【課題】本発明は、基板上に形成した電極や誘電体などを正確な温度で加熱処理しつつ、表示品質を維持できるフラットパネルディスプレイの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、基板を支持材３１に搭載し加熱処理を行うフラットパネルディスプレイの製造方法であって、前記基板と前記支持材との間に、加熱処理温度以下で揮発する液体３２を配置することを特徴とした、フラットパネルディスプレイの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】大型のガラス基板や電極配置の違う基板トレイを用いても高品質のＰＤＰを安定して製造できるＰＤＰの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基板１０１を支持搬送する基板トレイ４７を備え、基板トレイ４７にはガラス基板１０１を支持する第１支持部１１１ａおよび第２支持部１１１ｂを配置し、第１支持部１１１ａは基板トレイ４７に固定し、第２支持部１１１ｂは基板トレイ４７に固定した固定部１１０に連結部１１２を介して連結し、ガラス基板１０１を基板トレイ４７に対向させたとき、第１支持部１１１ａおよび第２支持部１１１ｂはガラス基板１０１と基板トレイ４７の間に挟まれるように基板トレイ４７に配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】大型化を抑制し得る構造を備えたプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】プラズマディスプレイパネル用のガラス基板２２を熱処理するプラズマディスプレイパネル用熱処理装置において、前記ガラス基板２２を搬送するローラーコンベア２４内に、排気配管２６と、排気配管２６の内部空間と連通する開口を有する排気ガイド４２と、を内蔵し、ローラーコンベア２４には排気口４１を設け、前記排気ガイド４２と前記排気口４１との位置が合致した場合に、熱処理装置内のガスが、排気口４１および排気ガイド４２を経て、排気配管２６を通じて熱処理装置外に排気するように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】（１１１）結晶配向性及び膜密度分布の良いＭｇＯ膜を成膜する。
【解決手段】成膜室２２内の搬送機構２９よりも成膜材料室２３側で、開口２８よりも外側、かつ、搬送機構２９によるガラス基板１０の搬送経路上で、開口２８の上流側の端部よりも上流側と、下流側の端部よりも下流側に２つのガス噴出管３３ａ、３３ｂを設けて、ガラス基板１０の、搬送方向と平行となる二辺部分に、中央部に対し相対的に多くの反応ガスを吹き付けながら成膜した。その結果、（１１１）結晶配向強度が向上し、ＭｇＯ膜の（１１１）結晶配向強度の差が小さくなることで分布のばらつきが減り、さらに、ＭｇＯの膜密度分布も改善された。 （もっと読む）

【課題】保護膜を形成する際に用いる基板トレイにおける基板保持の構成を、基板が自由に移動することが可能な構成とすることで、基板に撓みが発生しない、安定した保護膜形成を実現し、もって、良好な画像表示が可能なＰＤＰを実現することを目的とする。
【解決手段】前面ガラス基板上に形成された表示電極が誘電体ガラス層で被覆され、さらにこの誘電体ガラス層を覆うように保護膜が形成されたプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、前記保護膜を成膜する際に使用する基板トレイ４７は、前記前面ガラス基板をその保護膜形成面が下方面となるように前面ガラス基板の４辺の周辺部分で保持する枠状であり、且つ、この枠部に設けた球状の耐熱樹脂１０２aにより前面ガラス基板を支持することで保持する構成である。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の熱処理ムラを防止し、かつガラス基板とガラス基板支持板に空気を溜め込むことのないガラス基板支持板の表面加工方法及びそのガラス基板支持板を有するＰＤＰの熱処理装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】プラズマディスプレイパネルのガラス基板２２上にプラズマディスプレイパネルの構成物を形成する際の熱処理を行うためのプラズマディスプレイパネル用熱処理装置であって、このプラズマディスプレイパネル用熱処理装置に前記ガラス基板に投入する際に使用する、ガラス基板２２を載置するガラス基板支持板２３が、その表面に、二酸化ケイ素（シリカ）を溶剤と混合させた液体をガラス基板支持板の表面に吹き付け、その後、２００℃以上の熱処理を行うことで、数μｍ〜数１０μｍの高さの突起３５を備えるように構成されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用熱処理装置である。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ用基板の製造工程の効率化とこの製造工程における基板の破損防止を図ることが出来るディスプレイ用基板の搬送プレートを提供する。
【解決手段】搬送プレートＰ１上に、搬送するディスプレイ用のガラス基板１０が載置される基板載置エリアＥ１が設定され、この基板載置エリアＥ１の周囲を囲む位置に、搬送プレートＰ１の基板載置エリアＥ１内に載置されたガラス基板１０の基板載置エリアＥ１内からの移動を規制する複数個の突起層Ｐ１ｂが、搬送プレートＰ１と分離不能に一体的に形成されている。 （もっと読む）

【課題】大型の平板状部材であっても、熱処理することができる平板状部材の熱処理炉を提供する。
【解決手段】平板状部材５０を、トンネル状の炉体１の炉長方向に移送しつつ熱処理を行う平板状部材の熱処理炉であって、炉体１の両側壁１ｂから炉内に延出するローラ２を、互いに対向させて、炉内１側が側壁１ｂ側よりも低くなるように傾けて、炉長方向に複数、回転自在に配設し、ローラ２上に平板状部材５０を載せ、ローラ２を一定方向に回転させて、平板状部材５０を、炉体１の炉長方向に移送するように構成する。なお、対向するローラ２の少なくとも一方の下方に、ローラ２を転支する受けコロ４を設けることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の熱処理温度域で繰返し使用しても反り変形が発生しにくいガラス基板熱処理用セッターを提供する。
【解決手段】ガラス基板熱処理用セッターは、結晶化ガラス又はセラミックス焼結体からなり、ガラス基板を載置面に載置して熱処理するためのガラス基板熱処理用セッターであって、結晶化ガラス又はセラミックス焼結体における結晶の平均粒子径が３μｍ以上である。結晶化ガラスが、結晶相としてβ−石英固溶体又はβ−スポジュメン固溶体を含有するＬｉ_２Ｏ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＳｉＯ_２系結晶化ガラスであり、セラミックス焼結体が、結晶相としてペタライト、β−ユークリプタイト又はβ−スポジュメンを含有するＬｉ_２Ｏ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＳｉＯ_２系セラミックス焼結体である。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の処理対象物の全面を効率よく冷却できるようにし、処理対象物に部分的な反りや変形を生じることなく冷却処理の短時間化を実現できる連続式焼成炉を提供する。
【解決手段】連続式焼成炉の冷却室１５に導入ダクト１及び排気ダクト２を設けた。導入ダクト及び排気ダクトは、冷却室の上側の内壁面で、炉幅方向Ｙの略全域にわたって開口している。導入ダクトは、搬送方向の上流側に向けて空気を吹き出す。排気ダクトは、搬送方向における導入ダクトの上流側で、冷却室内の空気を排気する。ローラ１６上を搬送される処理対象物１００の上方に、冷却された外気の流路が炉幅方向Ｙの略全域にわたって均一に形成される。処理対象物は、上面全体に渡って均一に空気に接触する。 （もっと読む）

【課題】被熱処理体の熱処理を実施する熱処理装置において、基板上への塵落下を防止するとともに、電力削減および製品品質の向上を実現できる熱処理装置、その方法、および、プラズマディスプレイパネルを提供する。
【解決手段】熱処理装置は、連続的に配置した連続炉を備え、各区画室は、互いに独立の処理空間となっている。ヒータ３７，３８によって昇温され、その各区画室内の各基板を所定温度に加熱処理する。各区画室内には、マッフルと呼ばれる耐熱性のガラス上板３９ａ、ガラス側板３９ｂ，３９ｃが設けられ、特に、ガラス上板３９ａは、基板から２０〜６０ｍｍ離れた位置に設置される。マッフルとして用いられるガラスは、日本電気硝子社製のネオセラム（商品名）が好適に用いられ、このネオセラムの表面に、金属を溶媒に溶かした溶液を塗布して有機金属化させた透明マッフルを使用することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の熱処理温度域で繰返し使用しても反り変形が発生しにくいガラス基板熱処理用セッター及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基板熱処理用セッターは、板状の無機耐熱材料からなり、一方の面にガラス基板を載置して熱処理するためのガラス基板熱処理用セッターにおいて、ガラス基板を載置する載置面の表面から内部に向かって５μｍ離れた位置でのＫ₂Ｏが１〜５質量％であり、且つ、載置面の表面から内部に向かって１ｍｍ離れた位置でのＫ₂Ｏが０．８質量％未満であることを特徴とする。
また、ガラス基板熱処理用セッターの製造方法は、板状の無機耐熱材料からなり、一方の面にガラス基板を載置して熱処理するガラス基板熱処理用セッターの製造方法において、板状の無機耐熱材料又はその前駆体材料の一方又は両方の面に、外部の供給源からＫイオンを注入することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水蒸気により保護膜の膜質の改善を十分に図るとともに、保護膜の電子放出性能をプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）基板全面で均一にするＰＤＰの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】成膜装置２００には、金属製ハース２０５内のＭｇＯペレット２０４が加熱、蒸発により消費されるため、所定水分量のＭｇＯペレット２０４を補給するための材料補給系を備えている。材料補給系は、ＭｇＯペレット２０４を所定水分量に管理する密閉容器である材料補給チャンバ２１９、加熱機能を備えた材料容器２２０、およびＭｇＯペレット２０４を金属製ハース２０５へ導く材料補給路２２２から構成される。 （もっと読む）

【課題】高歪点薄板ガラス基板を用いて真空蒸着法によりパネル構成要素を形成する場合の基板の反りを防止して、高品質な画像表示が可能で且つ軽量なプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１、２として高歪点薄板ガラス基板２５を用い、高歪点薄板ガラス基板をその周縁部で基板保持具２２、２３によって支持することにより、高歪点薄板ガラス基板の面を水平方向に保持し、水平方向に保持した高歪点薄板ガラス基板の上面側に、高歪点薄板ガラス基板と同様の平面形状を有する補助基板２６を接触させて載置し、その状態で高歪点ガラス基板の下面側に対して真空蒸着法によりパネル構成要素を形成する。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の損傷を振動によって早期に拡大し、被搬送物のスクリーニングを容易にすること。
【解決手段】被搬送物を搬送する搬送部と、搬送中の被搬送物を搬送部から分離して保持し再び搬送部へ戻す保持部と、保持部に保持された被搬送物に試験または検査のための振動を与える振動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルディスプレイ用のガラス基板としての機能を損なわない範囲内で、かかるガラス基板を作業台上に載置したときの反り量を適正に設定することで、作業台に対するガラス基板の位置ずれを抑制することにある。
【解決手段】平坦な載置面を有する作業台２上に載置された状態で所定の処理が施されるフラットパネルディスプレイ用のガラス基板１であって、作業台２上に載置された状態での反り量（ｈ／Ｌ）を、０．００３％以上０．０５０％以下となるように設定した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、繰り返し熱処理工程で使用されても、うねりや反りが発生しにくいフラットディスプレイパネル基板の熱処理用セッターを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のフラットディスプレイパネル基板の熱処理用セッターは、フラットディスプレイパネル基板を熱処理するためのセッターであって、任意の部分において密度の最大値をＤ_MAX、最小値をＤ_MIN、平均値をＤ_Aveとした時、１０００×（Ｄ_MAX−Ｄ_MIN）／Ｄ_Aveが２．０以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】セッターレス方式の熱処理を行う場合に、炉内での被処理物の割れの発生を安価なコストで早期かつ確実に検出できるようにする。
【解決手段】搬送経路に沿って搬送ローラ２の下方に配置された複数の耐熱ガラス３２のそれぞれの一部を露出部５として炉外に露出させ、この露出部５に振動センサ４を配置した。振動センサ４の検出信号に基づいて、被搬送物の一部が割れの発生によって耐熱ガラス３２上へ落下したことを検出する。このとき、搬送ローラ２の回転を停止する。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの生産効率の向上と、焼成工程時の放出熱量の削減を図る。
【解決手段】焼成炉Ｆ１内に設置されたローラ・コンベアＶ１を構成するセラミック・ローラＲ１の端部が焼成炉Ｆ１内から外方に突出されており、複数枚のガラス基板Ｐを、それぞれ長手方向が搬送方向と平行になる向きに向けられるとともに搬送方向と直交する方向に並べられた状態でセッタＳ１上に載置して、セッタＳ１とともにローラ・コンベアＶ１によって焼成炉Ｆ１内を搬送し、この焼成炉Ｆ１内において加熱することによりガラス基板Ｐの焼成を行う。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネルに反りを生じることがないように搬送できるようにすることを目的とする。
【解決手段】少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に複数の放電セルを形成して対向配置した平板形状のプラズマディスプレイパネル１０５の搬送方法において、一対の基板の両面に平行に配した平板（底面１０２及び上蓋１０７）に延伸剥離式の複数の短冊形状の接着材１０４により粘着させて搬送する方法であり、プラズマディスプレイパネル１０５を縦方向に配置して搬送する。 （もっと読む）