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Fターム[5F031FA05]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 移送の形態 (16,275) | その他の移送 (325)

Fターム[5F031FA05]に分類される特許

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【課題】 加工中又は搬送中には十分な保持力で部品を保持固定でき、完成後には部品を容易に取り外すことのできて、部品を破損させることのない、部品の加工及び搬送に使用する部品保持具を提供する。
【解決手段】 上面が平坦に形成されたベース部材2と、該ベース部2の上面に少なくとも周縁部5で接着固定された上面に粘着部3が形成された粘着弾性シート部材4とを有し、ベース部材2又は粘着弾性シート部材4には圧縮気体を注入・排出する通気孔6が設けられ、該通気孔6から圧縮気体を注入することにより粘着弾性シート部材4が膨張して上方に隆起することで、粘着弾性シート部材4に取り付けられた部品Pと粘着弾性シート部材4との密着部の一部が剥がされるようにする。 (もっと読む)


本発明は、処理ステーション内で、処理ラインを完全に再設計することなく環境の変化に容易に順応し得る、垂直方向に輸送される処理ライン加工部品輸送用の低コストで製造可能な直進マニプレータに関する。マニプレータは、少なくとも二つの処理ステーションを加工部品(9)に接続し、少なくとも一つの巻上要素(11)、同様に、少なくとも一つのグリッパ要素(12)を前記巻上要素(11)に据えられた加工部品(9)に対して接続している、少なくとも一つのガイド手段に沿ってずらすことが可能な少なくとも一つの走行要素(10)をそなえて構成される。巻上要素(11)及びグリッパ要素(12)はその上に据えられ、モジュラー様式にあって拡張可能であり、それによって、巻上要素(11)は処理ステーションの多数列に渡って延在し、その上、ステーション内で保持された加工部品(9)は各々グリッパ要素(12)によって掴まれ得る。
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【課題】ダイ突き上げ部材を用いてもダイを破損させることがなく、ダイを確実にピックアップさせることができる。
【解決手段】吸着ステージ10内には、ピックアップ用のダイ突き上げ部材21よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材22が上下動可能に設けられ、ダイ突き上げ部材22が下降した状態で、ピックアップされるダイ1Aの送り方向側のダイ端部をダイ突き上げ部材22の上方に位置させた後、ダイ突き上げ部材22を上昇させてダイ1Aの送り方向側のダイ端部をウェーハシート2より剥がし、その後、ダイ突き上げ部材22は上昇したままダイ1Aをピックアップセンター5に送ってコレット4とダイ突き上げ部材21によりピックアップさせる。 (もっと読む)


重力補償装置は、基本質量(10)によって回転軸線(13)から第1の距離を置いたところで平衡装置(12)に及ぼされた力を、回転軸線から第2の距離を置いたところで平衡装置に反力を及ぼす力発生装置、例えばばね(14)によって、部分的に又は全体的に補償する。第1の距離、第2の距離又はこれら両方は、所望の重力補償具合を提供するよう選択可能である。角度可変半径を有する1つ又は2つ以上の滑車を使用するのがよい。重力補償装置は、基本質量にそれほど質量を追加することはなく、設計が単純である。
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本発明のフークハンドリング装置は、ワークを載せるトレイを担持すると共に所定方向に往復動自在な可動テーブル(21)、ワークに対して所定の処理を施す処理部(30)を略中央に挟むようにしてトレイと処理部との間で往復動自在に配置され,かつ,ワークを搬送するべく水平方向及び鉛直方向に駆動される関節型アーム(410)及びその先端に設けら
れた複数の吸着ヘッド(420)をそれぞれ有する一対のハンドラ(40,40’)、一対のハンドラ及び可動テーブルを駆動制御する制御ユニット(70)を備え、制御ユニットは、トレイから処理部への未処理ワークの搬入動作及び処理部からトレイへの処理済みワークの搬出動作の両動作を,一対のハンドラにそれぞれ行わせるように駆動制御する。これにより、装置が完全に停止するのを防止できる。
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