【課題】半導体ウェハー等の光照射工程においてウェハー上のひずみの発生を抑制し、それにより半導体チップ製造における歩留まりを向上する。
【解決手段】本発明は基板に付された光硬化材料を硬化させるために閃光放電ランプを点灯させる閃光放電ランプ点灯装置を提供する。閃光放電ランプ点灯装置は、入力電圧を昇圧する昇圧回路及び昇圧回路の出力を充電する蓄電回路からなる昇圧充電回路、閃光放電ランプを絶縁破壊させて蓄電回路からのエネルギーを閃光放電ランプに投入させるための始動回路、並びに閃光放電ランプに複数回にわたる一連の点灯を行わせるために昇圧充電回路及び始動回路を制御する制御部を備え、制御部は、一連の点灯において、相対的に低いエネルギーを蓄電回路に充電して点灯させる弱照射モードの後に相対的に高いエネルギーを蓄電回路に充電して点灯させる本照射モードを適用するように構成される。 （もっと読む）

【課題】一対の電極が対向配置された発光管を備え、点灯始動時に直流電流が供給され、その後に交流電流にて定常点灯されるショートアーク型高圧水銀ランプにおいて、始動時に陰極動作する電極から電極材料が蒸発して、これが発光管内壁に付着して黒化を招いてしまうことを防止した構造を提供することにある。
【解決手段】前記点灯始動時の直流電流供給時において陰極動作する電極のヘッド部と前記発光管との最短距離（Ｄ１）が、陽極動作する電極のヘッド部と前記発光管との最短距離（Ｄ２）よりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期間点灯させた場合であっても、電極の先端位置が後退することが抑制され、高い照度維持率が得られる超高圧水銀ランプを提供する。
【解決手段】発光部および当該発光部の両端に連設された封止部を有する発光管内に、それぞれ基端部分が前記封止部に埋設されて保持された棒状の軸部を有する一対の電極が互いに対向するよう配置されてなる超高圧水銀ランプにおいて、
少なくとも一方の電極は、前記軸部より大きい径を有する頭部と、この頭部の後端面から続いて一体に突出して伸び、前記軸部から離間して設けられた電極物質補給部とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 始動時直流駆動かつ定常時の交流駆動の超高圧水銀ランプにおいて、電極先端の突起を維持しつつ、直流・交流極性反転時におけるコイルからの放電による発光管内壁へのダメージを抑制し、高寿命化を図った構造を有する超高圧水銀ランプを提供すること。
【解決手段】 石英ガラスよりなる発光管内に、その先端部に突起を有する一対の電極を２ｍｍ以下の間隔で対向配置し、この発光管内に０．１６ｍｇ／ｍｍ^３以上の水銀と、希ガスと、1×１０^−６〜１×１０^−２μｍｏｌ／ｍｍ^３の範囲でハロゲンを封入し、交流点灯される超高圧水銀ランプにおいて、一対の電極のうちの一方の電極は、電極芯棒と該電極芯棒の先端に位置する電極本体と該電極本体に具備されたコイルとからなり、他方の電極は電極芯棒と該電極芯棒の先端に位置する電極本体とからなることを特徴とする超高圧水銀ランプとする。 （もっと読む）

【課題】通常の直管蛍光ランプよりも高効率で、前記直管蛍光ランプと同じ長さの照明器具に装着可能で、且つ前記照明器具の小型化、薄型化が可能で、口金の異極端子間の絶縁破壊による放電の無い安全な蛍光ランプを提供することを目的とする。
【解決手段】この発明に係る蛍光ランプは、高周波点灯を行う３波長形の蛍光ランプにおいて、複数のガラス管を接合して、又は１本のガラス管を屈曲させて一つの放電路を形成する発光管を備え、ガラス管のガラス管外径を１６．５±１．５ｍｍ、当該蛍光ランプの全長を１０００〜１２００ｍｍ、ランプ電流を１５０ｍＡ±５０ｍＡとしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 １００Ｈｚ以下の低周波駆動を含む交流駆動方式でも、電極の突起が消滅せずに維持できる高圧放電ランプを提供すること。
【解決手段】 発光管に一対の電極を２ｍｍ以下の間隔で対向配置し、この発光管に０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上の水銀と、希ガスと、１×１０^−６〜１×１０^−２μｍｏｌ／ｍｍ^３の範囲でハロゲンを封入した高圧放電ランプにおいて、前記電極は突起と大径部とコイル部からなり、前記突起の径方向長さＡと軸方向長さＢの関係が、０．３５≦Ｂ／Ａ≦０．７５であり、前記突起の表面積Ｓ_１と前記大径部の表面積Ｓ_２の関係が、０．０３≦Ｓ_１／Ｓ_２≦０．２３であり、１００Ｈｚ以下の低周波駆動を含む交流駆動で点灯されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトで陽極側の封止部におけるクラック発生を抑制した自動車前照灯用として好適な直流点灯用のメタルハライド放電ランプ、これを備えたメタルハライド放電ランプ点灯装置および照明装置を提供する。
【解決手段】
メタルハライド放電ランプMHLは、包囲部1aおよび内部に封着金属箔が気密に埋設された一対の封止部1bを備えた気密容器1と、基端が封着金属箔3A、3Bに接続し、電極主部が包囲部内に離間対向して望み、かつ中間部が封止部で支持された陽極2Aおよび陰極2Kと、一対の電流導入導体4A、4Bと、第１のハロゲン化物および第２のハロゲン化物および希ガスを含み、本質的に水銀を含まない放電媒体とを具備し、上記気密容器内に流れる電流の向きが常に時間と共に変化しない単一方向であるとともに、陽極側の封着金属箔の長さが陰極側の封着金属箔の長さより大きくて、かつその長さが１０〜１９ｍｍである。 （もっと読む）

【課題】発光管のリフレクタの開口部側の電極の温度が、リフレクタのネック部側の電極の温度より上昇し、発光管の電極間に温度差が生じても、電極損耗の少ない超高圧水銀ランプを提供することを目的とする。
【解決手段】この発明に係る超高圧水銀ランプ１０は、リフレクタ５の開口部２０側に位置する第１の電極３ａと、リフレクタ５のネック部５ａ側に位置する第２の電極３ｂとを有し、内部に水銀を封入した発光管１を備え、交流点灯方式の超高圧水銀ランプ１０において、交流ランプ電流を超高圧水銀ランプ１０に供給して点灯する際に、交流ランプ電流の極性と同一の電流パルスを交流ランプ電流に重畳し、第１の電極３ａへの電流パルスのパルス幅を、第２の電極３ｂへの電流パルスのパルス幅よりも大きくしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスにおいて作業環境中の水銀蒸気を低減し、廃棄処理された際の環境中へ流入する水銀を低減し、かつリサイクル・リユース処理において破砕時に容易に外部飛散してしまう自由な水銀の量を低減する。
【解決手段】本発明の蛍光ランプ及び照明装置は、ガラスバルブの内面に蛍光体膜が形成され、内部に希ガスと水銀が封入された３波長タイプであり、ランプへの１本あたりの封入水銀量が１ｍｇ以上５ｍｇ以下であり：蛍光ランプ内面の保護膜厚をｘとし、ランプ電力（Ｗ）あたりの封入水銀量ｙ[mg/W]としたとき、ｘとｙの関係が、Ａ．ランプ定格寿命が6000h〜15000hの場合は、ｘ≧０．５μｍ、かつ-0.04x + 0.14 ≦ y ≦ -0.04x + 0.30、Ｂ．ランプ定格寿命が15000hを超える場合は、ｘ≧０．８μｍ、かつ-0.04x + 0.17 ≦ y ≦ -0.04x + 0.34である。 （もっと読む）

【課題】セラミック放電容器を有する高圧放電ランプにおいて、音響的共振による動作に最適に調節された高圧放電ランプを提供し、とりわけ垂直方向モードにおいて、メタルハライドランプのための色制御手段を実現し、分離を十分に抑圧する動作方法を提供することである。
【解決手段】該放電容器は２．５〜８のアスペクト比を有し、たとえば３〜６のアスペクト比を有し、前記端部領域は、内径がＩＤの少なくとも８５％に低減され、たとえばＩＤの少なくとも６０％に低減された、所与の長さＬＲＤを有し、該放電容器の端部には、ＩＤの少なくとも１５％を内径ＩＤＥとして有し、たとえばＩＤの少なくとも２０％を内径ＩＤＥとして有する端面が形成されている構成によって解決される。 （もっと読む）

【課題】
電極間色温度差を低減した直流点灯形の水銀フリーのメタルハライド放電ランプおよびこれを点灯するメタルハライド放電ランプシステムを提供する。
【解決手段】
メタルハライド放電ランプは、耐火性で透光性の気密容器１と、気密容器１内に封装された一対の電極２Ａ、２Ｂと、ハロゲン化物および希ガスを含み、かつ、本質的に水銀を含まないで気密容器１内に封入された放電媒体とを具備し、気密容器１内に流れるランプ電流の向きが時間とともに変化しない単一方向で、かつ、放電媒体の放電アークが音響的共鳴現象を利用して電極間を結ぶ直線方向に矯正されるように点灯される。 （もっと読む）

【課題】
放電ランプはホットスタートかコールドスタートであるかを判別して、各々に適した始動を行う。
【解決手段】
ショートアーク型放電ランプ１０と、点灯始動時に直流電流を供給するとともに、その後に交流電流を供給する給電装置２０からなるショートアーク型放電ランプ点灯装置において、給電装置２０が放電ランプ１０に対して供給する直流電流は、初めが定格電流よりも小さい電流（Ｉ１）であり、その後、定格電流よりも大きい電流（Ｉ２）であって、給電装置２０は、放電ランプ１０の点灯状態がホットスタートかコールドスタートであるかを検知するとともに、その検知結果に基づいて、電流（Ｉ２）の電流値及び／または供給時間を、各点灯状態に応じて調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 陽極損耗が原因と考えられる寿命初期のスクリーン照度の低下を抑えた構造を提供すること
【解決手段】発光管１０に０．１６ｍｇ／ｍｍ^３以上の水銀と、希ガスと、１×１０^−６〜１×１０^−２μｍｏｌ／ｍｍ^３の範囲でハロゲンを封入した高圧放電ランプ１と、この放電ランプに対して直流電流を供給して点灯させる給電装置Ｅｘから構成される。給電装置Ｅｘは、直流電流に交流成分を重畳させて、前記放電ランプに供給することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、公称電力Ｐｌａを有する高圧ナトリウムランプに関する。超短波（ＶＨＦ）で動作させられるように設計されたこのランプは、セラミック壁及び容器内径Ｄ_ｉｎｔを有する放電管を持ち、該放電管は、相互電極距離ｅｄで位置する一対の電極及びナトリウムモル分率（ｓｍｆ）を有するＮａアマルガムの充填物を含む放電空間を囲む。本発明によれば、放電管は、大きくとも７、好適には約５．５〜４．０の比ｅｄ／Ｄ_ｉｎｔを有する。
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本発明は、殺菌目的に適している高圧水銀蒸気ランプに関する。本発明による高圧水銀蒸気ランプは、少量のゲルマニウム及び酸素が、水銀及び／又はハロゲン化水銀に添加されるという点で注目に値する。更に、驚くべきことに、一酸化ゲルマニウムの添加により、一酸化ゲルマニウムが２５０〜２８０ｎｍの範囲で強い分子バンドシステムを放出するので、高圧水銀蒸気ランプのＧＡＣ効率（ＧＡＣはGermicidal Action Curve（殺菌作用曲線）の省略形である）が高められる。従って、本発明による高圧水銀蒸気ランプの殺菌作用は、通常の高圧水銀蒸気ランプの殺菌作用に対して強められる。このことは、本発明による高圧水銀蒸気ランプにおいて、ＧＡＣ加重値を与えられた放射束が、以前よりも大きいという事実から明らかである。
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ガス放電管内に、バッファガスとしての1または2以上の不活性ガスと、低圧ガス放電を発生させ、持続させる手段とを有する、低圧ガス放電ランプを示した。本低圧ガス放電ランプは、単一のガリウムハロゲン化物または複数のガリウムハロゲン化物の混合物を有し、これらには、さらにインジウムおよび／またはタリウムが添加される。この種類の低圧ガス放電ランプは、十分なUV線を発生するため、日焼け装置に使用することができる。
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【課題】フィラメント電極を活用してランプを高周波点灯した場合に始動特性および寿命特性が向上できる低圧放電ランプおよびこの放電ランプを備えた電球形蛍光ランプを提供することを目的とする。
【解決手段】放電路（空間）１Ｄを形成するバルブ１と、このバルブ１の端部に封着された一対のリード線２，２を有するステム４と、このステム４のリード線２，２に継線されるとともにリード線２，２より延出したレグ部３２をリード線２，２の先端より放電路（空間）１Ｄ側に突出させたフィラメント電極３，３と、上記バルブ１内に封入された放電媒体とを備えた低圧放電ランプＦＬ１およびこの放電ランプＦＬ１を備えた電球形蛍光ランプＦＬ２である。 （もっと読む）

【課題】 一般照明用電球に相当する電球形蛍光ランプを実現する。
【解決手段】 管内径６〜９ｍｍの複数のＵ字状屈曲形バルブ31を並設してバルブ高さが５０〜６０ｍｍ、放電路長が２００〜３００ｍｍであり、ランプ電力が７〜１５Ｗで点灯したときの全光束が７００lm以上、ランプ効率が６０lm／Ｗ以上となるように構成された発光管18を備える。発光管18が取り付けられるとともに口金12を有し、口金12を含む高さが１１０〜１２５ｍｍであるカバー14を備える。カバー14内に収容される点灯回路16を備える。一般照明用電球の規格寸法に近似する外形に形成されたグローブ17を備える。 （もっと読む）