【課題】キャリアとベアリングとの耐摩耗性を向上させることによって、生産性の更なる向上を可能としたインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】キャリア４に保持された基板Ｗを複数のチャンバの間で順次搬送させながら成膜処理を行うインライン式成膜装置であって、キャリア４を非接触状態で駆動する駆動機構２０と、駆動機構２０により駆動されるキャリア４をガイドするガイド機構２１とを備え、ガイド機構２１は、キャリア４に設けられたガイドレール２９に係合された状態で、駆動機構２０により駆動されるキャリア４を鉛直方向にガイドする主ベアリング２８と、キャリア４を挟み込んだ状態で、駆動機構２０により駆動されるキャリア４を水平方向にガイドする副ベアリング３０とを有して、これらベアリング２８，３０とキャリア４との何れかの接触面に、コルモノイ系合金による耐摩耗処理が施されている。 （もっと読む）

【課題】保持又は搬送する対象物にくらべて小型の吸引保持端末を用いて、対象物を非接触で吸引保持することができる吸引保持装置、吸引保持方法、搬送装置、及び搬送方法を提供する。
【解決手段】吸引保持装置は、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、保持対象物を吸引保持する吸引保持装置であって、旋回流発生室と、旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有する吸引保持端末と、吸引保持面に略平行な方向の付勢力を、吸引保持端末に吸引保持されることが可能な位置にある保持対象物に印加する付勢手段と、付勢手段による付勢力に抗して保持対象物を係止する係止手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体移載装置は構造が複雑で、駆動機構も多く、装置が大型化し、製造コストが高価であり、薄型化によりハンドリング時の事故が増加している。
【解決手段】制御可能な回転駆動装置７と、この回転駆動装置の回転動作を円弧状の軌跡を描く往復運動に変換する複数のアームからなるリンク機構２，３，８，９と、このリンク機構に備えられたチャッキング機構６とを有し、このチャッキング機構が非接触式である構成の半導体移載装置とした。 （もっと読む）

【課題】基板との接触による摩耗及び基板を介した薬品による腐食によって基板を正常に支持できなくなることを防ぐことができる基板支持装置を提供すること。
【解決手段】基板の裏面を支持する裏面支持部を備えた支持部材と、この支持部材に設けられ、前記裏面支持部に支持された基板の側面を囲み、基板の位置を規制する位置規制部と、を備え、前記裏面支持部及び前記位置規制部のうち少なくとも一方は、基材と、この基材を被覆し、その摩耗及び化学的浸食のうち少なくとも一方を防ぐための保護膜と、からなる基板指示装置を構成する。この基板支持装置は、例えば前記支持部材を支持する基体と、前記基体に対して支持部材を移動させるための駆動機構と、をさらに備え、基板搬送装置として構成される。また前記支持部材は、例えば基板を加熱または冷却するための温度調整板として構成される。 （もっと読む）

【課題】外枠が不要で、吸着可能な面積を最大限に拡大することが可能な吸着盤を提供する。
【解決手段】本発明の吸着盤は、複数の金属板１〜５を接合して形成される吸着盤であって、前記金属板１〜５のいずれも外周部に空隙を有さず、前記金属板１〜５のうち、表面が吸着面として機能する金属板１の縁１ａ付近には、縁１ａの寸前まで縁１ａに向かって延びるスリット１ｃが形成されており、該スリット１ｃはワークを真空吸着し得る。 （もっと読む）

【課題】薄板状ワークを吸着し、搬送するに際し、ウエハを搬送し、所望位置に載置するまでの過程で別途のデバイスに受け渡す受渡し工程を不要とでき、しかも、ウエハにダメージを与えない、産業用の搬送機械に取り付けられる、ワーク搬送用機器と、このワーク搬送用機器が取付けられた産業用の搬送機械を使用するワーク搬送方法を提供する。
【解決手段】ワーク搬送用機器１０は、薄板状ワークＷを吸着する吸引孔２ａを具備する２以上の把持部材２，…と、２以上の把持部材２，…を一体に固定する本体部材１と、を少なくとも有し、把持部材２のうち、少なくとも吸引孔２ａの開設された領域は本体部材１の側端から張り出して張り出し箇所２’を形成しており、本体部材１のうち、吸着される薄板状ワークＷ側の側面には撓み防止部材１４が配されて張り出し箇所２’を支持しており、少なくとも、該張り出し箇所２’が薄板状ワークＷ側へ撓むのを抑止している。 （もっと読む）

【課題】 基板を吸着して搬送する際に基板にパーティクルが付着しにくい吸着搬送部材およびこれを用いた基板搬送装置ならびにこの基板搬送装置を用いた基板処理装置および基板検査装置を提供する。
【解決手段】 先端側が二股に分岐した、支持部側から先端側に向けて長い板状体７に、板状体７の先端部の各表面の少なくとも２カ所に設けられた、気体を吸引して基板を吸着するための吸着部３と、分岐部を通って先端部の吸着部３同士をつなぐ先端側吸引路４ａと、支持部に設けられた、分岐部における先端側吸引路４ａに支持部側吸引路４ｂを介してつながって気体を吸引するための吸引部５とを備え、先端側吸引路４ａが、先端部側で直線状であり、分岐部側で湾曲している吸着搬送部材１において、先端側吸引路４ａの板状体７の長手方向における長さは、湾曲している部分の方が直線状の部分よりも長い吸着搬送部材１である。 （もっと読む）

【課題】 積層された半導体ウエハと保護シートとを取り違えることなく吸着して搬送することができるようにする。
【解決手段】 可撓性アーム２６の先端部下面で保護シート２２を吸着して持ち上げる。この場合、保護シート２２の重さは１〜２ｇと比較的小さい。このため、保護シート２２を持ち上げた可撓性アーム２６の撓み量は比較的小さい。一方、可撓性アーム２６の先端部下面で半導体ウエハ２３を吸着して持ち上げた場合には、半導体ウエハ２３の重さが保護シート２２の重さの数十倍とかなり大きいので、可撓性アーム２６の撓み量は比較的大きい。可撓性アーム２６の撓み量は歪みゲージ２７で検出される。そして、半導体ウエハ２３と保護シート２２との重さの相違から、今、可撓性アーム２６で持ち上げているものが保護シート２２および半導体ウエハ２３のいずれであるか判別される。この後、保護シート２２または半導体ウエハ２３を吸着部材で吸着して別の箇所に搬送する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハなどの被保持体の絶縁破壊を抑制し、かつパーティクルの付着を特に抑制できる保持用治具および吸着装置を提供すること。
【解決手段】 半導電性を有するセラミックスからなる支持体１６に吸気路２を形成した保持用治具２０であって、吸気路２の表面４は支持体１６における他の表面６より表面抵抗値が小さい領域を有している保持用治具２０とする。また、この保持用治具２０を備え、この保持用治具２０の吸気路２の吸気により、支持体１６の外表面６に対して表面抵抗値が小さい被保持体を吸着可能とした吸着装置とする。 （もっと読む）

【課題】外縁に沿って凸部が形成された半導体ウエハを損傷させることなく、確実に保持して搬送できるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで当該外縁に沿って形成された凸部Ｗ２を有する半導体ウエハＷを搬送可能に設けられる。搬送装置１０は、半導体ウエハＷにおける凸部Ｗ２の先端面Ｗ３に面接触する接触体１１と、この接触体１１を支持する基台１２と、先端面Ｗ３に対する接触体１１の接触面積を調整する接触面積調整手段と、接触体１１及び基台１２を搬送する移動手段１４とを含む。接触体１１は、先端面Ｗ３に面接触することで、当該先端面の凹凸に倣って密着して半導体ウエハＷを支持可能な粘性を備えている。接触体１１の平面形状は、先端面Ｗ３の平面形状内に収まる形状に設けられる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、試料搬送中に、試料に付着した異物の除去を行う試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、試料を裏面から支持する試料搬送用ハンドを備えた試料搬送機構であって、前記試料を吸着して保持する吸着機構と、当該吸着された試料と、前記試料搬送ハンド間に形成される閉空間内で、試料に気体を吸着する吸着機構と、当該閉空間内の気体を吸引する吸引機構を備えた試料搬送機構を提案する。更に走査電子顕微鏡内で発生した異物を、試料カセット等に持ち込まないように、走査電子顕微鏡鏡体と試料カセットとの間に設けられた試料搬送用ハンドに設けられた異物除去機構によって、異物を回収する走査電子顕微鏡を提案する。 （もっと読む）

【課題】密着保持層に保持された物品の取り外しに支障を来たすことが少なく、密着保持層５の損傷を抑制することのできる保持治具を提供する。
【解決手段】支持基板１に凹み形成される区画空間２と、区画空間２に間隔をおいて配列される複数の支持突起４と、区画空間２を被覆して複数の支持突起４に支持される可撓性の密着保持層５と、区画空間２の空気を外部に排気して密着保持層５を凹凸に変形させる排気孔６とを備える。複数の支持突起４の隣接する３本の支持突起４に平面視で正三角形を描かせ、密着保持層５に微小な複数の電子部品１０を着脱自在に保持させる。隣接する支持突起４と支持突起４との距離が常時同等となるので、密着保持層５の伸びが均一化し、密着保持層５に保持された複数の電子部品１０の剥離に支障を来たすことがない。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、特にフォトマスクに代表される試料のダメージのリスクを最小化することを目的とする試料搬送機構の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、試料を吊り下げるように保持する試料保持機構を備えた試料搬送機構について、試料を吊り下げるためのフランジ等の突出部より、試料のパターン面に近い部分（突出部が設けられた吊り下げ部を保持するアーム部、或いはアーム部及び突出部よりパターン表面側に位置する吊り下げ部）を離間するように構成した。これにより、パターン面と搬送機構を構成する部材との間の接触リスクを抑制することが可能となる。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、真空条件において大面積基板を支持して移動するための装置及び方法に関する。本発明の一実施形態は、機械的に１以上のエンドエフェクタに接合すること無く、複数のエンドエフェクタパッドが上に配置される１以上のエンドエフェクタを含む装置を提供する。一実施形態では、複数のエンドエフェクタパッドアセンブリは、磁力によって１以上のエンドエフェクタに結合される。
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【課題】着電済みＭＥＭＳチップの吸着コレット貼付きを防止し、設備条件
マージンを拡大する。
【解決手段】本発明の吸着コレット１２は、マイナスに帯電しやすい材質、特にＰＴＦＥをコレットにコーティングする事により、ＰＴＦＥのマイナス帯電を利用し着電済みＭＥＭＳチップのマイナス数Vと反発させることと、ブラスト処理により表面に凸凹が出来るため、ＭＥＭＳチップ１０との接触面積を従来（超硬）に比べ減らすことが出来ることから、マイナス着電によるＭＥＭＳチップ貼付きを防止する効果が得られ、設備条件マージンを拡大する事が出来る。 （もっと読む）

【課題】 剛性の低下を抑えて吸着力を向上させることによって、半導体ウエハ等の基板を確実に吸着して搬送できる真空ピンセットおよびこれを用いた基板搬送装置ならびに基板処理装置を提供する。
【解決手段】 先端側が二股に分岐した板状体７と、板状体７の先端部および分岐部の各表面の少なくとも３カ所に設けられた、気体を吸引して基板８を吸着するための吸着部３と、分岐部の吸着部３と他の吸着部３とをつなぐ吸引路４と、分岐部の吸着部３と吸引路４を介してつながって気体を吸引するための吸引部５とを備えてなる真空ピンセットにおいて、分岐部の吸着部３と吸引部５とをつなぐ吸引路４の断面積が、分岐部の吸着部３側よりも吸引部５側の方で大きい真空ピンセット１である。吸引に掛かる抵抗が小さくなり、吸引路４の容積が大きくなることから、吸着力が向上し基板８を確実に吸着することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送において基板の割れ、および落下を防止する基板の搬送装置を提供する。
【解決手段】駆動装置に搬送アームが取り付けられ、搬送室に基板を搬送する基板の搬送装置において、搬送アーム２３は、駆動装置に取り付けられる取り付け部２４と、取り付け部２４から延伸され基板の外形より大きく形成された部分を備え、基板３０が載置される載置部２５と、を有し、搬送アーム２３上に、載置される基板３０の外周部の一部と接触可能な弾性を有する固定部２６が備えられている。 （もっと読む）

【課題】軽量で、高剛性なロボットハンド用フォークを提供すること。
【解決手段】中空構造の棒状部材を有し、前記棒状部材は長手方向に対する側壁面に１または複数の開口部を持つロボットハンド用フォークであって、前記開口部の周囲に補強構造体を設けることにより、開口部周囲の変形を抑え、高剛性を実現するロボットハンド用フォークを得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】製造コストを大幅に低減し、さらに多孔質体からなる載置部と支持部との接合強度を高めて、洗浄時の破損を防止する。また、載置部の多孔質体内に残留した研削屑や脱落砥粒等の汚染物質の十分な除去洗浄を可能とする。
【解決手段】凹部が設けられたセラミックス緻密質焼結体からなる支持部と、セラミックス粉末とガラスから構成された多孔質体の載置部とからなり、前記セラミックス粉末がガラスにより結合されて多孔質体が得られるとともに、前記多孔質体のガラスにより該多孔質体と前記支持部とが接合されて、前記凹部に多孔質体の載置部が形成されてなる真空吸着装置であって、前記載置部と前記支持部との接合界面が実質的に隙間なく一体的に焼成されてなることを特徴とする真空吸着装置。 （もっと読む）

【課題】 基板を支持する支持部材を有する基板保持具がシステム構成部材と接触した場合でも、支持部材の損傷を極力回避できるようにする。
【解決手段】 基板保持具であるフォーク１０１は、スライダ１２７に固定されたピックベース１１７と、該ピックベース１１７に連結された支持部材として例えば４本の支持ピック１１９を備えている。支持ピック１１９は、中空の角筒状をなす本体１３１と本体１３１の先端に着脱自在に装着された保護部材としてのキャップ１３３とを有している。 （もっと読む）