【課題】コストダウンし且つ信頼性を高める。
【解決手段】電子増倍器１００は、電気配線パターン２０を有し貫通孔１６が形成された絶縁性基板１１と、絶縁性基板１１の貫通孔１６の一方側に配置され電気配線パターン２０に電気的に接続されたＭＣＰ１２と、ＭＣＰ１２の一方側に配置されＭＣＰ１２に電気的に接続されたシールド板１３と、貫通孔１６の他方側に配置され電気配線パターン２０に電気的に接続されたアノード１５と、絶縁性基板１１に固定されアノード１５から信号を読み出すための信号読出し端子１９と、を備えている。シールド板１３は、厚さ方向から見てＭＣＰ１２を含むように形成されている。シールド板１３には、ＭＣＰ１２の少なくとも一部を露出させる貫通孔２７が形成されている。ここで、絶縁性基板１１、ＭＣＰ１２、シールド板１３及びアノード１５は、一体となるように互いに固定されている。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子検出装置および電子検出方法に関し、サンプルからの電子をほぼ完全に検出すると共に、チャネルによる増倍飽和による影響を低減して大きな入力電流まで比例した出力電流の検出することを目的とする。
【構成】電子を衝突させて２次電子を放出して増倍する第１の電子増倍手段と、第１の電子増倍手段に電子を加速して集束し衝突させる電圧を印加する第１の電圧印加手段と、第１の電子増倍手段より増倍されて放出された２次電子を衝突させて２次電子を放出して増倍する第２の電子増倍手段と、第２の電子増倍手段に第１の電子増倍手段から放出された電子を加速して集束し衝突させる電圧を印加する第２の電圧印加手段と、第２の電子増倍手段により増倍されて放出された２次電子を衝突させて電流を検出するアノードと、アノードに第２の電子増倍手段から放出された電子を加速して衝突させる電圧を印加する第３の電圧印加手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＭＣＰのイオンの入射方向上流側に配置されたグリッド電極で発生する二次電子に起因する検出誤差を防止することのできる荷電粒子検出器及び飛行時間型質量分析装置を提供すること。
【解決手段】入射されるイオンをＭＣＰ１１，１２を通過させて検出する荷電粒子検出器Ｘは，ＭＣＰ１１へのイオンの入射面１１ａに対向して配置されると共に該入射面１１ａの電位Ｖｉｎより低い電位Ｖｇが与えられたグリッド電極２を備えている。そして，グリッド電極２は，該グリッド電極２にイオンが照射されたときに発生する二次電子をＭＣＰ１１の入射面１１ａに対して離間する方向に移動させる機能を有する。例えば，グリッド電極２は，イオンの入射方向の上流側から下流側のＭＣＰ１１に向けて先細となる三角形の断面形状を有する複数のグリッド線２１により形成されている。 （もっと読む）

【課題】電極とマイクロチャンネルプレートとの接触に伴って生じる検出信号のノイズを低減する。
【解決手段】マイクロチャンネルプレート２と、マイクロチャンネルプレートの一方の面の外周部上に配置され、中央部に検出対象のエネルギー線が入射される枠状の入力電極３と、マイクロチャンネルプレートの他方の面の外周部上に配置され、中央部に電子増倍された２次電子が放出される空間４２Ｓが形成される枠状の出力電極４とを備え、出力電極は、マイクロチャンネルプレートに接触する第１枠状部４１と、第１枠状部と同心状であって、第１枠状部におけるマイクロチャンネルプレートとは反対側の面に設けられ、内周端縁部４２Ｅが第１枠状部の内周端縁部４１Ｅよりも平面視で内方に位置し平坦面４２Ｆを有している第２枠状部４２とから構成される。 （もっと読む）

【課題】ＭＣＰの検出位置によって検出効率が異なる問題を解決する。
【解決手段】ＭＣＰを３枚用いた３段構成のＭＣＰ組立体を用いる。１段目のＭＣＰ８１は電子の数を大きく増倍することを目的とせず、検出体を捕獲して２段目のＭＣＰ８２に送り込むことを目的とする。１段目のＭＣＰ８１のチャネルに衝突した検出体８４，８５は低い増倍率で二次電子に変換されて２段目のＭＣＰ８２に入射し、チャネルに衝突しない検出体８６は発散角が制限されて２段目のＭＣＰ８２に入射する。これにより２段目のＭＣＰのチャネル方向と検出体の進行方向が一致することを回避する。２段目及び３段目のＭＣＰにより、ＭＣＰ全面で十分に読み出し可能な電荷量まで二次電子数を増倍させる。 （もっと読む）

【課題】 微細チャンネルを有する薄型で変形を抑制することを可能とした矩形のＭＣＰを提供する。
【解決手段】 ＭＣＰ１００は、矩形平板状であって、厚み方向に貫通する多数の孔（チャンネル）が多数配置された有孔部分１０の両側に無垢ガス等で形成されたチャンネルを有しない無孔部分１１を有している。そして、ＭＣＰ１００の両面には、それぞれ有孔部分１０をはさんで、両側の無孔部分１１にかかるような形で、入力側電極２と、出力側電極３がそれぞれ形成されている。 （もっと読む）

本発明は、チャンネル５の配列、基板２及び水素化非晶質シリコン膜３を有するマイクロチャンネルプレート１に関し、基板上に堆積した水素化非晶質シリコン膜３は５０μｍから２００μｍを有する厚み、好適には８０μｍから１２０μｍを有する厚みを有し、前記膜はチャンネル５の配列を有する。基板２は、内部の読み出し電子回路及び画素化された集電極８を有する集積回路であり、膜３は基板２上に集積されているのが好ましい。チャンネル５は深反応性イオンエッチング（ＤＲＩＥ）プロセスによって形成してもよい。 （もっと読む）

タンパク質、オリゴヌクレオチドなどの大きな分子を含む分子を、室温又は室温に近い温度で、電界放出（ＦＥ）及び／又は２次電子放出（ＳＥＥ）による電子の発生に基づいて検出する活性検出器及び方法を提供する。この検出器は、１つ又は複数の分子が接触する外面と、薄い金属層又は他のタイプの電子放出層を有する内面とを有する半導体膜を備える。半導体膜と接触した分子の運動エネルギーは、半導体膜を貫いて移動し、放出層から電子を放出させる。放出された電子を検出するために電子検出器が配置され、この電子検出器は任意選択の電子増幅手段を含む。 （もっと読む）

【課題】紫外線、赤外線、あるいは可視光等の光を高感度で検出することができ、位置分解能及び計数率特性に優れた光検出器を提供することを目的とする。
【解決手段】光検出器１０１は、入射する光を電子に変換して放出する光電変換部２と、光電変換部２に相対する位置に配置され、チャンバ７内のガスで電子を増幅して検出するピクセル型電極６と、光電変換部２の周囲に接触し、ピクセル型電極６に対して負電位となるマイナス電極９と、を備える。本光検出器は、光電変換部からピクセル型電極へ向けて広がる電場を形成しており、光電変換部が発生させた電子の位置情報を保ったまま相似拡張してピクセル型電極へ到達させることができる。 （もっと読む）

【解決手段】光電陰極と電子増倍器は真空透光容器内に設置され、電子収集極と電力供給極は真空透光容器を通過して外部回路と接続され、光電陰極は真空透光容器の内面全体を被覆し、電子増倍器は真空透光容器の内部中心に設置されて、光電陰極からの各方向の光電子を受けて増倍電子を生成する。光電陰極の面積を有効的に拡大し、単位受光面積あたりの光検出効率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】 ＭＣＰ（マイクロチャネルプレート）の交換が容易で、かつ、その入射面とイオン軌跡との直交性を高精度に確保することを可能とした質量分析装置を提供する。
【解決手段】 真空フランジ６と本体１とで構成される真空容器内にイオンが飛行するフライトチューブ２が配置されており、その末端にＭＣＰ群４がＭＣＰ−ＩＮ電極３を介して取り付けられている。真空フランジ６は、本体１に着脱可能に取り付けられ、ＭＣＰ群４はその真空フランジ６に取り付けられた検出用の回路基板７上に設けられたスプリング７１０により、フライトチューブ２の端部に向けて付勢されてそのイオン飛行軌跡に対する直交性が確保されている。 （もっと読む）

【課題】用途に応じた特性を容易に得ることができる電子増倍器を提供する。
【解決手段】ＭＣＰ２の周縁部２３とＭＣＰ３の周縁部３３同士を導電性のスペーサ層７を介して接合することによって、チャンネル部２２，３２同士の間に間隙１２を形成する。これによって、特に高いゲインが必要とされる用途に用いる場合は、スペーサ層７の厚みを調節することによって、間隙１２を大きくすることでゲインを増大させることができる。また、ゲインの増大と共に時間特性も要求される用途に用いる場合は、スペーサ層７の厚みを調節することによって、所望の特性が得られるように間隙１２の大きさを調節することができる。以上によって、スペーサ層７の厚みを調節するだけで、用途に応じた特性を容易に得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、より高い開口比(OAR)をもたらす非対称実装パターンを有するマイクロチャンネルプレートを製造する装置及び方法を提供する。
【解決手段】マイクロチャンネルプレートを作製するブールは、(a)各セットが六角形状境界ファイバーを形成するように配置された少なくとも２セットのファイバー列と、(b)２セットの六角形状境界ファイバーの間に配設される追加ファイバー列とを有する。追加ファイバー列は、水平方向に方向付けされた境界ファイバーの上に実装される水平方向に方向付けされたファイバー列を有する。水平方向に方向付けされた境界ファイバー列におけるファイバーは、追加ファイバー列における２つの連続するファイバーに隣接して実装され、ファイバーの三角形態配列を形成する。ファイバーの三角形態配列は、少なくとも90％の最大開口比(OAR)を形成する。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも２ディケードの入力信号Ｔｏの測定処理デバイスに関し、このデバイスは、その電源電圧Ｖｍに基づいて指数関数的ゲインを有し、前記入力信号Ｔｏを受け取る電子増倍管４と、前記増倍管４の電源電圧Ｖｍを提供する電源５と、そのゲインパラメータ１０およびシフトパラメータ１１が、調整可能であり、前記増倍管４の指数関数的ゲインを変化させながら出力信号範囲を規定する、電源５の制御回路６と、その出力が、電子増倍管４の出力信号ＩｏＧに基づいて測定ダイナミックレンジにわたり連続的に電子増倍管４の指数関数的ゲインを変化させるように、制御回路６の入力として受け取られ、前記デバイスの出力信号Ｖｏｕｔを形成する、対数圧縮増幅器Ｔと、電子増倍管４の指数関数的ゲインの指数の値ｂを事前に決定し、前記事前に決定された指数の値ｂに基づいて、前記制御回路６のゲインパラメータ値１０およびシフトパラメータ値１１を計算する測定計算手段とを備える。本発明は、さらに、対応する漏洩検出器および測定処理方法に関する。
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マイクロチャネルプレートは、基板の頂面から基板の底面まで延在する複数のチャネルを画定する、水素に富むポリマー基板を含み、中性子は、複数のチャネルと相互作用して、少なくとも１つの二次電子を生成する。抵抗層は、実質的に一定の抵抗率でオーミック伝導を提供する、複数のチャネルの外面上に形成される。放出層は、抵抗層上に形成される。中性子相互作用生成物は、基板により画定される複数のチャネルおよび放出膜と相互作用し、複数のチャネル内でカスケード増幅して中性子の検出に関連した増幅信号を提供する二次電子を生成する。
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【課題】部品同士の位置精度を十分に確保しつつ、部品点数を減らし、組み付け作業を容易とし、小型化を図ることができるイオン検出器を提供する。
【解決手段】イオンを検出するファラデーカップ４と、ＭＣＰ６とをそれぞれ一対の基板９，１１で挟持する。このような構成とすることにより、各部品を一対の基板９，１１で両側から固定することによって十分な位置精度を確保することができると共に、簡単な構成とすることで部品点数を少なくする。また、基板９，１１で挟み込むだけの作業で各部品の位置決め作業と固定作業とを同時に行うことで、組み付け作業を容易に行う。更に、ＭＣＰ６の入射面６ａが、開口部２からファラデーカップ４へ向かう軸線Ａに沿って延在するように配置することで、ファラデーカップ４の幅方向に沿うように配置した場合に比してスペースを有効に活用し、イオン検出器１の小型化を図る。 （もっと読む）

【課題】 応答速度が速くリニアリティを維持できる出力範囲を広くすることが可能なイオン検出器を提供する。
【解決手段】 このイオン検出器は、ＭＣＰ１３と、複数のスリットをそれぞれ有する複数の平板状ダイノードＤＹ１〜ＤＹ９とを備えている。複数の平板状ダイノードＤＹ１〜ＤＹ９は、ＭＣＰ１３の電子出力面１３ｓに対して平行に、スペーサＳを介して積層され、初段の平板状ダイノードＤＹ１は電子出力面１３ｓに平行に対向している。このイオン検出器によれば、ｍＶに至るリニアリティを有する出力信号が得られ、そのパルス幅は６００ｐｓ程度に短くすることができる。 （もっと読む）

【課題】放射線の検出効率を向上することができる電子増幅器及びこれを使用した放射線検出器を提供する。
【解決手段】入射電極１０１と検出部１０２との間に、板状絶縁層１２とこの板状絶縁層１２の両面に形成された平面状の導体層１４，１６とで構成された電子増幅板１０が配置されている。この電子増幅板１０には、電場を集束させるための貫通孔１８が複数形成されている。また、入射電極１０１には、電子増幅板１０に対向する面から上記貫通孔１８に向けて伸長する柱状突起２４が形成されている。さらに、これらの構成要素を収容するチャンバ１０４内には検出用ガスが充填されている。電極１０１に入射した放射線は、柱状突起２４から一次電子を発生させ、発生した一次電子は、当該一次電子を発生させた放射線の入射位置に対応する位置に配置された貫通孔１８に進入し、増幅される。 （もっと読む）

【課題】 装置のイオン光軸に対するＭＣＰの入射面の精度を確保して質量分解能力を向上させたＴＯＦ−ＭＳおよびそれに用いる荷電粒子検出装置を提供する。
【解決手段】 ＭＣＰをＩＮ電極１とＯＵＴ電極とで挟み込み、その後にアノード電極、後方カバーを設置した荷電粒子検出装置１００は、ＩＮ電極１より後方の構成部材がＭＣＰ入射面からみてＩＮ電極１より内側に配置されており、後方の構成部材より外側に突出したＩＮ電極１部分に設けられたフランジ部を利用してＴＯＦ−ＭＳの筐体壁面３３０にネジ止め等により固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 製造や取扱時のＭＣＰの破損を予防することを可能とした構成を有するＭＣＰ組立体を提供する。
【解決手段】 １枚または複数のＭＣＰ５、６を入力側電極４、出力側電極７で挟み込んだ構成を有するＭＣＰ組立体１０において、入力側電極４、出力側電極７の少なくとも一方（好ましくは双方）のＭＣＰ５、６に面する表面には、ＭＣＰ表面に当接してこれを固定する略環状の当接面を有するとともに、この当接面の外周に、ＭＣＰ表面から離隔する方向に後退している離隔表面を有している。 （もっと読む）