【課題】磁気記録層を形成する際の表面となる結晶配向制御層にダメージを与えることなしに、優れた磁気特性を有する磁気記録層を得ることができるディスクリートトラック媒体およびパターンド媒体の製造方法の提供。
【解決手段】基板上に軟磁性層を形成する工程と；軟磁性層上に第１結晶配向制御層を形成する工程と：第１結晶配向制御層の少なくとも一部に凹部を設ける工程と；第１結晶配向制御層の上に、第２結晶配向制御層を形成する工程と；第２結晶配向制御層の上に、磁気記録層を形成する工程とを具えたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高記録密度に適したディスクリートトラックメディアやビットパターンドメディアに代表されるパタードメディアを構成する磁気ディスクのトラックガイド分離域を、磁気ディスク全面において均一に、マスク通り正確に形成することが可能となる製造方法を提供すること。
【解決手段】基板１１の上に軟磁性膜１２、下地膜１３、磁性膜１４を形成する。磁性膜１４中にトラックガイド分離域を形成するために設けられた任意のパターン形状をしたマスク１８を磁性膜１４上に形成し、イオン１５と電子１６を磁性膜表面に対して照射し、かつ、基板１１に対して間欠的な電圧を印加することによって、照射された領域を非磁性化することでトラックガイド分離域１９を形成する。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンの記録層の凹部を充填材で充填し、表面を充分に平坦化できる生産効率が良い磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】被覆材４２のエッチングレートが充填材３６のエッチングレートと同じ又はこれよりも高いドライエッチング法により被覆材４２をエッチングする。次に、充填材３６のエッチングレートが被覆材４２のエッチングレートよりも高いドライエッチング法により記録要素２０Ａの上の隔膜２１の上面（隔膜２１がない場合は記録要素２０Ａの上面）が露出し、且つ、被覆材４２が記録層２０の凹凸パターンの凹部３４の上に残存するように充填材３６をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体のような被エッチング材料の表裏両面へのプラズマ処理を行う際、基板の材質に関わらず被エッチング材料両表面に効率よくバイアスを印加し、両面処理ができるプラズマエッチング装置及びその方法を提供する。
【解決手段】略円環状の被エッチング材料に高周波電力を印加する一対の導電体を有し、略円環状の被エッチング材料の内縁を一対の導電体で挟持することで、略円環状の被エッチング材料の両面をエッチングするプラズマエッチング装置において、前記一対の導電体の一方に設置された導電体接続部材により、該略円環状の被エッチング材料の両面が電気的に導通するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、均一なエッチングによりトラック方向の磁気的干渉を低減し、記録密度の向上が可能な、磁気記録媒体の製造方法、および当該製造方法により得られた磁気記録媒体を提供することにある。
【解決手段】少なくとも基板および磁性層を含む被加工体の記録面に凹凸形状を有する、ドーナツ状の磁気記録媒体を製造するにあたり、上記被加工体を形成する工程、上記被加工体の中心部円孔を絶縁体からなるフィルムで封止するとともに、上記被加工体の記録面を成形レジストで覆う工程、上記被加工体の記録面にエッチング処理を施すとともに、上記中心部円孔の外周に位置するフィルムをエッチングにより除去してフィルム分離領域を形成する工程、および上記フィルム分離領域の内周側に位置するフィルムを除去する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】磁性パターン間の磁気的干渉を分断してノイズを低減でき、しかも腐食の原因物質を含まない磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】Ｃｏを含有する強磁性記録層からなる磁性パターンと、前記磁性パターン間を分断し前記磁性パターンよりもＣｏ濃度が低い非磁性層とを具備したことを特徴とする磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】表面プラズモンを利用したナノパターニング方法、これを利用したナノインプリント用マスター及び離散トラック磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）基板上にエッチング対象物質層、フォトレジスト層及び所定周期で反復配列された構造の第１パターン形状にパターニングされた金属層を順次形成する工程と、（ｂ）パターニングされた金属層に表面プラズモンが励起されてフォトレジスト層が第２パターン形状に露光されるように光を照射する工程と、（ｃ）パターニングされた金属層を除去し、フォトレジスト層を現像する工程と、（ｄ）第２パターンにパターニングされたフォトレジスト層をマスクとしてエッチング対象物質層をエッチングする工程と、を含むナノパターニング方法である。 （もっと読む）

【課題】 記録ヘッド等の形状に応じてトラック幅などを最適に設計し得るパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 ＰＳとＰＥＯとを含むジブロックコポリマー組成層を基板上に形成する工程、前記ジブロックコポリマー層を相分離させて、第１の方向に長手を有するシリンダー状又はラメラ状のＰＳからなる易エッチング領域を形成する工程、前記相分離ジブロックコポリマー組成層の上にインプリント用レジスト層を形成する工程、前記インプリント用レジスト層にインプリントを施し、前記第１の方向に交差する第２の方向に長手を有する凸部と凹部を含む凹凸を形成する工程、前記インプリント用レジスト層から前記凹部を除去して前記凸部を残置し、前記凹部の下層の前記ジブロックコポリマー組成層から前記ＰＳを除去してＰＥＯを含む耐エッチングパターンを得る工程、及び前記凸部と前記耐エッチングパターンとをマスクとして前記基板をエッチングする工程を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁性層のパターン形成に、反応性プラズマもしくは反応性イオンによる磁気特性の改質を行う場合、磁性層の表面が酸化またはハロゲン化し、この酸化またはハロゲン化した磁性層が原因で、磁気記録媒体の腐食（磁性層に含まれるコバルト等の磁性粒子のマイグレーション）が発生する。本願発明は、この磁性層表面の酸化またはハロゲン化が原因で発生する磁気記録媒体の腐食を防ぐことを課題とする。
【解決手段】磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法である。その方法は非磁性基板上に磁性層を形成する。この磁性層の磁気記録パターンに基づき、磁性層を分離する領域を反応性プラズマもしくは反応性イオンにさらして、その領域の磁性層を非磁性化する等により磁気特性を低下させ、次いで不活性ガスを照射することからなる。 （もっと読む）

【課題】磁性層間に埋設された非磁性材料が剥離しにくく、磁性層腐蝕を防止可能な磁気記録媒体の製造方法、及び媒体の提供。
【解決手段】強磁性材料及び第１の非磁性材料を含有する磁性層を基板上に有してなる磁気記録媒体における該磁性層上に、インプリントレジスト層を形成しインプリント用モールド構造体を押圧して凹凸パターンに対応した磁性パターン部をエッチングにより形成する工程であって、前記エッチングが、該磁性層に含まれる前記強磁性材料は除去し、かつ前記第１の非磁性材料が、一の前記磁性パターン部が形成される部分以外の凹部に含まれる該第１の非磁性材料の全質量に対して５質量％以上残存するようにして行われる磁性パターン部形成工程と、前記磁性層における、前記磁性パターン部が形成された部分以外の凹部に、第２の非磁性材料を埋め込む非磁性パターン部形成工程とを含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法等である。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンの記録層の凹部がＤＬＣの充填材で充填され、充填材が剥離しにくい信頼性が高い磁気記録媒体、これを備えた磁気記録再生装置及びこのような磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体１０は、基板１２の上に所定の凹凸パターンで形成され該凹凸パターンの凸部が記録要素１４Ａを構成する記録層１４と、凹凸パターンの凹部１６の底面に形成された充填材下地膜１８と、充填材下地膜１８の上に充填材下地膜１８に接して形成されて凹部１６を充填するＤＬＣの充填材２０と、を備え、充填材下地膜１８の材料は、Ｓｉを含有する材料、Ｇｅを含有する材料、及びＴｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｗ、Ｖ、Ｈｆの中の１種以上の金属元素を含有する炭化物の材料のグループから選択される材料である。 （もっと読む）

【課題】高SNRのディスクリートトラック媒体、ビットパターンド媒体を安価に製造する。
【解決手段】人工的にパターニングされた非磁性凸構造１０４間に形成される溝部の底面及び側壁にシード層１０８と記録層１０９とを形成し、凸部上の記録層を除去する。 （もっと読む）

【課題】アスペクト比の高いマスクの形成を可能にし、磁気記録層のドライエッチングにて微細なパターンの形成を可能にする磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも磁気記録層と下地層と多孔質膜を順次配置する工程と、該多孔質膜の孔の下部から孔に沿って該下地層を構成する元素を含む酸化物を成長させる工程と、該多孔質膜を除去して基板上に該下地層と該酸化物から成る突起物を得る工程と、該酸化物からなる突起をマスクとして該下地層を通して磁気記録膜をドライエッチングする工程を有する磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】インプリント時の押し込み力が緩和され、残膜の軽減、均一な残膜状態を実現できるモールド構造体及びインプリント方法、並びに磁気記録媒体の製造方法の提供。
【解決手段】略同心円状の凸パターンからなるデータトラックパターンと、凸部面積の異なる複数種類の凸パターンからなるサーボパターンと、前記データトラックパターンと前記サーボパターンとの間に、半径方向に配列した略放射状の凸パターンからなる緩衝パターンとを有するモールド構造体である。該データトラックパターンとサーボパターンとの間であって、かつ該サーボパターンの周方向の両側に緩衝パターンを有する態様、緩衝パターンの周方向幅が、サーボパターンの周方向内でのサーボ基本ビット長より広い態様、などが好ましい。 （もっと読む）

【課題】インプリント兼磁界印加手段によりサーボ部信号品位が良好である次世代磁気記録媒体を安定かつ効率よく製造することができる磁気記録媒体の製造装置及び磁気記録媒体の製造方法の提供。
【解決手段】円板状の基板と、該基板の表面に、該表面を基準として磁気記録媒体のサーボ部及びデータ部に対応する複数の凸部が配列されたことによって形成された凹凸部を有してなるモールド構造体と、磁気記録媒体の磁性層上のインプリントレジスト組成物からなるインプリントレジスト層に前記モールド構造体を押圧して該モールド構造体の凹凸部に基づく凹凸パターンを転写すると共に、該モールド構造体を介して磁界を印加して前記サーボ部に磁気転写するインプリント兼磁界印加手段と、を少なくとも有する磁気記録媒体の製造装置及び磁気記録媒体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】スタンパの塑性変形を可及的に防止し、スタンパの寿命の長いインプリント方法を提供することを可能にする。
【解決手段】基板上に粘性係数が２ポアズ以上４０ポアズ未満のレジストを塗布する工程と、表面に凹凸を有するスタンパを前記レジストに押圧することによって、前記スタンパの凹凸を前記レジストに転写する工程と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板に凹凸を形成した磁気記録媒体であるか否かに関わらず、記録磁区から発生する漏洩磁界を大きくすることが可能であり、記録密度を高めても熱揺らぎに対する耐性が高く再生信号品質が低下することのない磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板１２上に、磁気情報が記録される磁性層１３を備えた磁気記録媒体１１において、磁性層１３は、複数の高Ｋｕ領域１３ａと、複数の高Ｋｕ領域１３ａ間の隙間を占める低Ｋｕ領域１３ｂとから構成されており、高Ｋｕ領域１３ａと低Ｋｕ領域１３ｂとの境界に、基板１２の表面方向における磁壁エネルギーσ_ωの変化が存在している。 （もっと読む）

【課題】サーボ部信号品位が良好である次世代磁気記録媒体を安定して製造することが
できる磁気記録媒体の製造方法、該製造方法により製造された磁気記録媒体、及び該製造
方法において用いられたモールド構造体の提供。
【解決手段】インプリントレジスト形成工程において磁気記録媒体のデータ部の基体表面にのみインプリントレジスト層を形成し、磁気転写工程において磁気記録媒体のサーボ部の基体表面がモールド構造体の凸部と接触した状態で磁界を印加することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】磁気記録を行う領域がドット状に配列された磁気ディスクにおいて、クロックドットを設けるにあたり、記録密度の低下を防止する。
【解決手段】非磁性層２１と、非磁性層２１におけるディスク周方向およびディスク径方向に沿ってドット状に配列された磁性領域からなる複数の記録ドット２３ａと、を備える磁気ディスクであって、ディスク径方向に隣接する記録ドット２３ａ間には、記録ドット２３ａのディスク周方向への周期に対してずれた位置に磁性領域からなるクロックドット２５ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】磁性パターンの側壁へのダメージを防止し、プロセスダストや非磁性体の膜厚分布の発生を抑制できる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に凸状をなす磁性パターンを形成し、前記磁性パターン間の凹部および前記磁性パターン上に非磁性体を成膜し、酸素を含有するエッチングガスを用いて、前記非磁性体の表面を改質しながらエッチバックを行うことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）