【課題】陽極酸化膜中の欠陥を低減し、高信頼性かつ長寿命の薄膜電子源とこの薄膜電
子源を用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】絶縁基板１０上に第１の電極１１と絶縁層１２と第２の電極１３とをこの
順に積層してなる薄膜電子源の上記絶縁層１２を陽極酸化法によって形成し、該絶縁層中
に存在する欠陥数を３×１０¹⁹個／ｃｍ³以下とした。 （もっと読む）

【課題】所望とする位置及び密度にカーボンナノチューブが形成され状態を、高い精度でより容易に得られるようにする。
【解決手段】結晶シリコンからなる基板１０１の上に、シリコン酸化膜１０２を備え、シリコン酸化膜１０２には、所定の間隔で配列された貫通孔１０４を備えている。貫通孔１０４の部分においては、基板１０１の表面が露出し、シリコン酸化膜１０２が存在していない。また、シリコン酸化膜１０２の上には、触媒金属層１０３が形成されている。このように構成されたカーボンナノチューブ成長用基板によれば、よく知られた触媒金属法によるカーボンナノチューブの成長において、基板温度を上昇させる段階で、シリコン酸化膜１０２の上の触媒金属層１０３は、拡散して消滅する。 （もっと読む）

【課題】高性能、高信頼性のある電界電界電子放出素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本製造方法は、電子回路を構成する導体層４上に電子放出のための電子を供給する導体膜６を所要の膜厚に成膜し、この導体膜６上に電子放出材料８を配置すること、導体膜６を膜厚方向に選択除去して、除去されなかった導体膜６を電子放出点への電子供給用とする一方、その先端に存在する電子放出材料８をその電子放出点とすることを特徴とする製造方法である。 （もっと読む）

【課題】抵抗層を設計通りの抵抗値で安定化させることができる微小電子源装置の製造方法、及び抵抗層と帯電防止層を設計通りの抵抗値で安定化させることができるカソードパネルの製造方法を提供し、電子放出の均一化及び長寿命化を図ることのできる微小電子源装置及びカソードパネルを提供する。
【解決手段】表面にカーボンナノチューブの一端を突出させた微小電子源層１２を備える微小電子源装置の製造方法において、カソード電極１１と微小電子源層１２との間に炭化珪素及び／または窒素含有炭化珪素からなる抵抗層Ｉ_１ａを形成する工程と、前記抵抗層Ｉ_１ａを構成する炭化珪素及び／または窒素含有炭化珪素を相変化させて結晶質の抵抗層Ｉ_１ｃとする熱処理工程を有する。 （もっと読む）

【課題】基板を高温に加熱せず、非耐熱ガラス基板を用いることを可能し、微細なエミッタパターンの形成を可能にすること。
【解決手段】基板２上に電極４を形成する工程、電極４上に電子放出材料８が分散したフォトレジスト６を塗布する工程、フォトレジスト６をパターニングする工程、エッチングにより、パターニングしたフォトレジスト６とその下の電極４とを残す工程、フォトレジスト６を、フォトレジスト６の熱分解温度以下で分解除去し、電子放出材料８を電極４上に残渣として残す工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 安定した品質の表示が可能な電子放出素子、電子放出素子の製造方法、及び電気光学装置、並びに電子機器を提供する。
【解決手段】 基板１１と基板１１上に形成された配線１８とを覆うようにバリア膜１５を形成し、バリア膜１５の上に配線１７を形成する。さらに、配線１７とバリア膜１５とを覆うように絶縁膜１６を形成する。配線１８に接続する第１電極２４と配線１７に接続する第２電極２５とに導電性薄膜１４を形成し、導電性薄膜１４に形成された電子放出部１３が、バリア膜１５と絶縁膜１６とが積層した絶縁層５１の上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 不良率を低減することができる電子源及び電子源の製造方法、並びに表示装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 基板１０に形成されたＸ方向配線１８ｘ１と、Ｘ方向配線１８ｘ１に接続された第１の素子電極１１と、基板１０に形成された複数本からなるＹ方向配線１９ｙ１，１９ｙ２と、第１の素子電極１１と対向するように第２の素子電極１２が複数個形成される。第１の素子電極１１と第２の素子電極１２ａ，１２ｂ間をそれぞれ接続する導電性膜１５ａ，１５ｂは、正規とする電子放出部１７ａと予備とする電子放出部１７ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】 明るくて、高画質・高精細の表示が可能な電子放出素子、電子放出素子の製造方法、及び電気光学装置、並びに電子機器を提供する。
【解決手段】 配線１７に第２電極４Ａ、４Ｂを形成し、配線１８に第１電極５Ａ、５Ｂを形成し、第１電極５Ａと第２電極４Ａとに導電性薄膜１４Ａと、第１電極５Ｂと第２電極４Ｂとに導電性薄膜１４Ｂとを配置し、第１配線に第１接続部３５があり、第１接続部３５に接続するように配線１９を形成し、第２配線に第２接続部３６があり、第２接続部３６に接続するように配線２０を形成し、配線１９と配線２０とから所定の電圧を導電性薄膜１４Ａ、１４Ｂに印加して、最後に、第１接続部３５と第２接続部３６とで切断して、１つの画素Ｇ内に異なる電子放出特性を有する電子放出部１３（１３Ａ、１３Ｂ）を形成する。 （もっと読む）

【課題】高輝度を実現することができる平面ディスプレイ、ゲート電極構造体およびゲート電極構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】平面電極１５は、導体の平板から形成される。このため、平面電極１５上にゲートリブ１６を形成することが可能となり、ゲート電極１３と陽極となるメタルバック膜１０６との距離を長くすることができる。結果として、メタルバック膜１０６に高電圧を印加することが可能となるので、高輝度化を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】低い駆動電圧で輝度の均一化を実現することができるゲート電極構造体の製造方法および平面ディスプレイを提供する。
【解決手段】ゲート電極１３は、導体の平板から形成される。このため、ゲート電極１３の開口部を分割してゲート電極１３の開口部の直径を小さくすることが可能となり、結果として、第２絶縁層１１の厚さを薄くする、すなわちゲート電極１３と陰極１１０との距離を短くすることができる。結果として、低い駆動電圧で輝度の均一化を実現することができる。 （もっと読む）

陰極処理の前、若しくは陰極処理中に、不利な環境条件から触媒層を保護するために触媒層上に形成された保護材料を有する電子放射装置。本発明は、更に、触媒層から保護層の一部を除去し、カーボン・ナノチューブの成長部分以外の触媒層をエッチングするように構成されるハーフ・エッチング方法を含む。保護層の一部は触媒層に残し、次の陰極形成工程より、触媒層を悪条件から保護する。
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【課題】簡便な手法により微小電子源層の損傷を抑制し、電子放出特性の信頼性の高い微小電子源装置の製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板１０上のカソード電極１１に複数のカーボンナノチューブを含有する微小電子源層１２を形成する工程と、前記微小電子源層１２上に少なくとも２種以上のアルカリ土類金属の酸化物からなる保護層Ｐを形成する工程と、支持基板１０、カソード電極１１、保護層Ｐを覆う層間絶縁膜１３Ｌを形成し、該層間絶縁膜１３Ｌ上に開口部を有するゲート電極を形成する工程と、前記開口部直下の層間絶縁膜１３Ｌをドライエッチングしてゲート電極及び層間絶縁膜１３Ｌを貫通し、保護層Ｐが露出するゲートホールを形成する工程と、前記ゲートホール内の保護層Ｐを除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブの分散性を維持しつつ微小電子源装置を安定に形成できる微小電子源装置の製造方法を提供し、さらにカーボンナノチューブの電子放出特性の劣化を抑制し、寿命を改善することのできる微小電子源装置を提供する。また、寿命が改善された該微小電子源装置を用いた平面型表示装置を提供する。
【解決手段】基板１０上にカソード電極１１、絶縁層１３、ゲート電極１４が順に積層されてなり、ゲート電極１４及び絶縁層１３に形成された開口部１５と、開口部１５の底部に形成された微小電子源層１２とを備える微小電子源装置において、前記微小電子源層１２は、表面に耐酸化性皮膜が被覆されているカーボンナノチューブ１２ａが導電性のマトリクス１２ｂ中に埋め込まれ、カーボンナノチューブ１２ａの一端が前記マトリクスから突出してなる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、電子の放出効率が高い電子放出素子、この電子放出素子を複数整列配置した電子放出装置、この電子放出装置に画像表示部を組み合わせた表示装置、および上記電子放出素子の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】電子放出素子１６は、基板上に互いに離間して形成した一対の素子電極４０、４０、および一対の素子電極をつなぐように形成された導電膜４４を有する。導電膜４４は、素子電極４０よりアノード電極に向けて突出した凸面４２を介して、一対の素子電極４０、４０をつなぐように形成され、凸面４２の中央に電子放出部３２を有する。凸面４２の幅をある値より狭くすることで、電子放出部３２を飛び越えた電子が導電膜４４上でスキャッタリングする際に、電子が着地する領域を狭くし、電子の放出効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】細長いカーバイドナノ構造を製造する方法において、基材に複数の空間的に離隔した触媒粒子を施工する。
【解決手段】空間的に離隔した触媒粒子及び基材の少なくとも一部を、予め選択された温度で、基材と触媒粒子の少なくとも１個との間に無機ナノ構造を形成させるのに十分な時間にわたって、含金属蒸気に曝露する。無機ナノ構造を、予め選択された温度で、無機ナノ構造を炭化するのに十分な時間にわたって、含炭素蒸気源に曝露する。 （もっと読む）