【課題】走査電子像と光学像との同時観察が可能であると共に構造も簡単な電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを走査する走査手段１０と、電子ビームが走査された試料８から発せられる電子を検出する電子検出器１２を有し、該電子検出器からの検出結果に基づき走査電子像を得る走査型電子顕微鏡２と、試料に照明光を照射して該試料からの反射光を受光して光学像を得る光学顕微鏡３とを具備し、前記走査型電子顕微鏡の光軸７と前記光学顕微鏡の光軸６が前記試料の観察点上で交差する電子顕微鏡装置１であって、前記走査手段は前記電子ビームを走査エリアの幅を超える走査幅で走査し、前記光学顕微鏡は前記電子ビームが前記走査エリアを超えるオーバラン部分で照明光を発して光学像を得、前記走査型電子顕微鏡は前記電子ビームが前記走査エリアを走査する際に発せられる電子に基づき走査電子像を得る様構成した。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、数多くの測定点が試料上に存在する場合であっても、ＦＯＶの位置、或いは大きさを容易に設定することが可能な荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置による画像取得条件決定方法の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するために、以下に、複数の測定点を包含するように、荷電粒子線装置の視野を決定する画像取得条件決定方法であって、視野の４つの辺について、それぞれ測定点が重畳するか否かの判断を行い、当該各辺について測定点が、視野の内側、或いは外側に移動するように視野を移動させ、当該移動後の視野位置を、前記荷電粒子線装置の視野位置を決定することを特徴とする画像取得条件決定方法、及びそれを実現するための装置を提案する。また、前記４つの辺について、それぞれ測定点が重畳するか否かの判断を行い、各辺に前記複数の測定点が重畳しない範囲までＦＯＶの大きさを変化させる方法、及び装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】
走査荷電粒子顕微鏡の走査画像に外部擾乱により障害が現れた場合、外部擾乱を特定するためにその画像から擾乱周波数を簡単に精度よく解析することを目的とする。また、その解析可能な最大周波数を、走査荷電粒子顕微鏡の排気ポンプとしてよく使用するターボ分子ポンプなどの回転周波数である数ｋＨｚまで高めることを目的とする。
【解決手段】
走査画像の像障害である縞パターンのＦＦＴ解析において、Ｙ方向（荷電粒子線の副偏向方向）の一次元ＦＦＴ（１Ｄ−ＦＦＴ）あるいはＸ方向（荷電粒子線の主偏向方向）の一次元ＤＦＴ（１Ｄ−ＤＦＴ）にて行う。また、解析可能な最大周波数を数ｋＨｚまで伸ばすには、荷電ビームの走査速度の速いＸ方向（荷電粒子線の主偏向方向）での１Ｄ−ＦＦＴ（あるいは１Ｄ−ＤＦＴ）解析を行う。 （もっと読む）

【課題】
走査型荷電粒子顕微鏡及び走査型荷電粒子顕微鏡装置で取得した画像の処理方法において、最適な撮像条件は，試料の形状や材質等によって異なるため，特定の撮像条件を用いた１枚の画像撮像のみでは十分良好な画質が得られない場合がある。
【解決手段】
異なる撮像条件下で試料を撮像して該試料の複数の画像を取得し，この取得した複数の画像についてそれぞれの画像の劣化関数を生成し、取得した複数の画像と生成したそれぞれの画像に対応する劣化関数とを用いて分解能を向上させた画像を生成し、この分解能を向上させた画像を処理するようにした。 （もっと読む）

【課題】
調整が容易で、高速かつ再現性のある低コストな傾斜観察方法、観察装置を提供する。
【解決手段】
標準試料の真上から撮影した画像（step４）と、傾斜ビームで撮影した画像（step６）から、ビーム傾斜時の走査スポットのボケを抽出し、目的とする試料の傾斜画像（step１０）を、抽出した傾斜時のスポットでデコンボリューション（step１１、１２）することにより、試料の高分解能傾斜画像を得る。 （もっと読む）

【課題】電子ビームの高精度な偏向制御と高速動作を可能とした電子ビームを用いた半導体検査装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェハに形成された回路パターンを有する試料に細く絞った電子ビームを照射し、照射期間中に前記試料から発生する二次信号を検出し、照射期間と振り戻し期間とを繰り返す偏向制御により前記試料を走査し、検出した前記二次信号から画像を生成して前記試料の欠陥を検査する電子ビームを用いた半導体検査装置において、電子ビームの照射期間中の偏向制御電圧を、照射期間中の開始電圧の値と最終電圧の値のみ設定し、その間を連続的に変化させ、これを走査の１ライン分として繰り返すことで、複数のラインを走査するように、電子ビームの偏向を制御する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハのパターンの検査において、非検査領域が混在する試料でも非検査領域への電子ビームの照射を防止し、所望の検査領域を検査することができる検査装置、および検査方法を提供する。
【解決手段】電子ビームは試料の照射領域を画像化するための照射エネルギーを有し、電子ビームの走査中に電子ビームが試料へ照射するのを妨げるように電子ビームをブランキング偏向するブランキング偏向器と、電子ビームの走査中に試料を連続的に移動させるステージと、電子ビームの照射領域の選択に従って、電子ビームの非照射領域では電子ビームをブランキング偏向するブランキング偏向器へ偏向指令を送信する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査の高速化を図ることができる電子ビームを用いた検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】電子銃１からの電子ビーム３６は対物レンズ９で収束され、試料１３に与えられるリターディング電圧によって減速され、試料１３は移動しながら電子ビームで走査され、試料１３から発生した２次電子３３はリターディング電圧により加速され、ほぼ平行ビームとなって、対物レンズ９と試料１３との間に配置されたＥ×Ｂ偏向器１８により偏向されて２次電子発生体１９を照射し、２次電子発生体１９から第２の２次電子２０が発生して荷電粒子検出器２１によって検出される。検出されたその出力信号は画像信号として記憶され、記憶された画像は演算部２９及び欠陥判定部３０で比較され、欠陥が判定される。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、帯電や試料傾斜等の存在によらず、装置の状態をモニタするのに好適な走査電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】
上記課題を解決するために、電子ビームを試料に到達させない状態で、得られた情報に基づいて、装置コンディションをモニタする機能を備えた走査電子顕微鏡を提案する。より具体的な一例として、試料に負の電圧を印加することで、電子ビームを試料に到達させないで反射させる状態とすると共に、アライメント用の偏向器に所定の信号を供給したときに得られる上記反射した電子の検出位置の変化をモニタする。上記所定の信号が、アライメントが適正に行われている状態のものであるとすると、上記電子の検出位置の変化は、軸ずれを反映したものとなる。 （もっと読む）

【課題】
試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース，コストダウン，振動抑止と高速化，検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。
【解決手段】
少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。 （もっと読む）

直接連続して、サンプル表面の各部分を荷電粒子ビームに露光させるステップを含み、前記サンプル表面の前記各部分は、第１の方向に列を形成し、前記荷電粒子ビームが前記サンプル表面において平均スポットサイズｆを有し、前記各部分は、それぞれ隣接部分から、第１方向に少なくとも距離ｄだけ離れており、比率ｄ／ｆは２以上であることを特徴とする方法を開示する。 （もっと読む）

【課題】
ステージ追従方式において荷電粒子線の偏向を制御する事で、状況・目的に応じて走査を最適化し、画像の歪みを低減し、スループット，画質，欠陥検出率が向上した装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
検査対象に荷電粒子線を照射して発生する二次電子を検出し、検査対象の異常を検出する検査装置であって、検査対象を載置し連続的に移動するステージと、該ステージの移動中にステージの移動速度変化に応じて該ステージ移動軸方向へ偏向させながら、該ステージ移動軸方向に対して略直角方向に荷電粒子線を繰返し走査させる走査信号を偏向器へ与える偏向制御回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】
アスペクト比の大きなコンタクトホールの観察，検査、或いは測定を高精度に実現ならしめる方法、及び装置を提供する。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、試料に第１の電子ビームを走査して、試料上を帯電させた後に、第２の電子ビームを走査して試料の観察，検査、或いは測定を行う方法、及び装置において、第１の電子ビームのビーム径を、第２の電子ビームのビーム径より大きくする方法、及び装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】一次電子ビームと二次電子ビームとの重複領域で二次電子ビームの空間電荷効果による収差増大を抑制する。
【解決手段】電子ビームを生成して試料である基板Ｓに一次電子ビームＢｐとして照射する電子銃１１と、一次電子ビームＢｐの照射を受けて基板Ｓから放出される二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して基板Ｓの状態を表わす信号を出力する電子検出部３０と、上記二次電子、上記反射電子および上記後方散乱電子の少なくともいずれかを導いて二次電子ビームＢｓとして拡大投影し、電子検出部３０のＭＣＰ検出器３１の検出面に結像させる二次光学系２０と、を備える基板検査装置１に、一次電子ビームＢｐの軌道と二次電子ビームＢｓの軌道との重複領域が縮小するように一次電子ビームＢｐを偏向する偏向器６８をさらに設ける。 （もっと読む）

【課題】
試料の検査対象領域の任意の方向に走査（スキャン）可能で高スループットな電子ビームを用いた検査装置を提供する。
【解決手段】
走査電子顕微鏡の電子ビームを走査（スキャン）させるための２次元の座標を生成するスキャン制御部１２に、水平（Ｘ）方向及び垂直（Ｙ）方向毎に個別に座標変換する変換部８，９を備え、試料の検査対象領域で任意の方向に電子ビームを走査させる。この変換部８、９を、水平（Ｘ）方向及び垂直（Ｙ）方向毎に個別に高速動作可能な小容量変換テーブル（ＬＵＴ）で構成し、複数のスキャン種別に対応する座標変換データを格納した大容量変換テーブル（ＬＵＴ）を組み合わせることで、複数のスキャン種別に対応できる多機能で高速なスキャン制御が可能な検査装置を実現する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、荷電粒子線の照射によって誘起される試料の電位変化を抑制しつつ、荷電粒子線を用いた試料表面の電位測定、或いは試料帯電によって変化する装置条件を自動的に調整する装置の提供にある。
【解決手段】
上記目的を達成するために、荷電粒子線を試料に向けて照射している状態において、当該荷電粒子線が試料へ到達しない状態（以下ミラー状態と称することもある）となるように、試料に電圧を印加し、そのときに得られる信号を用いて、試料電位に関する情報を検出する方法、及び測定結果を基に自動的に装置条件を調整する装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】試料傾斜時の像を試料水平時の像に歪み無く補正する。
【解決手段】電子線の照射中心から見た一方の偏向角度αともう一方の偏向角度βを異なる角度で偏向できるようにするとともに、台形補正、湾曲歪補正、傾斜焦点補正と組合せることにより、試料傾斜時の像を試料水平時の像に歪み無く補正する。 （もっと読む）

【課題】絶縁材を含む試料を観察する場合に、試料が帯電することにより像ドリフトが発生することを防止する。
【解決手段】所定の走査線方向と所定の走査線の順次方向による第１の走査と、前記所定の走査線方向と異なる走査線方向と前記所定の走査線の順次方向と異なる走査線の順次方向による第２の走査と、を実行する。第１の走査を実行した後に前記第２の走査を実行することを繰返し、第２の走査によって得られたフレームの相加平均を求めることによって画像を生成してもよい。第１の走査によって得られた少なくとも１つのフレームと、第２の走査によって得られた少なくとも１つのフレームの相加平均を求めることによって画像を生成してもよい。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、試料上の帯電によって生ずる荷電粒子線装置のフォーカスずれ，倍率変動，測長値誤差を低減するに好適な荷電粒子線照射方法、及び荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】
上記目的を達成するために本発明では、荷電粒子線の搬入機構によって搬入される試料の通過中に、試料上の電位を測定する静電電位計によって試料上の電位分布を計測する手法を提案する。また、試料上の特定箇所の局所帯電を計測し、その帯電量から大域帯電量分を分離して計測する手法を提案する。更に、特定箇所の帯電量を、少なくとも２つの荷電粒子光学条件で計測し、特定箇所の帯電量変化に伴う荷電粒子線を用いた寸法測定値の変化を計測し、この変化に基づいて測長値、或いは倍率を補正する手法を提案する。 （もっと読む）

【課題】
検査の高速化を図ることができる電子ビームを用いた検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】
電子源から発生した電子ビームが対物レンズによって試料に収束され、試料が電子ビームで走査され、それによって試料から荷電粒子が発生するように電子ビームが偏向され、走査の間試料を連続的に移動し、試料の移動中に試料の高さを測定して対物レンズの焦点距離を補正し、試料から発生した荷電粒子が対物レンズと試料との間から荷電粒子検出器によって検出されて電気信号に変換され、この電気信号が画像信号として記憶され、この記憶された画像信号を用いて画像比較が実行され、試料の欠陥が検出される。 （もっと読む）