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Fターム[5D112GA20]の内容

磁気記録媒体の製造 (17,949) | 磁気記録媒体の各種処理、又は洗浄と乾燥 (3,406) | 非接触の処理 (852) | スパッタエッチング、ドライエッチング (320)

Fターム[5D112GA20]に分類される特許

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【課題】磁気記録媒体のプリフォーマット記録に関する新規技術であるマスター情報担体を用いたプリフォーマット記録において、再生波形の出力低下に起因する再生信号検出エラーを防止すること。
【解決手段】面内磁気記録媒体上に記録される磁化情報において互いに隣接する一対の磁化遷移領域間長さに対応するマスター情報担体上の強磁性薄膜の長さを、面内磁気記録媒体上のトラック幅方向において、前記面内磁気記録媒体への記録信号として所望される磁化遷移領域間長さよりも大きくすることにより、再生波形の出力低下を起こさない面内磁気記録媒体を製造することができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は,高密度磁気記録媒体の作製において従来技術が抱えてきた本質的な問題点を解消することを目的とするものであり,磁気記録媒体に活用できる磁性微粒子の作製技術に関わり,更に詳しくは磁性粒子のサイズならびに配列の制御,ならびに磁性粒子の磁気特性の改善に関わる磁性微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】イオンエッチングを用いることにより磁気特性の制御と微粒子形成をそれぞれ独立に制御可能な磁性微粒子の製造方法であることを特徴とする。強磁性薄膜,若しくは非磁性層
/ 強磁性層の積層薄膜に高エネルギーイオンを照射することにより磁性微粒子を作製する。強磁性薄膜作製時において製膜条件を調整することにより所望の磁気特性を発現させ,その後のイオンエッチングによって微粒子形成ならびにその組織制御を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 磁気記録媒体、DNAチップ、触媒基板等に好適なナノホール構造体の効率的で低コストな製造方法、コンピュータの外部記憶装置、民生用ビデオ記録装置等として広く使用されているハードディスク装置等に好適であり、大容量で高速記録が可能な磁気記録媒体の効率的で低コストな製造方法等の提供。
【解決手段】 金属層上に、ブリネル硬度が該金属層の金属のブリネル硬度未満である導電性材料を配し、該導電性材料を用いてナノホール形成用起点を形成した後、前記金属層にナノホール形成処理を行うナノホール構造体の製造方法である。基板上に、請求項1から3のいずれかに記載のナノホール構造体の製造方法によりナノホール構造体を形成するナノホール構造体形成工程と、該ナノホール構造体におけるナノホールの内部に磁性材料を充填する磁性材料充填工程とを含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、トラック密度を増加してもフリンジを発生させないディスクリート媒体を用いても、長期間にわたってSNRの低下を生じることがない磁気記録媒体とその製造方法並びに磁気記録装置の提供を目的とする。
【解決手段】 本発明は、非磁性基板1上に少なくとも軟磁性裏打ち層2および基板面に対し垂直方向に磁気異方性を有する酸化物グラニュラー記録層4とを有する垂直磁気記録媒体において、前記酸化物グラニュラー記録層は同心円状の記録トラック部15と、互いに隣接するトラック部間のガードバンド部14からなり、前記ガードバンド部の材料が前記記録トラック部に含まれる酸化物と同一材料からなる。 (もっと読む)


【課題】 磁気記録媒体をはじめ、不揮発メモリ、巨大磁気抵抗効果素子、スピンバルブ膜、トンネル効果膜、各種センサー、ディスプレイ、光学素子等の各種分野に好適な積層構造体、磁気ヘッドの書込み電流を増やすことなく高密度記録・高速記録が可能で大容量であり、オーバーライト特性に優れ、均一な特性を有し、特に媒体飽和磁化(tBr)・異方性磁界(Hd)に優れた高品質な磁気記録媒体等の提供。
【解決手段】 金属ナノピラーの材料で形成されかつその長さが略一定である複数の金属ナノピラーによって貫通され、絶縁層の材料で形成された絶縁層を複数積層した状態で有してなる積層構造体である。基板上に、前記積層構造体を有してなり、該基板面に対し略直交する方向に、磁性材料で形成された金属ナノピラーが位置している磁気記録体である。 (もっと読む)


【課題】 高記録密度を実現するための技術である垂直磁気記録方式において、WATE現象を防ぐのに効果的な垂直磁気記録及びその製造方法を提供し、あわせて垂直磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】 非磁性基板上に少なくとも軟磁性裏打ち層、基板面に対し垂直方向に磁気異方性を有する垂直磁性層を有する垂直磁気記録媒体であって、軟磁性裏打ち層はトラックごとに凹凸分離し、垂直磁性層はトラックごとに凹凸分離していない垂直磁気記録媒体とする。また、その製造方法は、基板上に軟磁性裏打ち層を形成後、軟磁性裏打ち層をトラックごとに凹凸分離し、軟磁性裏打ち層の凹部に埋め込み膜を形成した後表面を平滑化し、その上に垂直磁性層を形成する方法とする。 (もっと読む)


【課題】 高密度記録した場合には、微小な記録磁区を安定して形成することが難しいという課題を有していた。
【解決手段】 ディスク基板11上に、少なくとも記録層15を備え、記録層15が、水素と結合し、希土類金属と局在して安定した結合状態を有する構成の光磁気記録媒体とその製造方法を提供する。これによって、記録層15の磁気異方性を大きく、安定した膜構造を形成できることより、マーク長を小さくした場合にも記録磁区を安定化させることができ、再生信号振幅を低下させることなく、記録密度を大幅に向上できる。 (もっと読む)


【課題】インプリント技術を用いてディスクリートトラックメディアやパターンドメディアに微細な形状パターニングを行うプロセスにおいて、均一かつ信頼性に優れた形状パターンの形成を行うためには、モールドのパターン形成面と磁気記録媒体の被インプリント面とを全面に渡って均一に圧接することが必要である。
【解決手段】基体上の被インプリント面に特定の形状パターンを有するモールドを圧接して形状パターンを被インプリント面に形状転写する工程において、モールドを被インプリント面に圧接するに先立って、被インプリント面の少なくとも一部を粗面化する。 (もっと読む)


【課題】 開発コスト、設備コストや製造コストを大幅に増大させることなく、基板と記録層との間に軟磁性層を有する垂直磁気記録媒体であって、優れた垂直配向性を有する記録層を備えた垂直磁気記録媒体を製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】 非磁性材料からなる基板1上に軟磁性層3を形成しこの軟磁性層3よりも上層に垂直磁気記録層5を形成して垂直磁気記録媒体を製造するにあたって、軟磁性層3を形成した後に、この軟磁性層3の表面部をエッチング処理した後に、この軟磁性層3よりも上層に垂直磁気記録層5を形成する。 (もっと読む)


【課題】 インプリント法を用いて製造したディスクリートトラックを有する磁気記録媒体の歩留まり及び品質の管理を改善する。
【解決手段】
磁気記録層が、溝によって分離された記録トラックパターンと、製造番号、管理番号、製造日、製造場所、製造メーカー、販売ルート、記憶容量、及びサイズ等の管理情報を二値化して表した管理情報パターンとを有する。 (もっと読む)


【課題】 磁気記録媒体とスタンパとの組を複数積層させたインプリントが可能なインプリント装置及びインプリント方法の提供。
【解決手段】 第1の発明のインプリント装置は、プレス底板と、プレス底板に対向するプレス天板と、プレス底板とプレス天板との間に複数配置され、基板に磁性膜とレジスト膜とを順次積層させた積層体のレジスト膜に転写すべき凹凸を有するスタンパと、積層体及びスタンパを位置決めする機構と、互いに隣り合うスタンパの間に配置される圧力分散板と、プレス底板、プレス天板及び圧力分散板を平行方向に配置する機構と、を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】凹凸パターンの記録層を備え、表面が充分に平坦な磁気記録媒体を確実に製造することができる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】連続記録層を凹凸パターン形状に加工し、該凹凸パターンの凸部として記録要素32Aを形成してから、被加工体10の表面に垂直な方向に対し、傾斜した方向からイオンビームを照射し、記録要素32Aの上面端部近傍の突起38を除去する。 (もっと読む)


【課題】ノイズが低く良質なアドレス信号が得られるディスクリートトラックを有する磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板上に形成された磁性層を有し、前記磁性層の面内において、記録トラックをなす磁性層パターンを含むデータ領域、およびアドレスビットとして利用される磁性層パターンを含みトラック長さ方向に沿ってデータ領域の間に形成されたサーボ領域を含む磁気記録媒体であって、隣接する2つの記録トラックに対応するサーボ領域上においてアドレスビットとして利用される2つの磁性層パターンが、各々の1つのコーナー部が互いに最近接する配置にある場合に、前記2つの磁性層パターンのコーナー部どうしが実質的に接合している。 (もっと読む)


【課題】保護膜損傷の影響を大幅に低減し、磁性層の劣化によるSNR低下を抑制できる磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】非磁性体基板上に形成された、記録トラックに相当する磁性層パターンおよび記録トラックを分離する溝を埋め込む非磁性層と、前記磁性層パターンおよび非磁性層上に形成されたカーボン保護膜とを有し、前記磁性層パターン上のカーボン保護膜の厚さが、前記非磁性体層上のカーボン保護膜の厚さよりも厚いことを特徴とする磁気記録媒体。 (もっと読む)


【課題】磁気記録層の磁気特性を劣化させることなくディスクリートトラック媒体を製造することができる方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板上に下地層、磁気記録層、第1のカーボン系保護層を順次形成する工程と、第1のカーボン系保護層上にレジストを形成し、レジストを記録トラックに相当するパターンに加工する工程と、レジストのパターンをマスクとして、第1のカーボン系保護層および磁気記録層をエッチングしてガードバンドに相当する凹部を形成する工程と、レジストのパターンを除去する工程と、ガードバンドに相当する凹部に非磁性膜を埋め込む工程と、磁気記録層上に第1のカーボン系保護層を残した状態で、非磁性膜を平坦化する工程と、第1のカーボン系保護層および非磁性膜の全面に第2のカーボン系保護層を形成する工程とを有する磁気記録媒体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 微細なパターンを、より安定に形成することを可能にできるフォトマスクとレジストパターンの形成方法及びマスター情報担体の製造方法を提供する。
【解決手段】 レジスト2と接触させた状態で露光を行うためのフォトマスク3であって、レジスト2と接触する側の面に粗面領域35を備えている。このことにより、粗面領域35の実効的なレジストとの接触面積はごく僅かとなり、レジスト剥離を防止でき良好な離間性が実現でき、パターン欠陥を防ぎパターン精度の悪化を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】所定の凹凸パターンで多数の記録要素に分割された記録層を有し、記録/再生特性が良好な磁気記録媒体及びこのような磁気記録媒体を効率良く製造することができる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体10は、基板12と、基板12の上に形成された軟磁性層14と、表面に垂直な方向に磁気異方性を有するように配向されて軟磁性層14の上に形成され、且つ、所定の凹凸パターンで多数の記録要素16Aに分割された記録層16と、記録層16及び軟磁性層14の間に形成された非磁性の中間層18と、を備え、記録要素16Aはデータ領域において所定のトラック形状で形成されている。 (もっと読む)


【課題】被エッチング層を所望の凹凸パターンの形状に高精度で加工できるドライエッチング方法、これを利用した磁気記録媒体の製造方法及び記録層が凹凸パターンで形成され、良好な磁気特性が確実に得られる磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板の上に記録層(被エッチング層)、主マスク層、副マスク層をこの順で形成して副マスク層を所定の凹凸パターンに加工し(S106)、次に酸素又はオゾンを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、凹部の主マスク層を除去し(S108)、更にドライエッチングにより凹部の記録層を除去して前記凹凸パターンの形状に加工する(S110)。主マスク層の材料は主成分が炭素であり、且つ、副マスク層の材料は、主マスク層加工工程(S108)の反応性イオンエッチングに対するエッチングレートが炭素よりも低い材料を用いる。 (もっと読む)


【課題】その電磁変換特性を損なうことなく容易に磁気記録層をパターニングした磁気記録媒体を得る。
【解決手段】磁気記録層とフォトレジストとの間にシリコン系保護膜を形成して、ドライエッチング、及び酸素プラズマ処理に供する。 (もっと読む)


効率良く、凹凸パターンの凹部を充填し表面を確実に平坦化することができる凹凸パターンの凹部充填方法及び凹凸パターンの磁気記録層を有し、表面が充分に平坦な磁気記録媒体を効率良く製造することができる磁気記録媒体の製造方法を提供する。凹凸パターンが形成された被加工体10の表面に凹部34を充填するための充填材36を成膜し、更に充填材36上に被覆材42を成膜してから、充填材36に対するエッチングレートよりも被覆材42に対するエッチングレートが低いドライエッチング法により磁気記録層32上の余剰の充填材36及び被覆材42を除去して平坦化する。 (もっと読む)


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