【課題】電子線及び電子ビーム機器や真空管、特に、電子顕微鏡や電子ビーム描画装置等の電子光学機器に使用される、量産性に優れ入手の容易な遷移金属炭化物を用いた高輝度電子源を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡、電子ビーム描画装置等の電子光学機器に使用される電子源であって、電子放出部分は表層部と基材部からなり、該表層部は遷移金属炭化物であり、該基材部はダイヤモンド単結晶であることを特徴とする電子源により解決される。 （もっと読む）

【課題】電子放出能及びその均一性、安定性に優れたナノカーボンエミッタと、簡便で制御性が高いプロセスで作製可能なナノカーボンエミッタの作製方法と、このナノカーボンエミッタを適用し、高輝度、高均一、高信頼性を有する面発光素子とを提供する。
【解決手段】基体２と、基体２上に設けた導電層３と、ダイヤモンド微粒子５に直接又は金属若しくは金属化合物を介してナノ炭素材料６を形成してなるナノ炭素材料複合体４と、を含み、ナノ炭素材料複合体４を、１０μｍ以上１００μｍ以下の厚みで、導電層３を介して基体２上に設ける。 （もっと読む）

【課題】制御電極の構造を簡単化でき、簡単な構造で電界放出電流の制御が可能な電界放出発光素子を提供する。
【解決手段】基板１上に制御電極２を形成し、制御電極２の全体を絶縁層３で被覆する。また、絶縁層３上にカーボンナノチューブを含む電子放出層４を配置し、電子放出層４に対向して電子放出層４からの放出電子により発光する発光層５を配置する。即ち、電子放出層４の下方に絶縁層３を挟んで制御電極２を配置することで制御電極２を平坦な簡単な構造とする。またカーボンナノチューブを網目状の膜とし、カーボンナノチューブ膜の下地に対する被覆率を１パーセント以下とする。 （もっと読む）

【課題】垂直配向のグラファイトナノファイバを高密度かつ均一に形成可能なグラファイトナノファイバの製造方法、高出力電流密度のグラファイトナノファイバ電子源、高電流密度で高輝、大容量を有するフィールドエミッションディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】基板１８上にカソード電極１０を形成する工程と、カソード電極１０上に絶縁膜１２を形成する工程と、絶縁膜１２上にゲート電極１４を形成する工程と、絶縁膜１２中にカソード電極１０表面まで到達するホール１１を形成する工程と、ホール１１の底面に触媒金属層２８を形成する工程と、触媒金属層２８上に垂直配向にグラファイトナノファイバ４を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の電子放出素子よりも少ない工程で製造され、単位面積あたり均一に電子を放出する電子放出素子を提供する。
【解決手段】長さ３μｍを超える金属酸化物からなる突起形状が、金属酸化物面上の１ｍｍ×１ｍｍの面積あたり５〜１０００００個の密度で存在し、かつ長さ３μｍを超える金属酸化物からなる任意の突起形状１００個の和平均長さをχ、標準偏差をσとした場合、χ≧５μｍ、かつχ＋σ／２以上の長さを持つ突起形状の最大長さをＬ_max 、最小長さをＬ_min とした場合、１≧Ｌ_min ／Ｌ_max ≧１／３であることを特徴とする金属酸化物からなる電界放出型電子放出素子。 （もっと読む）

【課題】炭素ナノチューブで構成した３次元構造の長寿命電界放出エミッターを提供する。
【解決手段】広い面が互いに対向して対をなすように配置されている少なくとも二つの電極板と、電極板のそれぞれの両面に形成された炭素ナノチューブと、電極板のそれぞれの一側面が接触された状態で垂直に固定される基板と、基板から離間した状態で並列状に配列され、基板に対向する蛍光体を有するアノード電極と、アノード電極と電極板との間に直流電圧を印加する直流電源と、対をなす電極板のうちのいずれか他の一つに周期的に異なる大きさの電圧を有するパルス波を印加することによって、これらが交互にカソード電極とゲートの役割をなすようにするパルス波供給機とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 電子放出層の表面が凹凸を生じることなく基板全体で平坦化され、陽極と冷陰極の電子放出層との間の間隔を所定の間隔で一定に制御でき、かつ微細なパターンを作成できる電界放出型冷陰極及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 絶縁性基板の一部を除去することにより電極層表面を露出させ、底面を電極層とし、かつ側面を絶縁性基板で囲まれた溝を形成する工程と、絶縁性基板と溝との表面全体に、電子放出部材を含むペーストを塗布し、熱処理が行われたペースト及び絶縁性基板を一体的に研磨して電子放出層を形成する工程と、を含む電界放出型冷陰極の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】水素で終端されたダイヤモンド電子源の表面は、加速されて大きなエネルギーを持つ水素イオンの衝突で終端水素が脱離する結果、電子放出能力が急激に衰えるという問題があり、寿命特性が十分に改善されたダイヤモンド電子源素子を提供することを目的とする。
【解決手段】電子放出部の表面が水素原子で終端されたダイヤモンドによって形成されており、当該水素原子のうち０．０２％以上が重水素原子および＼または三重水素原子であるダイヤモンド電子源素子である。さらにダイヤモンドの最表層を構成する炭素原子のうち、１．２％以上が質量数１３および＼または質量数１４の炭素原子であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】低電界における電子放出を可能とした、表面処理された電子放出材料及びその製造方法並びに電極を提供する。
【解決手段】本発明にかかる表面処理された電子放出材料の製造方法は、マトリクス金属中にカーボンナノファイバーが分散された電子放出材料を得る工程と、電子放出材料の表面を平坦化する工程と、平坦化された電子放出材料の表面に微細な凹凸を形成する表面処理工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 低電界における電子放出を可能とした、電子放出性薄膜の製造方法、電極基板及び電子放出装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明にかかる電子放出性薄膜の製造方法は、まず、エラストマーと、金属粒子と、カーボンナノファイバーと、を混合して複合エラストマーを得る。次に、複合エラストマーと溶剤とを混合し、塗布液を得る。さらに、塗布液を基材に塗布し、塗膜５を形成する。最後に、塗膜５を熱処理して塗膜に含まれるエラストマーを除去すると共に、金属溶湯を塗膜中に浸透させて薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】炭素系エミッタ材料の優れた性質である低電圧、高効率電子放出を利用した新規な平面電極の構造とその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば、球面状凹部と電界により電子を放出する電子放出突起が平面基板上に周期的均一構造をもって形成されてなる多孔体構造電界放出平面電極が提供される。このような多孔体構造電界放出平面電極は、平面基板上に均一に球状粒子の細密充填層（オパール層）を形成する第一の工程、高分子材料及び／又は高分子材料前駆体をオパール層の間隙に充填する第二の工程、当該高分子材料及び／又は高分子材料前駆体を固化する工程、及びオパール層を除去する第四の工程によって簡便に得ることができる。 （もっと読む）

従来に比べて、より小型で動作電圧が低く、高効率な電子放射素子およびこれを用いた電子線源を提供する。 光を陰極に照射するための発光素子を有し、陰極の少なくとも電子放出面がダイヤモンドからなる構成する。このような構成にすることによって、電子を引き出すための電圧は、従来より大幅に低下させることができ、低電圧駆動が可能な小型の電子放出素子を得ることができる。前記発光素子は、前記陰極と一体に形成されていることが望ましく、また発光素子と電極はダイヤモンドからなることが好ましい。更に、陰極の電子放出面は、ｎ型あるいはｐ型のダイヤモンド半導体であることが望ましい。
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【課題】安定して均一な電界放出を行う冷陰極電子源、その製造方法、ならびに冷陰極電子源を用いた表示装置を提供すること。
【解決手段】本冷陰極電子源は、低電界で電子放出が可能な電子源であって、電極２０上にファイバ３０が、その長手方向を電極の面に対して水平な方向に向けて配置されている構成を有する。ペースト状のファイバーを電極上に配置し、表面張力もしくは外部磁場を印加することにより、上記ファイバーを水平な方向に向けて配置する。 （もっと読む）

【課題】基板を高温に加熱せず、非耐熱ガラス基板を用いることを可能し、微細なエミッタパターンの形成を可能にすること。
【解決手段】基板２上に電極４を形成する工程、電極４上に電子放出材料８が分散したフォトレジスト６を塗布する工程、フォトレジスト６をパターニングする工程、エッチングにより、パターニングしたフォトレジスト６とその下の電極４とを残す工程、フォトレジスト６を、フォトレジスト６の熱分解温度以下で分解除去し、電子放出材料８を電極４上に残渣として残す工程を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シリコン基板の表面にナノレベルの微細構造を容易に形成することができる微細加工方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】レーザ発振部１としてＮｄ：ＹＡＧレーザを用いてレーザビームＬをシリコン基板Ｍの表面に垂直方向から照射することで、シリコン基板Ｍの表面に針状結晶突起又は樹枝状結晶突起からなるナノレベルの微細構造を形成する。レーザのフルーエンスが８Ｊ／ｃｍ^２〜１８Ｊ／ｃｍ^２の範囲では、樹枝状結晶突起（ｄｅｎｄｒｉｔｅ）からなる微細構造が形成されており、１８Ｊ／ｃｍ^２〜４０Ｊ／ｃｍ^２の範囲では、針状結晶突起（ｎｅｅｄｌｅ−ｌｉｋｅ）からなる微細構造が形成されている。したがって、フルーエンスを調整することにより微細構造を樹枝状結晶突起又は針状結晶突起に選択して形成することができる。 （もっと読む）

【課題】優れた電界放出特性を有する冷陰極電子源、その製造方法、ならびに冷陰極電子源を用いた表示装置を提供すること。
【解決手段】本冷陰極電子源は、低電界で電子放出が可能な電子源であって、基板１０上に形成された電極２０と、電極２０上に配置された金属５０含有のナノチューブ３０とを備え、該ナノチューブ３０を基板１０に対して垂直な方向に配向させた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】 大気中でも安定に作動する電子放出素子とその製造方法、および、前記素子を使用した電界電子の放出方法を実現する。
【解決手段】 アルゴン、ヘリウム等の希ガス、水素の単独またはこれらの混合希釈ガスを用いて、０．００１〜７６０Ｔｏｒｒの圧力のもとで、希釈ガスに対して、０．０００１〜１００体積％のホウ素源及び窒素源原料ガスを導入した雰囲気中にて、プラズマを発生し、あるいは発生せずして、室温〜１３００℃に保持した電子放出素子基板に紫外光を照射することにより、ＢＮで示されｓｐ³結合性ＢＮ、またはこれとｓｐ²結合性ＢＮとの混合物からなる材料を含み、電圧を印加することによって大気中で安定に電子放出する先端の尖った表面形状を自己造形的に形成し、基板を回収する。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブが焼成中に焼失せず好適に固定され、発光性に優れた電子放出源用被膜を形成可能な被膜形成用組成物及び電子放出源の形成方法を提供する。
【解決手段】電子放出源形成用組成物は、カーボンナノチューブと、ガラスフリットと、有機バインダー樹脂と、有機溶剤とを含有し、ガラスフリットの軟化点は５００℃以下である。基板に塗布される電子放出源形成用組成物から有機溶剤を除去して得られる塗膜を、４００〜４５０℃の温度で焼成して有機バインダー樹脂を除去し、カーボンナノチューブとガラスとを含有する被膜を形成する。 （もっと読む）

【解決手段】容易に再生・修復されて高寿命であり、しかも制御性よく、微小構造を形成することができるナノ電子源を用いた電子顕微鏡等の電子光学装置用電子ビーム源を提供する。
【効果】先端が先鋭化された針状形状を有するタングステン等の第１金属基体の清浄な先端表面に、パラジウム、白金等の第２金属を蒸着し、８００〜１，２００℃に加熱することにより、数ｎｍの大きさのナノピラミッドが成長し、原子１個乃至数個で終端された微小構造物が得られ、点光源として高い指向性、高輝度、高干渉性を有すると共に、この構造物がイオン衝撃や吸着等によってナノピラミッドが壊れた場合にも、加熱によって再生できるため、電子源の寿命は３００時間を超える。 （もっと読む）

【課題】極微細加工を要する微細構造を持たない簡単な構造であり、かつ簡便な製造工程により形成することの可能な、ダイヤモンドエミッタアレイおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】電界を印加することによって材料表面より電子を放出する、複数の電界放射型の電子放出素子をアレイ状に配置したフィールドエミッタアレイであって、前記電子放出素子は、基体とこの基体上に形成されたダイヤモンド膜とを備え、前記ダイヤモンド膜の表面に電子供与基終端部と電子供与基不存在部又は電子吸引基終端部が相互に分離して形成されていることを特徴とするダイヤモンドエミッタアレイ。 （もっと読む）