構成されており、炭素六員環及び炭素五員環の先端部の炭素原子を窒素プラズマによって窒素原子に置換することで、置換された窒素原子と炭素原子とを結ぶ結合手の長さが炭素原子と炭素原子とを結ぶ結合手の長さよりも長くなることから、炭素六員環または炭素五員環のＣ−Ｃ−Ｃ角に比べてＣ−Ｎ−Ｃ角の方が鋭角となる。この鋭角の頂点に位置する窒素原子に電界が集中する。 （もっと読む）

【課題】 電界放出型電子銃を搭載する電子線装置において、試料上の電子線スポットの周りに拡がる散乱電子を除去する。
【解決手段】 引出電極５と加速電極６の間にリペラ電極１０を配置し、リペラ電極１０に所定の電圧を印加するためのリペラ電源１１を設ける。エミッタから引き出された電子が引出電極５に衝突して発生し加速電極６側に流れ込む二次電子ＳＥはリペラ電極１０により跳ね返されて試料には到達しない。 （もっと読む）

【課題】 光電面におけるダメージを低減するとともに、電子ビームの加速を容易にする光電変換素子、及びこれを用いた電子線発生装置を提供すること。
【解決手段】 透過型カソードプラグは、レーザ光を照射されてレーザ光の照射方向に電子ビームを発生させる透過型の光電変換素子であって、照射方向に沿って複数の貫通孔３０６が設けられた光電面下地基板３０２と、光電面下地基板３０２の照射方向側の端面に沿って、複数の貫通孔３０６を覆うように形成された光電面３１とを備える。 （もっと読む）

電子銃に用いる電子ビーム源。電子ビーム源は先端に端部を有するエミッタを含む。エミッタは電子ビームを生成するように構成される。電子ビーム源は、エミッタの先端が抑制電極から突出し、引出し電極がエミッタの先端に隣接して配置されるようにエミッタを横方向に包囲するサップレッサ電極をさらに含む。引出し電極は、磁界が電子ビームの軸と同心の磁気ディスクを含む。 （もっと読む）

【課題】電子銃を低収差で動作させる。
【解決手段】電子源１近傍に磁界レンズ３を配置して、磁界レンズ３を短焦点化するために、下磁極と上磁極との磁極間隔を短くする構成とし、磁極と電極とはそれぞれ分離した構造として、磁極間隔より電極間隔が大きくなるような構成とする。 （もっと読む）

【課題】主用途に使用の荷電粒子をビーム放射するエミッタモジュールで、従来より十分なクリーニングを可能とするように改良する。
【解決手段】光軸に沿って荷電粒子を放射する荷電粒子ビームエミッタ（１５）と、同一光軸にほぼ沿って荷電粒子を放射するクリーニングエミッタ（１６）とを、同一母体（３２）に備えて一体化モジュールを構成し、クリーニング放射による荷電粒子ビームが、主用途に使用の荷電粒子ビームが通過するコラム内の経路と、ほぼ同一の経路をとるようにする。
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【課題】 輝度および干渉性の両方が格段に高く、ＴＥＭ等の電子顕微鏡、加速器、Ｘ線発生装置等用の電子線源として利用した場合、それらの性能を飛躍的に向上させることのできるフォトカソード型電子線源を実現する陰極先端部への高量子効率物質の局所被覆装置を提供する。
【解決手段】 この出願の発明の局所被覆装置は、フォトカソード型電子線源の陰極先端部（１５）に高量子効率物質を被覆するものであり、陰極先端部（１５）と、高量子効率物質被覆物の構成物質が放出される放出源（４１、４２）との間に、陰極先端部（１５）への被覆領域を制限するための穴を有する絞りを配置したことを特徴とする。 （もっと読む）