【課題】主平面研磨工程の前に発生するキズ等の欠陥を防止し、主平面の平滑性に優れた磁気記録媒体用ガラス基板を高い生産性で歩留まりよく得る。
【解決手段】中央部に円孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板を形成するためのガラス素板であって、少なくとも一方の主平面に、樹脂を含有する保護膜を有する磁気記録媒体用ガラス素板である。磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法は、磁気記録媒体用ガラス素板準備工程と、前記ガラス素板を中央部に円孔を有する円盤形状のガラス基板に加工する形状付与工程と、前記ガラス基板の主平面を研磨する主平面研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程とを有し、前記磁気記録媒体用ガラス素板準備工程は、ガラス素板の少なくとも一方の主平面に樹脂を含有する保護膜を形成し、磁気記録媒体用ガラス素板とする保護膜形成工程を有する。 （もっと読む）

【課題】表面状態が良好なガラス基板を簡易に生産性高く製造できるガラス基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】ガラス基板の表面に研磨砥粒を含むｐＨ４．０以下の研磨液を供給し、研磨パッドにて前記ガラス基板の表面を鏡面に研磨する最終研磨工程と、前記最終研磨工程に続けて、ｐＨ４．０以下の酸性洗浄液を供給し前記研磨パッドにて前記ガラス基板の表面を擦り洗いする擦洗工程と、前記擦洗したガラス基板を最終洗浄する最終洗浄工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】面記録密度が高いＨＤＤ用磁気記録媒体であっても、外周端部のヘッドクラッシュを抑制し、記録領域の拡大に寄与する、ＨＤＤ用ガラス基板を提供する。
【解決手段】面記録密度が６３０Ｇｂ／平方インチ以上のＨＤＤ用磁気記録媒体の製造に用いられるＨＤＤ用ガラス基板５０は、ガラス基板５０の主表面５１に定義された基準面からのガラス基板５０の外周端部の高さのズレ量をＡとしたときに、式（１）に従って算出されるＡの周方向のバラツキＸが３％以下であり、かつ、ガラス基板５０の外周端部の周方向のＴＩＲが０．４μｍ以下である。バラツキＸ（％）＝｛（ＭＡＸ−ＭＩＮ）／（ＭＡＸ＋ＭＩＮ）｝×１００…式（１）（式（１）中、ＭＡＸはＡの周方向の最大値、ＭＩＮはＡの周方向の最小値を表す。） （もっと読む）

【課題】アルミナ突き刺さりを低減できる磁気ディスク基板の製造方法の提供。
【解決手段】下記（１）〜（４）の工程を有する、磁気ディスク基板の製造方法。
（１）アルミナ粒子及び水を含有する研磨液組成物Ａを用いて被研磨基板の研磨対象面を研磨する工程、
（２）平均一次粒子径（Ｄ５０）が５〜６０ｎｍであり、一次粒子径の標準偏差が４０ｎｍ未満であるシリカ粒子及び水を含有する研磨液組成物Ｂを用いて前記工程（１）で得られた基板の研磨対象面を研磨する工程、
（３）工程（２）で得られた基板を洗浄する工程、
（４）シリカ粒子及び水を含有する研磨液組成物Ｃを用いて工程（３）で得られた基板の研磨対象面を研磨する工程。 （もっと読む）

【課題】本発明は被研磨体の平面の表面うねりを抑制することを課題とする。
【解決手段】研磨装置を用いて台座１０の上・下平面１４、１５を平滑に加工する。台座１０の上平面１４に微細なダイヤモンド砥粒を電着し、上平面１４上に砥粒層１８を所定パターンで形成し、本発明の研磨パッド用ドレッサー２０が完成する。台座１０の上・下平面１４、１５を平滑に加工しているため、ダイヤモンド砥粒が電着される平面精度が極めて高く、電着量を均一に制御することで砥粒層１８の平面精度が高められる。台座１０の上・下平面１４、１５の表面粗さは、Ｒａが０．２３μｍ以下であることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】複数の板状ガラスが積層された積層体から複数の磁気ディスク用ガラス基板を作製するときに、ガラス基板の真円度を所要のレベルまで向上させる。
【解決手段】複数の板状ガラスが積層された積層体を準備する積層体準備工程と、大径の円筒状の外周研削砥石と小径の円筒状の内周研削砥石とが同軸に配置される一体型コアドリルを軸を中心に回転させると共に、外周研削砥石と板状ガラスとが接触してなる外周研削面及び内周研削砥石と板状ガラスとが接触してなる内周研削面に研削液を供給させつつ、積層体の積層方向に移動させることで、積層体を研削加工する研削工程と、を有し、研削液が外周研削面に引き込まれるべく、コアドリルの回転方向と、外周研削面に対する研削液の供給方向とを調整することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ガラスハードディスク基板の製造方法において、低い表面粗さと高い研磨速度を維持でき、基板の生産性を向上できる、ガラスハードディスク基板の製造方法の提供。
【解決手段】研磨液組成物を用いて被研磨ガラス基板を研磨する工程を有するガラスハードディスク基板の製造方法であって、前記研磨液組成物が、コロイダルシリカ、下記一般式（Ｉ）で表される硫酸エステル化合物、ヒドロキシ多価カルボン酸、及び水を含有する、ガラスハードディスク基板の製造方法。
Ｒ−Ｏ−（ＡＯ）ｎ−ＳＯ₃Ｍ （Ｉ）
［式中、Ｒは炭素数３〜２０の炭化水素基を示し、ＡＯは炭素数２〜３のオキシアルキレン基を示し、ｎはＡＯの平均付加モル数であって１〜４であり、Ｍはアルカリ金属、アルカリ土類金属、有機カチオン及び水素原子からなる群から選択される。］ （もっと読む）

【課題】本発明は、表面異物欠陥が少ないガラス基板製品の提供を目的とする。また、表面異物欠陥が少ないガラス基板製品にガラス基板を研磨する両面研磨装置、及びガラス基板の研磨方法、及び該研磨方法を用いたガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、上下主平面と側面からなる板形状を有するガラス基板の主平面を研磨するガラス基板の研磨工程において、
ガラス基板に対して霧状の液体を噴霧する霧発生ノズルを有する両面研磨装置と、該両面研磨装置を用いたガラス基板の研磨方法と、該ガラス基板の研磨方法を用いた研磨工程を有するガラス基板の製造方法を提供する。本発明によれば、表面異物欠陥を大幅に低減したガラス基板製品を提供できる。 （もっと読む）

【課題】端面を安定した寸法精度、形状精度に加工できる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のガラス基板の製造方法は、円環状に形成され、端面を有する磁気ディスク用基板の端面を研磨する端面研磨工程を有し、前記端面研磨工程においては、予め決められた移動量で研磨砥石をトラバースさせて駆動することにより、前記磁気ディスク用基板の前記端面を研磨することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く、チッピングを生じさせない磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び寿命が長い電着砥石を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、一対の主表面と端面を有するガラス基板の前記一対の主表面と前記端面との間にチャンファー面を形成するチャンファリング工程を備えた磁気ディスク用基板の製造方法であって、前記チャンファリング工程において、自動ドレスされた電着砥石を用いてチャンファリングすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来、除去が困難であった付着物を除去して磁気記録媒体の良品率を向上させることを目的とする。
【解決手段】非磁性基体上に少なくとも非磁性下地層、磁性層、保護層、および潤滑層がこの順に積層されてなる垂直磁気記録媒体の製造方法において、垂直磁気記録媒体表面の金属付着物の除去工程に先立って垂直磁気記録媒体を消磁することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】円盤状ガラスの内外周面をＮＣ制御された回転式砥石を用いて研削する場合において、回転式砥石の表面磨耗を考慮することなく当初設定のままＮＣ制御し続けると、円盤状ガラスの処理枚数に比例して回転式砥石の磨耗量が増加して、結果として同一の回転式砥石を用いて研削した円盤状ガラスであっても、処理枚数の増加に従って内径が小さく、かつ、外径が大きくなる問題がある。
【解決手段】円盤状ガラスを固定するワーク台と円盤状ガラスの内外周面を研削する研削工具とを有する情報記録媒体用ガラス基板の製造装置において、研削工具の磨耗量を測定して、その磨耗量の測定値に応じて円盤状ガラスと研削工具との相対位置をフィードバック制御するようにした。これにより、同一の研削工具による円盤状ガラスの処理枚数が増えても、その寸法精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスクの多層膜の成膜後、検査用磁気ヘッドを用いて行う記録再生出力信号のエラー検査工程において、磁気ディスクの検査枚数が累積すると再生出力が低下してしまう現象が発生した。検査用磁気ヘッドの再生出力が低下すると、エラー検査合格率が低下し、歩留まりが低下することになる。
【解決手段】基板１０上に磁気記録膜１、保護膜６、潤滑膜７を形成した後、潤滑膜７に面してワイピングクロス５０を配置し、ワイピングクロス５０と接する面が凸状の湾曲形状であるパッド３７を、１２〜３６mm/minのローディング速度で、かつ３〜９gf/mm²の圧力でワイピングクロス５０に押し付け、基板１０を３．０〜３．５m/sで回転させながら潤滑膜７の拭き取りを行う（ワイピング）。次に、研磨砥粒が固着されたクリーニングテープを基板側に押し付け、基板１０を回転させながら突出部を除去する（テープクリーニング）。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の外径端面加工において面取り研削加工と研磨加工を同時に行うことのできる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板の外径端面部分の研磨において、粘弾性流体に研磨剤を加えた研磨液を用いることにより、ガラス基板の外径端面部分の研磨は、面取り加工を含む研削仕上の後に、この研削仕上に用いる工具と同一の砥石１を使用して行うことができ、また、ガラス基板の外径端面部分の研磨及び面取り加工は、砥石１及びガラス基板を交換することなく、交互に連続して行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 基体表面の凸状欠陥を低減し、磁気記録層のパターン形成の阻害、およびスタンパの損傷を防ぐことが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる磁気記録媒体の製造方法は、基体上に、磁気記録層を成膜する磁気記録層成膜工程と、磁気記録層上に保護層を成膜する保護層成膜工程と、保護層上に仮潤滑層を成膜する仮潤滑層成膜工程と、仮潤滑層を介して保護層表面を研磨することにより異物を除去する異物除去工程と、仮潤滑層を除去する仮潤滑層除去工程と、保護層上にレジスト層を成膜するレジスト層成膜工程と、レジスト層を加工することでその厚さを部分的に変化させ所定のパターンを形成するパターニング工程と、所定のパターンに対応したパターンで磁気記録層を磁気的に分離する磁気分離工程と、レジスト層を除去するレジスト層除去工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ディスク材の周辺部における稜角部分の面取りを行うに際して、ディスク材でのチッピングの発生を抑える。
【解決手段】本発明によれば、ディスク材１８の周辺部の稜角部分の面取り加工は、ディスク材１８の周辺部における稜角部分に第１研削部材１２の第１研削面１２ｇを当接して行う予備研削と、その後、予備研削が行われた稜角部分に第２研削部材１４の第２研削面１４ｇを当接して行う仕上げ研削とにより成し遂げられる。そして、第１研削面１２ｇがディスク材１８の稜角部分に当接するときのディスク材１８の中心軸に直交するディスク面Ｓと第１研削面１２ｇとが成す角度は、第２研削面１４ｇがディスク材１８の稜角部分に当接するときのディスク面Ｓと第２研削面１４ｇとが成す角度よりも、大きい。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板の端面の面取り加工に用いる砥石の再調整を適切に行い、ガラス基板の端面研削の精度を適切に向上させる。
【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、砥粒を埋設した回転砥石２０によりガラス基板の端面の面取り加工を行う形状加工工程と、回転砥石２０に押し当てられるドレス材３０と、回転砥石２０とが取り付けられるドレッシング装置２００を用いて、回転砥石２０にドレッシング処理を行うドレッシング工程とを備え、ドレッシング装置２００は、ドレス材３０と回転砥石２０との位置関係を合わせ、位置関係を管理しつつドレス材３０と回転砥石２０とを圧接触させることにより、回転砥石２０にドレッシング処理を行う。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の製造等におけるスキュー角に対応した構造体を容易に製造することができるライン状凹構造を有する構造体の製造方法、ナノインプリント用モールドの製造方法を提供する。
【解決手段】ライン状凹構造を有する構造体の製造方法であって、
被加工基板における円形状の領域に、同一のモールドを用い又はプレス毎にモールドを変えて、複数回プレスによりライン状凹構造を形成するに際し、
前記複数回プレスによる前記ライン状凹構造のプレス中心点を結ぶ直線の、前記円形状の領域における右回り円周方向に対する傾き角が、
前記円形状の領域における円の中心から離れるほど大きくなるように形成する工程を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】長手記録方式だけでなく垂直磁気記録方式用のディスクの表面も高精度に加工できるディスク加工装置及び方法を提供することである。
【解決手段】スピンドル１２にディスク１１を保持させ回転させる。テープ押付手段１９により、各コンタクトローラ１４を介して加工テープ１３でディスクの両面を挟んで、加工テープをディスクの両面に押し付ける。テープリールユニット１８により、各コンタクトローラを介してディスクの両面に押し付けられる加工テープを送り出し、巻き取る。クランク軸５０を回転させると、クランク軸に関してスライド板５２が旋回し、シャフト５３がスライド板に沿ってスライドしつつ、シャフトが、このシャフトに設けられた支点部５４に関して枢動し、シャフトに枢動可能に取り付けられているスライダ３３と共にコンタクトローラがディスクの径方向Ｔ１に往復移動する。 （もっと読む）

【課題】板状体の破損を防止して安定的な研削加工を行うことができる板状体の製造方法を提供する。
【解決手段】研削加工面の高低差が０．２ｍｍ以下であるように管理された研削加工定盤を用いて板状体を研削加工する。 （もっと読む）