【課題】 アンバランスドマグネトロンスパッタリング（ＵＢＭＳ）法の高密着性の特徴を維持しつつ、基板面全域で膜質の均一な膜を形成する。
【解決手段】 非平衡な磁場分布を形成するアンバランスドマグネトロンスパッタ電極と、基板２を保持するホルダー３を備えた回転ステージ１と、該回転ステージ１の周囲に設けられ該基板２の表面に対向する複数、好ましくは３体以上のターゲット４ａ、４ｂ、４ｃを備えたアンバランスドマグネトロンスパッタリング（ＵＢＭＳ）装置であって、（１）複数、好ましくは３体以上のターゲット４ａ、４ｂ、４ｃが高さを変えて設置され、且つ基板２を載置するステージ１を公転させる機構を有するか、又は（２）基板２をターゲット４ｄ、４ｅ、４ｆに対して平行方向（回転ステージに対して上下方向）５に振動させる機構と、基板２を載置するステージ１を公転させる機構を有する。 （もっと読む）

【課題】 磁気記録媒体をはじめ、不揮発メモリ、巨大磁気抵抗効果素子、スピンバルブ膜、トンネル効果膜、各種センサー、ディスプレイ、光学素子等の各種分野に好適な積層構造体、磁気ヘッドの書込み電流を増やすことなく高密度記録・高速記録が可能で大容量であり、オーバーライト特性に優れ、均一な特性を有し、特に媒体飽和磁化（ｔＢｒ）・異方性磁界（Ｈｄ）に優れた高品質な磁気記録媒体等の提供。
【解決手段】 金属ナノピラーの材料で形成されかつその長さが略一定である複数の金属ナノピラーによって貫通され、絶縁層の材料で形成された絶縁層を複数積層した状態で有してなる積層構造体である。基板上に、前記積層構造体を有してなり、該基板面に対し略直交する方向に、磁性材料で形成された金属ナノピラーが位置している磁気記録体である。 （もっと読む）

【課題】最適化された粒子サイズと粒子間分離性を持つ粒状媒体を形成するためのスパッタターゲット材を提供する。
【解決手段】スパッタターゲットは、卑金属を含む強磁性合金と、０．２６６ｎｍ未満の原子径と前記卑金属の酸化電位より大きい酸化電位を有する金属であるＸとを含んで構成される。卑金属は、Ｆｅ、Ｃｏ又はその他の強磁性材料とすればよく、更に、保磁力を高めるためにＰｔ、Ｔａ及び／又はＣｒのような元素を含んでもよい。Ｘは、Ａｌ，Ｂａ，Ｂｅ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｃｅ，Ｃｒ，Ｃｓ，Ｄｙ，Ｅｒ，Ｅｕ，Ｇａ，Ｇｄ，Ｈｆ，Ｈｏ，Ｋ，Ｌａ，Ｌｉ，Ｍｇ，Ｍｎ，Ｎａ，Ｎｂ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｐｒ，Ｒｂ，Ｓｃ，Ｓｍ，Ｓｒ，Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｅ，Ｔｈ，Ｔｉ，Ｖ，Ｙ，Ｚｎ及びＺｒからなるグループから選択される金属であればよい。スパッタターゲットは、０原子％より多く１５原子％未満のＸを含有する。 （もっと読む）

【課題】 優れたヘッドの浮上安定性を与えることのできる磁気記録媒体およびヘッドスライダならびに優れたヘッドの浮上安定性を有する磁気記録装置ならびに、このような優れたヘッドの浮上安定性を与えることのできる磁気記録媒体およびヘッドスライダを短時間で製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体またはヘッドスライダまたはその両方について、保護層を下層とその上にある上層との二層で構成し、下層のイオン化ポテンシャルが上層よりも小さく、上層の表面自由エネルギーが４５ｍＮ／ｍ以下であるようにする。 （もっと読む）

【課題】 基板の内周端面及び／又は外周端面の研磨を効率よく行なうことができ、かつ、残留研磨材の付着による記録媒体の性能信頼性を損ねることのない、記録媒体用基板の端面の研磨方法を提供することである。
【解決手段】 中心部に円孔を有するディスク状記録媒体用基板の内周端面又は外周端面を、粘弾性樹脂キャリア中に研磨砥粒を分散させた研磨メディアと接触させ、前記研磨メディアを流動させることで前記内周端面又は外周端面を研磨することを含む、記録媒体用基板の端面の研磨方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 脆くて劈開性が強い単結晶シリコン基板を研磨する際に、基板端面に傷等が発生するのを防ぎ、端面からの発塵を防止し、後行程でカセットに収納時にカセットとのこすれによる発塵を起こし難く、基板の割れを防ぐことができる研磨用キャリアを提供する。さらにこの研磨用キャリアを使用したシリコン基板の製造方法並びにシリコン基板を提供する。
【解決手段】 研磨用キャリアの基板保持孔の内周部分のシリコン基板と接触する部分を、シリコン基板よりも硬度の低いクッション材で構成する。クッション材としては、例えばスエード、ポリアミド樹脂、ポリプロピレン樹脂もしくはエポキシ樹脂から選ばれたいずれか１種のものが使用でき、特にエポキシ樹脂が好んで使用できる。 （もっと読む）

【課題】
保護膜の薄膜化と共に、磁性膜表面に膜厚分布の小さい保護膜を形成し、特に、ロード/アンロード領域における膜厚分布を小さくして、摺動耐力の確保と対腐食性の高い磁気ディスクおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】
本発明の磁気ディスクの製造方法は、保護膜を成膜する工程において、基板が、基板を保持する爪部と爪部を支持する支持具とを有する保持具に搭載され、基板と支持具の最短距離が10ｍｍ以上であることを特徴とする。または、支持具の基板に対向する面に角取り加工が行われ、かつ、基板と支持具の最短距離が5ｍｍ以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

ガラス転移温度（Ｔｇ）が６００℃以上であり、かつ温度４５℃に保持された濃度１．７２重量％のケイフッ酸水溶液に対するエッチング速度が０．１μｍ／分以下のガラスからなる高耐熱性、高耐酸性を備えた、情報記録媒体用基板、および該情報記録媒体用基板上に、情報記録層を有する情報記録媒体である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、従来と同等以上の記録再生特性を確保しつつ、トラック密度を大幅に増加させ、ひいては面記録密度を増加させようとすることを目的とする。
【解決手段】 本発明は、成膜装置１０内に、非磁性基板１１、ターゲット材１２、マグネット板２１を平行に配置し、ターゲット材には高周波電圧を印加し、マグネット板の表面には交互に異なる極性を等間隔で生じさせ、ターゲット材の周囲にプラズマを発生させ、非磁性基板にスパッタリング法により薄膜を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は均一な高さを有する突条（２４）によって形成されるテクスチャー（２３）を有するガラス基板（２１）の効率的な製造方法を提供する。その方法は、ガラス板（２１ａ）に耐薬品性の低下された表面層（２７）を形成する工程（Ｓ１４）と、前記表面層に含まれる上部を有する複数の突条を含むテクスチャーを形成する工程（Ｓ１５）と、前記表面層を選択的に除去する工程（Ｓ１６）とを備える。
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芳香族ビニル単量体と共重合可能な他の単量体との共重合体からなるマトリックス樹脂中に、ジエン単量体を主成分として重合してなるジエン系ゴム粒子が分散している熱可塑性樹脂からなり、該熱可塑性樹脂の灰分が０．２重量％以下であるクリーンルーム用容器である。半導体基板、ディスプレイ基板及び記録媒体基板から選択される板状体が収納される容器であることが好適である。これにより、ＡＢＳやそれに類する樹脂からなり、しかも灰分が少なくて金属汚染源となりにくいクリーンルーム用容器が提供される。
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【課題】 高密度記録した場合には、微小な記録磁区を安定して形成することが難しいという課題を有していた。
【解決手段】 ディスク基板１１上に、少なくとも記録層１５を備え、記録層１５が、水素と結合し、希土類金属と局在して安定した結合状態を有する構成の光磁気記録媒体とその製造方法を提供する。これによって、記録層１５の磁気異方性を大きく、安定した膜構造を形成できることより、マーク長を小さくした場合にも記録磁区を安定化させることができ、再生信号振幅を低下させることなく、記録密度を大幅に向上できる。 （もっと読む）

【課題】インプリント技術を用いてディスクリートトラックメディアやパターンドメディアに微細な形状パターニングを行うプロセスにおいて、均一かつ信頼性に優れた形状パターンの形成を行うためには、モールドのパターン形成面と磁気記録媒体の被インプリント面とを全面に渡って均一に圧接することが必要である。
【解決手段】基体上の被インプリント面に特定の形状パターンを有するモールドを圧接して形状パターンを被インプリント面に形状転写する工程において、モールドを被インプリント面に圧接するに先立って、被インプリント面の少なくとも一部を粗面化する。 （もっと読む）

【課題】 落下などの衝撃が負荷されてもガラス磁気ディスクが損傷することがなく、且つ安価に得ることができる磁気ディスク用ガラス基板、及びその強化方法、並びにそれらを用いてなるハードディスクドライブを提供する。
【解決手段】 ガラス磁気ディスク１０ａ、１０ｂのハードディスクドライブの固定部と接触する中心孔周辺の内縁部のみに、該個所のガラス表面または内部に異質相を形成させるか、風冷法またはイオン交換法を用いてガラス表面に圧縮応力を生じさせる、いずれかの強化処理方法を用いて、強化処理部分を設けることによって、応力集中が生じて損傷しやすい部分のみを集中的に強化処理することができ、全面を強化処理することなく、耐衝撃性に優れたガラス磁気ディスク１０ａ、１０ｂを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 開発コスト、設備コストや製造コストを大幅に増大させることなく、基板と記録層との間に軟磁性層を有する垂直磁気記録媒体であって、優れた垂直配向性を有する記録層を備えた垂直磁気記録媒体を製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】 非磁性材料からなる基板１上に軟磁性層３を形成しこの軟磁性層３よりも上層に垂直磁気記録層５を形成して垂直磁気記録媒体を製造するにあたって、軟磁性層３を形成した後に、この軟磁性層３の表面部をエッチング処理した後に、この軟磁性層３よりも上層に垂直磁気記録層５を形成する。 （もっと読む）

【課題】 磁気ディスク用ガラス基板の中心部の円孔を小径化しても、この円孔の内周端面部分、特に、その面取面を簡易かつ良好に研磨できる方法を提供し、安定した品質の磁気ディスク用ガラス基板を廉価に大量に提供できるようにするとともに、磁気ディスクにおけるサーマルアスペリティ障害やヘッドクラッシュを防止し、磁気ディスクにおける情報記録面密度の高密度化に資する。
【解決手段】 磁気ディスク用ガラス基板２の内周側の端面部分に、母粒子の表面に複数の研磨砥粒を有してなる遊離砥粒を含有する研磨液を供給し、この内周側の端面部分と、研磨ブラシ３、研磨パッド、または、研磨テープとを相対的に移動させることにより、内周側の端面部分を鏡面研磨する。 （もっと読む）

【課題】裏打ち膜表面の平坦化による低周波ノイズの低減、裏打ち膜全体の単磁区化によるスパイクノイズの抑制、および製造プロセスの簡素化を図った垂直磁気記録媒体とその好適な製造方法および製造装置、並びに磁気記録装置を提供する。
【解決手段】軟磁性裏打ち層と、該軟磁性裏打ち層上に形成され、その磁化容易軸が膜面の垂直方向に配向された強磁性体からなる垂直記録層とを備える垂直磁気記録媒体において、前記軟磁性裏打ち層は、軟磁性材料中に反強磁性粒子３２（または硬質磁性粒子）を分散して含む膜とし、この膜は、基体上に、例えば無電界複合めっき法により、めっき軟磁性膜３１中に反強磁性粒子３２（または硬質磁性粒子）を分散共析させて成膜し、所定の方向に磁化Ｍを形成してなるものとする。 （もっと読む）

【課題】 磁気記録媒体とスタンパとの組を複数積層させたインプリントが可能なインプリント装置及びインプリント方法の提供。
【解決手段】 第１の発明のインプリント装置は、プレス底板と、プレス底板に対向するプレス天板と、プレス底板とプレス天板との間に複数配置され、基板に磁性膜とレジスト膜とを順次積層させた積層体のレジスト膜に転写すべき凹凸を有するスタンパと、積層体及びスタンパを位置決めする機構と、互いに隣り合うスタンパの間に配置される圧力分散板と、プレス底板、プレス天板及び圧力分散板を平行方向に配置する機構と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 インプリント法を用いて製造したディスクリートトラックを有する磁気記録媒体の歩留まり及び品質の管理を改善する。
【解決手段】
磁気記録層が、溝によって分離された記録トラックパターンと、製造番号、管理番号、製造日、製造場所、製造メーカー、販売ルート、記憶容量、及びサイズ等の管理情報を二値化して表した管理情報パターンとを有する。 （もっと読む）

【課題】 従来の連続膜媒体の作製プロセスに近い簡便な方法を用い、磁気記録層において配向分散を抑制しつつ磁気クラスターサイズを減少させることができる下地層の分離構造を形成し、かつ下地層の薄膜化による記録性能の高性能化が可能な垂直媒体の提供。
【解決手段】 非磁性基体上に少なくとも下地層および磁気記録層が順次積層されてなる垂直磁気記録媒体であって、前記下地層は結晶粒子と非晶質結晶粒界とからなり、該結晶粒子が、（成長初期の底面積）＞（上部の面積）である形状を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体。 （もっと読む）