【課題】磁気特性に優れた磁性層を有し、低コストかつ高スループットで実施することが可能なパターンドメディアの製造方法の提供。
【解決手段】トラックパターン内での自己組織化材料の自己組織化を利用して作製したビットパターンスタンパを用いて、基板上のシード層をパターン化し、該シード層上に磁性層を設けることを特徴とするパターンドメディアの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ディスクリートトラックメディアや、パターンドメディアに高品質なパターンを転写形成するモールド構造体を高精細で効率よく作製するモールド構造体の製造方法の提供。
【解決手段】表面に凹凸部が形成された原盤を、光透過性を有する被加工基板の一方の表面に塗布されたインプリントレジストに対して、前記凹凸部側を押し当てて、前記凹凸部の形状を前記インプリントレジスト上に転写する転写工程と、
前記インプリントレジストを硬化させる硬化工程と、
該硬化工程において硬化したインプリントレジストをマスクにして前記被加工基板の一方の表面のエッチングを行い、前記被加工基板の一方の表面上に凹凸形状のパターンを形成するパターン形成工程とを有することを特徴とするモールド構造体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 プロセスダストの発生を抑えまた記録再生ヘッドの浮上特性のより良い磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体は基板上に、凸状の磁性パターンと磁性パターン間の凹部を充填する非磁性体とを含む磁気記録層を有する磁気記録媒体であって、前記磁性パターン間の凹部を充填するとともに凸部にも非磁性体が成膜され、保護膜で被覆された後の媒体断面形状は、トラック中央部から分離領域中央部にかけて高さが減少し、隣接トラック中央部に向かって再び高さが増加するという楕円弧状で、トラックと分離領域の高さの差は4nm以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】記録要素が凹凸パターンの凸部として形成されて面記録密度が高く、且つ、磁気記録媒体の内側の領域において充分なＳ／Ｎ比のサーボ信号が得られる信頼性が高い磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体１２は、基板２２の上に所定の凹凸パターンで形成された記録層２４の凸部として形成された記録要素２６を含み、充填材３０の上面が記録要素２６の上面よりも基板２２側に凹み凹部２８の上の部分が記録要素２６の上の部分よりも基板２２側に凹む形態の表面３２の段差が記録領域Ａｒの径方向Ｄｒの最も内側の部分を含む内側領域Ａｉに形成され、記録領域Ａｒが、内側領域Ａｉに隣接する環状の他の領域と、表面３２の段差が該他の領域におけるよりも大きい内側領域Ａｉと、に区分可能であるように表面３２の段差が形成されている。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の表裏両面の記録層に凹凸パターンを効率良く形成する。
【解決手段】被エッチング基板を保持する凹部と該凹部真下に形成された貫通孔とを備えた絶縁体部材と、当該貫通孔に係合する凸部を備えた導電体部材とを備え、前記凹部に前記被エッチング基板が載置された状態で前記凸部表面と該基板底面との間に隙間部が形成されており、該隙間部の厚さが０.０５ｍｍ以上１ｍｍ以下、かつ、該絶縁体部材の厚さが１ｍｍ以上１５ｍｍ以下であることを特徴とする基板ホルダを用い処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 導電体でない基板でも効率よくバイアスを印加し、かつ、基板の表裏両面に形成されたパターンに損傷を与えずに両面処理ができるプラズマエッチング装置を実現する。
【解決手段】 基板支持部材が被エッチング基板面鉛直方向に可動する可動式基板支持部材を備える。
【効果】 被エッチング基板を保持した可動式基板支持部材を、バイアス電圧を出力する電極側に密着させることで、バイアス電圧が印加される電極と基板の間の距離を縮め、基板に効率よくバイアスを印加できる。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドの浮上特性が良好で、埋込層の膜剥がれを防止することもできる磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板上に形成されサーボ領域および記録領域に相当する凹凸パターンをなす磁気記録層とを有し、前記記録領域の凹部の磁気記録層の厚さは凸部の磁気記録層の厚さの２／３よりも薄く、前記記録領域の凹部には１ｎｍ以上の厚さの磁気記録層が残存し、表面における高低差が７ｎｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】パターン化された磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板及び所定間隔をおいて配列された複数の磁気記録層を備えるパターン化された磁気記録媒体であり、磁気記録層は、Ｃｏ、Ｐｔ及びＮｉを含む合金で形成されたパターン化された磁気記録媒体。これにより、読み出し及び書き込み特性に優れ、高い耐蝕性及び記録密度を有する。 （もっと読む）

【課題】両面に磁気特性に劣化のない磁性パターンが形成され、表面の平坦性が良好なディスクリートトラック媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板の両面に、凸状の磁性パターンと磁性パターン間の凹部を充填する非磁性体とを含むディスクリートトラック媒体を製造する方法であって、前記磁性パターン間の凹部を充填するように第１の非磁性体を成膜し、前記第１の非磁性体の表面を改質し、前記基板を冷却し、前記第１の非磁性体上に第２の非磁性体を成膜し、前記第２および第１の非磁性体をエッチバックすることを特徴とするディスクリートトラック媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】サイドイレイズの問題が生じにくいとともに、磁気記録層を高品質かつ均一に形成しやすい磁気記録媒体、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基体２ａと、基体２ａ上に設けられた磁気記録層２ｂと、磁気記録層２ｂ上に、所定パターンにパターニングされて形成された、少なくとも軟磁性体を含む磁気フラックスガイド材２ｃ，２ｃ・・とを備える。 （もっと読む）

【課題】ナノメートルサイズのパターンをドーナツ状基板に一度に、かつ安価にプリントでき、さらにパターンエラーを抑制できるナノインプリント方法を提供する。
【解決手段】中心部に孔を有する円形基板の上に加工層を堆積する工程と、前記加工層上にマスク層を堆積する工程と、前記円形基板と同心円状に形成された凸部を有する原盤を前記マスク層に押し付けて凹部を形成する工程であって、前記マスク層に形成される凹部の底から前記加工層表面までの距離ｄが、前記円形基板の内周側から外周側に向かって増加もしくは減少、または前記円形基板の外周側および内周側から中周部に向かって減少するように前記マスク層に凹部を形成する工程と、前記原盤を前記マスク層から離す工程と、エッチングを行い、前記マスク層の凹部を含むパターンを前記加工層へ転写する工程と
を具備することを特徴とするナノインプリント方法。 （もっと読む）

【課題】 非磁性基板の少なくとも一方の表面に、磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体において、従来の物理的な磁気層加工型と比較しその磁性層除去工程を排除することにより格段に製造工程を簡略化し、かつ汚染リスクがすくない製造方法と、ヘッド浮上特性に優れた有用なディスクリートトラック型磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体の製造方法を、非磁性基板に磁性層を形成する工程、磁性層の上にマスク層を形成する工程、マスク層の上にレジスト層を形成する工程、レジスト層に前記磁気記録パターンのネガパターンを、スタンプを用いて転写する工程、マスク層で磁気記録パターンのネガパターンに対応する部分を除去する工程、レジスト層側表面から磁性層にイオンを注入し、磁性層を部分的に非磁性化する工程、レジスト層およびマスク層を除去する工程をこの順で有するようにする。 （もっと読む）

【課題】 トラック密度をつめながらオフトラック時のサイドライト現象を抑えることが可能な磁気記録媒体、その製造方法及び、磁気記録媒体を持つ磁気記録装置を提供する。
【解決手段】 データ記録層の結晶粒間にＳｉＯ_２が存在しているグラニュラー媒体からなり、データ記録層が磁性体の有無でパターン形成されたディスクリートトラックレコーディング媒体において、データ記録層の前記パターン形成された磁性体は、パターン中心部とその側壁である磁性体パターン側壁部とからなり、磁性体パターン側壁部の磁性体中ＳｉＯ_２含有量が、前記パターン中心部の磁性体中ＳｉＯ_２含有量より少なく、パターン側壁部の磁性体中ＳｉＯ_２含有量が５ｍｏｌ％以下であることを特徴と磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】磁気記憶媒体の平坦性を向上させた磁気記憶媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１に積層した記憶層１５にレジストマスクＲを形成し、レジストマスクＲを使用して記憶層１５に凹部Ｈを形成した。次いで、凹部Ｈの内部と、レジストマスクＲの上部と、にそれぞれ非磁性層１６を形成し、凹部Ｈに形成する非磁性層１６の膜厚と、記憶層１５の膜厚（凹部Ｈの深さ）と、を略同じ厚さにした。そして、レジストマスクＲと、レジストマスクＲに形成した非磁性層１６と、を記憶層１５の記憶面１５ａから剥離した。 （もっと読む）

【課題】基板の両面を平坦化できるコンパクトなイオンガン、これを備えたイオンビームエッチング装置、イオンビームエッチング設備、これらを用いたエッチング方法及び磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】イオンガン１０は、プラズマ発生源１４と、引き出し電極部１６と、を含み、引き出し電極部１６は、電極板３４、３６、３８におけるこれら電極板３４、３６、３８を横切る基準面１８の一方側の部分を含みこれらの部分が基準面１８における照射対象領域１８Ａに対向するように基準面１８に対して傾斜した第１の電極部２０と、電極板３４、３６、３８における基準面１８の他方側の部分を含みこれらの部分が基準面１８における照射対象領域１８Ａに対向するように基準面１８に対して傾斜した第２の電極部２２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】特定記録トラックパターンが形成されたパターン原盤を用いて、１枚１枚固有のシリアルナンバーを有するディスクリートトラックメディアを形成する方法を提供する。
【解決手段】樹脂モールドを用いたディスクリートトラックパターンを形成するディスクリートトラックメディア作成の際、樹脂モールドの所定部位に付与したシリアルナンバーを用いて媒体にシリアルナンバーのナノインプリントを行い、得られた媒体を用いてディスクリートトラックメディアを成形することにより、ディスクリートトラックメディアに１枚１枚固有のシリアルナンバーを付与することを特徴とするシリアルナンバー付与方法。 （もっと読む）

【課題】記録層を所望の凹凸パターンに高精度で加工でき、且つ、樹脂層を確実に除去できる生産効率が良い磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】炭素を主成分とする主マスク層の上に酸素系ガスを用いたドライエッチングに対して耐食性を有する副マスク層を設け、更に主マスク層と副マスク層との間に酸素系ガスを用いたドライエッチングに対して耐食性を有し、且つ、ハロゲン系ガスを用いたドライエッチングに対するエッチングレートが酸素系ガスを用いたドライエッチングに対するエッチングレートよりも高い中間マスク層を設け、副マスク層加工工程（Ｓ１０６）と中間マスク層加工工程（主マスク層加工工程）（Ｓ１１０）との間で樹脂層除去工程（Ｓ１０８）を実行し、樹脂層除去工程（Ｓ１０８）で酸素系ガスを用い、中間マスク層加工工程（主マスク層加工工程）（Ｓ１１０）でハロゲン系ガスを用いる。 （もっと読む）

【課題】誤書き込みの少ない記録ドットを持つ磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板上に形成された複数の記録領域と、前記記録領域間に形成され、前記記録領域を規定する分離領域と、前記複数の記録領域内で配列したドット状の磁気記録層で形成された、前記分離領域に沿って前記記録領域の周縁部に１列ずつ配列した第１の記録ドットと、前記記録領域の中央部に規則的な格子を組んで配列した第２の記録ドットとを有し、最近接の第１の記録ドットと第２の記録ドットとの距離は、最近接の第２の記録ドット間の距離よりも大きいことを特徴とする磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】例えばＣＧＣ媒体等において、トラックエッジノイズを低減して、トラック密度を向上させる。
【解決手段】磁気記録媒体１０の製造方法であって、垂直磁気記録層３０を形成する記録層形成工程と、垂直磁気記録層３０のトラック間の領域にイオンビームを照射することにより、トラック間を磁気的に分離する分離領域２０２を形成するイオンビーム照射工程とを備える。記録層形成工程は、ＣｏＢ層１０６及びＰｄ層１０８が積層された多層膜の連続膜層２４を形成し、イオンビーム照射工程は、イオンビームによってＣｏＢ層１０６及びＰｄ層１０８を融解させて、ＣｏＢ層１０６及びＰｄ層１０８のそれぞれに含まれる金属の合金を形成することにより、分離領域２０２を形成する。 （もっと読む）

【課題】 工程の簡略化とレジスト膜の膜厚分布の均一化とを両立させるとともに、ウェーハの大口径化にも対応できる塗布膜コーティング装置を提供する。
【解決手段】 音速ノズルより、ウェーハの裏面に向かってガスを噴出させる。ウェーハの裏面に沿って外周側へと流れるガスの流速が、ウェーハの裏面と第２カップとの間で速められ、ベルヌーイ効果により保持される。これによって、ウェーハのバタツキが抑えられる。また、裏面へレジスト液が回り込むのを防止することができる。 （もっと読む）