【課題】バーティカル型のバイポーラトランジスタにおいて、エミッタ領域からベース領域にかけて存在する界面準位を安定に低減することを可能とした半導体装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】バーティカル型のバイポーラトランジスタ１０は、シリコン基板１に形成されたＰ型のベース領域１３と、シリコン基板１に形成されてベース領域１３に接するエミッタ領域１５と、シリコン基板１の表面であってベース領域１３とエミッタ領域１５との境界部２１上に形成されたシリコン酸化膜１７と、シリコン酸化膜１７上に形成されたポリシリコンパターン１９と、を有する。シリコン酸化膜１７とシリコン基板１との界面に塩素が１×１０^１７ｃｍ^−３以上の濃度で存在する。 （もっと読む）

【課題】ＩｎＰ系の微細構造デバイスをより効果的に冷却できるようにする。
【解決手段】主表面を（００１）面としたＩｎＰからなる基板１０１の上にＩｎＧａＡｓからなるバッファ層１０２を形成し、バッファ層１０２の上に接して配置されたＩｎＰの層を含んでバッファ層１０２の上に形成されたデバイス１０３を形成し、デバイス１０３の周囲のバッファ層１０２を露出させた状態でデバイス１０３を覆う保護層１０４を形成し、露出したバッファ層１０２の上に金を堆積して金層１０５を形成し、次に、バッファ層１０２の表面に接触している金層１０５よりデバイス１０３の下部のバッファ層１０２に金を拡散させる。 （もっと読む）

【課題】ｂｅｔａの高いラテラル・バイポーラトランジスタを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】ラテラル・バイポーラトランジスタとＣＭＯＳトランジスタが混載された半導体装置で、ラテラル・バイポーラトランジスタは、素子分離領域２０に開口したオープン領域と、オープン領域１９上のポリシリコン膜３２と、ポリシリコン膜３２から活性領域１２側面へ不純物拡散したエミッタ拡散層３９と、素子分離領域２０上のダミー・ゲート・ポリシリコン膜５０と、活性領域１２上のコレクタ拡散層領域３７、ベース拡散層領域２７と、コレクタ電極１０１、ベース電極１０２、エミッタ電極１０３と、活性領域１２及び前記ポリシリコン膜３２上のシリサイド領域４２とを備え、活性領域１２上の非シリサイド領域が、ベース拡散層領域２７とコレクタ拡散層領域３７の間の境界領域と、活性領域１２と素子分離領域２０の間の境界領域を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】バイポーラの高耐圧縦型ＰＮＰプロセスをベースにして、寄生ＰＮＰトランジスタに起因する漏洩電流の発生しない高耐圧ＩＧＢＴを形成する。
【手段】Ｐ型半導体基板１に、ＩＧＢＴのコレクタ電極１５と電気的に接続するＰ＋型コレクタ層８と、当該Ｐ＋型コレクタ層８と連続するＰ＋型埋め込み層４と、該Ｐ＋型埋め込み層４の下層のＮ型埋め込み層２と、該Ｐ＋型埋め込み層４と該Ｎ型埋め込み層２の間のＮ＋型埋め込み層３とを形成する。また、Ｎ＋型埋め込み層３の端部と一体となり、前記Ｐ型半導体基板１上に形成されたＮ型エピタキシャル層５の表面まで延在し、コレクタ電極１５と電気的に接続されたＮ＋型導電層７を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ｐ型不純物が隣接する半導体結晶層中へ拡散することを抑え、ひいては良好で安定した特性を持つ半導体装置を提供する。
【解決手段】 Ｐ−ＩｎＰ基板４０１と、Ｐ−ＩｎＰ基板４０１に格子整合し、かつ、ｐ型の不純物が注入されたｐ−ＺｎドープＩｎＰバッファ層４０２と、ｐ−ＺｎドープＩｎＰバッファ層４０２よりも上層にあって、Ｐ−ＩｎＰ基板４０１に格子整合し、かつ、ｐ型不純物、ｎ型不純物のいずれか一方を含むｎ−ＳｉドープＩｎＰクラッド層４０４、ｎ−ＳｉドープＩｎＧａＡｓキャップ層４０５と、を備え、ｎ−ＳｉドープＩｎＰクラッド層４０４、ｎ−ＳｉドープＩｎＧａＡｓキャップ層４０５に、Ｓｂを含ませる。 （もっと読む）

【課題】バイポーラトランジスタのエミッタ−ベース界面において、ドーパント濃度プロファイルを制御する方法を提供する。
【解決手段】第１濃度を有する第１ドーパントを含む第１半導体材料を形成する工程と、その上に、第２濃度を有し、これにより接合を形成する、第２ドーパントを含む第２半導体材料を形成する工程と、第２半導体材料を形成する前に、原子層エピタキシまたは気相ドーピングにより、第１半導体材料の上に、第２ドーパントを形成するのに適した、単分子層の少なくとも一部分の前駆体を堆積し、これにより接合における第２ドーパントの第２濃度を増加させる工程と、を含む（またはこれらの工程からなる）。 （もっと読む）

【課題】ＤＭＯＳ電力回路、ＣＭＯＳデジタル論理回路、及びコンプリメンタリバイポーラアナログ回路の全てを単一の集積化された回路チップ上に実現するＢｉＣＤＭＯＳ構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基層１０内に下向きに延出し、且つ基層の上に配置されたエピタキシャル層４０内に上向きに延出し、かつエピタキシャル層の上側主面の下に配置された埋め込み絶縁領域２１Ｂと、エピタキシャル層内のみに配置され、かつ埋め込み絶縁領域の上側主面から上向きに延出した埋め込みウェル領域４４Ｂと、エピタキシャル層内に配置され、かつエピタキシャル層の上側主面からエピタキシャル層内に下向きに延出し、かつ埋め込みウェル領域の上側主面に接触する下側主面を備えたウェル領域５１Ｂとを有し、バイポーラトランジスタがウェル領域内に形成され、ＭＯＳトランジスタがウェル領域外のエピタキシャル層の上側主面に形成される。 （もっと読む）

【課題】微細加工が求められる半導体装置であるＢｉＣＭＯＳの製造方法に関し、特に半導体基板上に形成されるエピタキシャル層の表面の平坦性を向上することを課題とする。
【解決手段】本発明のＢｉＣＭＯＳの製造方法は、Ｐ型シリコン基板１の主面をエッチングしてくぼみ部３２を形成する第１工程と、くぼみ部３２を被覆するシリコン酸化膜２２をマスクにして当該Ｐ型シリコン基板１にＮ＋型埋め込み層２を形成する第２工程と、Ｎ＋型埋め込み層２を含むＰ型シリコン基板１の主面を熱酸化して、Ｐ型シリコン基板１上にシリコン酸化膜２２を含むシリコン熱酸化膜２５を形成する第３工程と、シリコン熱酸化膜２５を除去した後、Ｎ＋型埋め込み層２を含むＰ型シリコン基板１の主面上にＮ型エピタキシャル層を形成する第４工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】工程数を増加させることなく高速バイポーラトランジスタと高耐圧バイポーラトランジスタを同一半導体基板上に形成し、高耐圧バイポーラトランジスタを使用する回路の歪特性を低減できる半導体装置の製造方法の提供。
【解決手段】半導体基板１０１上に、コレクタの一部となる埋込み領域１０２を、第１、第２のバイポーラトランジスタの形成領域に同一工程で形成し、エピタキシャル層１０４を形成し、第１の縦型バイポーラトランジスタの形成領域においては、埋込み領域１０２をベース形成領域の全体に形成し、第２の縦型バイポーラトランジスタの形成領域においては、埋込み領域１０２をベース形成領域の１箇所に埋込み領域を形成しない領域を有して形成する。第２の縦型バイポーラトランジスタの埋込み領域を形成しない領域では、周囲からの不純物の拡散により、縦方向の拡散拡がり量が連続的に狭くなり、埋込み領域を形成しない領域が形成される。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体装置では、ＩＳＯを構成するＰ型の埋込層の横方向拡散幅が広がる等により、ＩＳＯの形成領域が狭め難いという問題があった。
【解決手段】本発明の半導体装置では、Ｐ型の基板６上に２層のＥＰＩ７、８が形成される。基板６及びＥＰＩ７、８には、ＩＳＯ１、２、３が形成され、複数のアイランドに区分される。ＩＳＯ１は、Ｌ−ＩＳＯ９、Ｍ−ＩＳＯ１０及びＵ−ＩＳＯ１１が連結し、形成される。そして、Ｌ−ＩＳＯ９とＵ−ＩＳＯ１１との間にＭ−ＩＳＯ１０が配置され、Ｌ−ＩＳＯ９の横方向拡散幅Ｗ１が狭められる。この構造により、ＩＳＯ１の形成領域が狭められる。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体装置では、コレクタ領域が拡散層により形成され、横方向拡散によりデバイスサイズが縮小し難いという問題があった。
【解決手段】本発明の半導体装置では、Ｐ型の単結晶シリコン基板２上にＮ型のエピタキシャル層３が形成されている。コレクタ領域としてのＮ型の埋め込み拡散層６が基板２とエピタキシャル層３に渡り形成されている。エピタキシャル層４には、Ｎ型の埋め込み拡散層６に達するトレンチ９が形成されている。トレンチ９は、Ｎ型不純物が導入されたポリシリコン１６により埋設されている。この構造により、ＮＰＮトランジスタ１では、コレクタ領域でのシート抵抗値が低減され、デバイスサイズが縮小される。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体装置、例えば、横型ＰＮＰトランジスタでは、耐圧特性を維持しつつ、また、デバイスサイズを増大させることなく、所望の電流増幅率を得ることが難しいという問題があった。
【解決手段】本発明の半導体装置では、Ｐ型の単結晶シリコン基板３上にＮ型のエピタキシャル層４が形成されている。横型ＰＮＰトランジスタ１では、エピタキシャル層４はベース領域として用いられる。そして、基板３及びエピタキシャル層４には、モリブデン（Ｍｏ）が拡散されている。この構造により、ベース電流値が調整され、横型ＰＮＰトランジスタ１の所望の電流増幅率（ｈＦＥ）を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】縦型ＰＮＰトランジスタと縦型ＮＰＮトランジスタとを備えた半導体装置の製造方法に関し、縦型ＮＰＮトランジスタのコレクタ抵抗の増加を抑制する方法を提供する。
【解決手段】縦型ＰＮＰトランジスタと縦型ＮＰＮトランジスタとを備えた半導体装置の製造方法であって、Ｎ型埋め込み拡散層４１の形成位置に対応する部分の半導体基板１１上に、第１のＮ型不純物と第１のＮ型不純物よりも拡散定数の大きい第２のＮ型不純物とを含有した絶縁膜５５を形成し、絶縁膜５５が形成された半導体基板１１を加熱して、半導体基板１１に第１及び第２のＮ型不純物を拡散させて、Ｎ型埋め込み拡散層４１を形成した。 （もっと読む）

【課題】Ｐ＋層を形成する時にステッパーマスクを用いることなく、約２．０μｍの幅を有するＰ＋層を、約２．５μｍの幅を有するＰ−層の外縁よりも内側に配置する
【解決手段】Ｐ−層５上にＰ＋層７を配置する工程を含む半導体装置の製造方法において、Ｐ−層５を形成する時に用いられた酸化膜３の開口３ａと同じものをＰ＋層７を形成する時に用い、Ｐ−層５を形成するための熱処理よりも、Ｐ＋層７を形成するための熱処理を弱くした。好ましくは、Ｐ−層５を形成する時に用いられた酸化膜３の開口３ａに形成された新たな酸化膜３ｂに対してリンデポジションを行う工程を、Ｐ＋層７を形成する工程の前に設けた。 （もっと読む）

【課題】ＮＰＮトランジスタ等のバイポーラリニア素子とＩＩＬ素子とを同一の半導体基板上に備えた半導体装置であって、高耐圧であるとともに、動作特性の優れたＩＩＬ素子を有するものを提供すること。
【解決手段】ＩＩＬ素子に含まれたマルチコレクタ型ＮＰＮトランジスタＴｒ１は、半導体基板１０１の裏面側から表面側へ向かう縦方向に順にＮ型エミッタ層Ｔｒ１Ｅ、Ｐ型ベース層Ｔｒ１Ｂ、Ｎ型コレクタ層Ｔｒ１Ｃを備える。マルチコレクタ型ＮＰＮトランジスタのＰ型ベース層Ｔｒ１Ｂは、エミッタ層Ｔｒ１Ｅ側で高く、かつコレクタ層Ｔｒ１Ｃ側で低くなるように傾斜した不純物濃度プロファイルを持つ。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体装置では、パワー用半導体素子の耐圧特性と制御用半導体素子のデバイスサイズの縮小化とを実現することが難しいという問題があった。
【解決手段】本発明の半導体装置では、Ｐ型の単結晶シリコン基板３上にＮ型のエピタキシャル層４が形成されている。基板３にはＰ型の埋込拡散層６が形成され、基板３とエピタキシャル層４には、Ｎ型の埋込拡散層１０がＰ型の埋込拡散層７上に形成されている。この構造により、Ｐ型の埋込拡散層７の這い上がりが抑制され、パワー用半導体素子の耐圧特性を維持しつつ、エピタキシャル層４の厚みを薄くすることができる。そして、制御用半導体素子のデバイスサイズを縮小化することができる。 （もっと読む）

【課題】 コレクタ電流比の精度を高めることができるマルチコレクタ型ラテラルＰＮＰトランジスタを提供すること。
【解決手段】 層状に設けられたベース領域３と、ベース領域３の表面に閉領域をなすパターンで形成されたエミッタ領域５とを備える。ベース領域３の表面のうちエミッタ領域５から離間した位置に、エミッタ領域５に対して対称なパターンで互いに離間して形成された少なくとも一対のコレクタ領域６Ａ，６Ｂを備える。各領域３，５，６Ａ，６Ｂを覆う絶縁膜を備える。その絶縁膜は少なくともエミッタ領域５に対応した位置にエミッタ電極配線接続用のコンタクト窓１９を有する。そのコンタクト窓１９のパターン寸法Ｗ２は、エミッタ領域５のパターン寸法Ｗ１に対して１／２以下である。 （もっと読む）

照明システムは、複数個の発光素子（Ｒ、Ｇ、Ｂ）を含む光源（１）を有する。これらの発光素子は、少なくとも第１の原色の第１の発光ダイオードと、少なくとも第２の原色の第２の発光ダイオードとを備え、第１と第２の原色がお互いに異なっている。この照明システムは、発光素子によって発せられた光を平行にするためのファセット光コリメータ（２）を有する。このファセット光コリメータは、照明システムの長手方向軸（２５）に沿って構成される。ファセット光コリメータ内の光伝搬は、全内部反射に、又はファセット光コリメータのファセット上に施された反射コーティングでの反射に基づいている。ファセット光コリメータは、光源から離れて面する側で、ファセット光反射板に組み合わせる。この照明システムは、光整形拡散体（１７）を更に備える。この照明システムは、均一な空間の及び空間角度色分散で光を発する。
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