【課題】加工後のウエーハを次工程へ搬送する際、ウエーハを変形させることなく搬送することによってウエーハの強度を維持する。
【解決手段】加工が終了し着脱位置に戻ってきたウエーハ１の表面に水供給ノズルから純水などの水を供給し、次いで、液体供給ノズルより水溶性レジストなどの液体を滴下する。チャックテーブルを回転させ、ウエーハ１の表面の水と液体を混合、乾燥させ、ウエーハ１の表面に保護膜８を形成する。この保護膜８に吸着パッド７９の吸着面７９ａを押し当て、ウエーハ１を吸着パッド７９に吸着保持する。この後、回収アーム８０を旋回させて、ウエーハ１を搬送先であるスピンナ式洗浄装置に搬送し、スピンナ式洗浄装置内でウエーハ１の表面に形成された保護膜８を洗浄除去する。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルの保持面に対するウエーハの位置を適宜に調整し、ウエーハの中心を、裏面に形成する凹部の中心（チャックテーブルの回転中心）から所望の偏心量正確にずらすといった作業を容易とする治具を提供する。
【解決手段】チャックテーブルのテーブル部３６に着脱可能に装着される治具９０であって、テーブル部３６の任意の径方向に沿って移動可能に嵌め込まれ、その状態で、チャックテーブル３０に載置されるウエーハ１が嵌合可能なウエーハ嵌合孔９１ａを有する環状のフレーム９３と、フレーム９３の位置を調整し、かつテーブル部３６にフレーム９３を着脱可能に固定するねじ９４およびナット９５とを備える。 （もっと読む）

【課題】加工後のウエーハを次工程へ搬送する際、ウエーハを変形させることなく搬送することによってウエーハの強度を維持することができる搬送方法および搬送手段を配設した加工装置を提供する。
【解決手段】加工が終了し着脱位置に戻ってきたウエーハ１の表面に液体供給ノズルから液体を供給し、次いで、ウエーハ１の上面に、回収手段の吸着パッド７８の吸着面７８ａを押し当て、ウエーハ１と吸着パッド７８との間に薄い液膜８を形成する。次に、吸着パッド７８に設けた熱電冷却素子８０に電荷をかけて吸着面７８ａを冷却し、液膜８を凍結させて吸着パッド７８にウエーハ１を結合させる。この後、回収アーム７９を旋回させてウエーハ１を搬送先のスピンナ式洗浄装置に搬送し、熱電冷却素子８０に冷却したときとは逆の電荷をかけ、吸着面７８ａを加熱して凍結液膜を溶融し、ウエーハ１を吸着パッド７８から離して洗浄装置内に移載する。 （もっと読む）

【課題】 基板載置プレートの上面近くの温度を応答性よく検出でき、効率よく冷却制御が行える基板冷却装置を提供する。
【解決手段】 基板載置プレート２の温度を検出するプレート温度センサ１５を備え、該プレート温度センサ１５による検出温度に応じて基板載置プレート２を冷却制御する。プレート温度センサ１５が、可撓性を有する帯状フィルム体１６と、該フィルム体１６の内部に封止状態に配設された温度測定素子１５ａおよび該温度測定素子１５ａから導出されるリード１５ｂとを備える。基板載置プレート２にその上面近くに至るセンサ収容凹部２ａが形成され、該センサ収容凹部２ａ内にプレート温度センサ１５の温度測定素子１５ａ部分が配置されると共に、基板載置プレート２の上面近くの裏面側に温度測定素子１５ａ部分が面接触状態で配置されている。 （もっと読む）

【課題】リングフレームの半導体ウエハを接着保持する支持用粘着テープの切断精度を向上させることのできる粘着テープ切断方法およびこれを用いた粘着テープ貼付け装置を提供する。
【解決手段】カッタ刃４２を装着したカッタホルダ４３の先端側の基準面６２を支持用粘着テープＤＴの基材ｂの表面に接触させた状態で、カッタホルダ４３の基準面を基材表面に追従させながら支持用粘着テープＤＴを切断してゆく。このとき、カッタ刃４２の先端が、粘着層ａを貫通させずにリングフレームｆとの接着界面の間際を通過させる。 （もっと読む）

【課題】被処理基板が大型であっても、昇降ピンによって被処理基板を確実に支持しつつ被処理基板の変形を効果的に抑止することが可能な基板載置機構を提供する。
【解決手段】基板載置機構は、可撓性を有する基板Ｇを載置する載置台としてのサセプタ４と、サセプタ４の載置面に対して突没自在に設けられ、基板Ｇの周縁部および中央部をそれぞれ支持してサセプタ４の上方の受け渡しを行う受け渡し位置とサセプタ４上の載置位置との間で昇降させるリフターピン８ａ、８ｂと、リフターピン８ａ、８ｂを駆動させる駆動機構としての駆動部９ａ、９ｂとを具備し、駆動部９ａ、９ｂは、基板Ｇを昇降させる際に、リフターピン８ａをリフターピン８ｂよりも高く突出させて、基板Ｇが下に凸状に撓んだ状態でリフターピン８ａ、８ｂによって安定的に支持されるようにする。 （もっと読む）

【課題】摩耗に起因するガイド精度の低下を招くことなく、基盤移動の再現性を確保することができる基板支持装置を提供する。
【解決手段】ウエハＷを支持して上下方向に昇降させるリフト機構７０は、ウエハＷを保持して昇降可能な複数のリフトピン７７と、リフトピン７７が立設されるベース７１と、ベース７１の下方に設けられたガイド装置（弾性ヒンジ装置）７２と、ガイド装置７２及びベース７１を介してリフトピン７７を上下方向に駆動するボイスコイルモータ７３とを有している。ガイド装置７２は、上下方向に連なるように重ねて配置された一対の板ばね７２ａ、７２ｂから構成されており、これら板ばね７２ａ、７２ｂはリフトピン７７が没入位置と突出位置との間を移動するストローク量が弾性変形可能な材料、厚さで形成されている。 （もっと読む）

【課題】被検出面の位置ずれを防止して、被検出面を確実に検知することが可能な基板収納容器及び識別部材を提供する。
【解決手段】センサによって検出される被検出面１３ａを有する被検出部を設けると共に、被検出部から外方に向かって異なる方向に延びる複数のアーム部１５，１６を形成させる。アーム部１５，１６には、被検出部から離間した位置で容器本体に固定される固定部１９，２０を設け、被検出部には、被検出面１３ａと反対方向に突出して容器本体に当接する受け部１７bを設ける。これらにより、安定した状態で被検出部を保持することができる。従って、被検出面１３ａの位置ずれを防止することが可能となるため、センサにより被検出面１３ａが確実に検知される。アーム部１５，１６の長さ、向きを変えることで、被検出面１３ａを任意の位置に配置させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板全体の急速温度勾配コントロールによる基板の処理が可能な処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理チャンバ１０６は、基板受け取り表面および対向する裏側表面を有するセラミックパック２４を備える静電チャック２０を備えている。セラミックパック２４は７ｍｍ未満の厚さを備える。電極３６はセラミックパック２４に埋め込まれており、静電力を生成して基板２５を保持し、セラミックパック２４のヒーターコイル５０によってセラミックパック２４の異なる加熱ゾーンの温度の独立コントロールが可能になる。冷却器は、セラミックパック２４の下のベース９１の冷却チャネル１１０に冷却剤を提供する。コントローラ３００は、ヒーターコイル５０に印加された電力レベルを上昇または低下させる前に冷却器の冷却温度を設定する温度コントロール命令セットを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェーハにおける割れ等の防止および剥離テープとダイシングテープとが接着するのをを防止する。
【解決手段】ウェーハ（２０）の表面に貼付けられた表面保護フィルム（１１）に剥離テープ（４）を貼付ける剥離テープ貼付方法において、表面保護フィルムを上方に向けてウェーハをテーブル（３１）上に支持し、剥離テープ貼付手段（４６）を下降させ、それにより、剥離テープをウェーハの表面保護フィルム上に押付けて貼付け、ウェーハの表面保護フィルムと剥離テープ貼付手段との間の圧力を検出し、検出された圧力検出値（Ｐ）が所定の値（Ｐ０）以上になった場合には、剥離テープ貼付手段を下降停止させる。また、ウェーハの表面保護フィルムと剥離テープ貼付手段との間の距離（Ｌ）が所定値（Ｌ０）以下になった場合に、剥離テープ貼付手段を下降停止させてもよい。 （もっと読む）

【課題】本発明の主な課題は、アームにその厚さ方向の突出物を配置したり、アームの動作スピードを遅くさせたりすることなく、アームが所定範囲内の高さで収納カセットに進入したかどうかを確実に検知でき、アームで薄板材を損傷することを未然防止できる薄板材の搬送装置を提供することである。
【解決手段】本発明の搬送装置１００は、アーム２４と、アーム２４の先に延設され、その先端面に第１の電極１０２ａが露出した可動電極部１０２と、アーム２４の進入動作の終点で、第１の電極１０２ａと接触可能となる第２の電極１０３ａがその表面に多数、縦配列して露出した固定電極部１０３と、駆動手段２５と、エレベータ部２６と、第１の電極１０２ａと、第２の電極１０３ａにそれぞれ電気的接続され、アーム２４の進入動作終点で、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間が導通状態か、非導通状態かを電気的に検知する検知部１０４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ウェハ収納容器等の薄板収納容器の変形の検査における判定を正確に行うことができると共に、その検査効率を向上させる手段を提供する。
【解決手段】絶縁性を有し、薄板を１枚毎に支持する段ガイドを備えた薄板収納容器の検査装置が、上面および下面を有し、段落ガイドに支持されると共に導電性を有する導電板７と、上面および下面に、それぞれ隙間Ｃを介して配置された導電性を有するシャフトと、導電板に当接する導電性を有する接触子２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板を基板ホルダ上の正確な位置に隙間なく密着させることができる基板ホルダを提供する。
【解決手段】 基板を載置する基板載置面１４と、前記基板の少なくとも一部を、前記基板載置面１４と平行な方向に移動可能にして、該基板の変形を補正する基板補正機構１５,１９とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、バスとカッププレート及びローディングプレートを備えるローディングカップと、前記ローディングカップを研磨装置部のプラテンとスピンドルとの間で旋回及び昇降させる駆動装置部及び駆動軸と、前記ローディングカップと駆動軸との間を連結するアームとを含む構成において、前記バスとカッププレート及びローディングプレートの相互対応する位置には、１つ以上の通孔がそれぞれ貫通形成され、前記各通孔には、研磨されたウェーハ該当地点での膜質研磨厚さを測定するためのプローブ組立体がそれぞれ挿入設置され、前記アームの内部には、光源を含む通常の厚さ検出装置部と前記各プローブ組立体との間を連結する光ファイバケーブルが配置されてなる。 （もっと読む）

【課題】 搬送体と搬送面との接触箇所を特定することが容易な気体浮上搬送装置及び検査方法を提供すること。
【解決手段】 搬送体に向けてエアを噴射して搬送面１５から浮上させるエア浮上搬送装置１において、前記エアの噴射により前記搬送面１５から浮上して搬送される検出用平板基板２と、該検出用平板基板２と前記搬送面１５との接触を検出する検出手段４とを備える。 （もっと読む）

【課題】カセットとウエハガイドとの間でウエハを移し替える際におけるウエハの欠けや割れ、異物発生を未然に防止することができる半導体ウエハ移替装置を得ること。
【解決手段】ウエハ１１を収容するカセット１２を載置するカセット載置台２０と、カセット載置台２０に対向して配置され、カセット１２内のウエハ１１を保持するウエハガイド３０と、ウエハ１１を移動させる押上げクシバ４１と、押上げクシバ４１をカセット１２とウエハガイド３０との間で移動させるアクチュエータ４３と、押上げクシバ４１にかかる荷重を検出する荷重センサ４４と、荷重センサ４４によって検出された荷重が、ウエハ１１に損傷を生じさせる所定値以上か否かを判定する荷重表示判定部４５と、荷重表示判定部４５によって押上げクシバ４１にかかる荷重が所定値以上の場合にアクチュエータ４３を停止させる制御部４６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電気研磨および／または電気めっきプロセスにおいて、ウェーハを移動させるロボットアセンブリにおいて、エンドエフェクタ真空カップ内の粒子を取除き、真空通路に酸などが入るのを防止する装置および方法を提供する。
【解決手段】エンドエフェクタ３０６は、真空弁３２２を介して真空源と、窒素弁３２０を介して加圧窒素源と連結されている。真空弁３２２がオンされると、ウェーハをエンドエフェクタ３０６に押し付けて保持するように、真空カップ３０２内の圧力を低下させる。真空弁３２２がオフされ、かつ、窒素弁３２０がオンされると、エンドエフェクタ３０６は、真空カップ３０２内の圧力が増大されウェーハを開放する。ウェーハが保持されていない時、または移動されていない時は窒素弁３２０をオン状態のままにして、真空カップ３０２内において周囲環境圧力に近いか、またはこの周囲環境圧力よりも高い圧力を維持する。 （もっと読む）

【課題】トップリング（ウエハ保持機構）に保持されたウエハが離脱してプッシャー機構（ウエハ受渡機構）に着座するまでのウエハ受渡工程の所要時間を短縮できるウエハ受渡装置を提供する。
【解決手段】ウエハＷを保持するトップリング６０と、トップリング６０との間でウエハＷの受け渡しを行うプッシャー機構１０とを備えたウエハ受渡装置において、プッシャー機構１０は、ウエハＷを載置するウエハトレイ４０を備え、トップリング１０の下端面から離脱したウエハＷがウエハトレイ４０に着座するように構成し、プッシャー機構１０に、ウエハＷがウエハトレイ４０に適正に着座したことを検知するセンサ機構５０を備えた。センサ機構５０は、投光装置５１から投光されたセンサ光が、ウエハトレイ４０に着座したウエハＷによって遮断されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、フォトマスク等の製造工程で用いる基板を載置するステージにおいて、基板がステージ上の所定の位置に正確に移載されたか否かを簡便に判断することができるステージ及びそのステージを具備する装置を提供することにある。
【解決手段】基板との接触する面のステージ表面に１個、又は複数個のスイッチを具備したステージであって、前記基板が正規の位置に載置されたときのみ、全部のスイッチが押されるべき位置にスイッチを設けたステージであり、スイッチが、全部押された状態においてのみ、そのことを知らしめる手段を有するステージであり、前記スイッチが全部押されたことを知らしめる手段は、発光し視覚により認識されるステージ及びそのステージを備えた装置である。 （もっと読む）

【課題】 支持体１が振り子状態に構成されているために、誤動作が生じるという点であり、又、支持体１とセンサ４は水中で使用することができないという点である。
【解決手段】 ケース６の上端が解放され、この解放されたケース内に上下支持体７がバネ８で支持され、ケース６の上端から突出した上下支持体７の上端にローラ９が装着され、上下支持体７の下端に反射体１０が装着され、反射体１０と対向したケースの下端に超音波振動子１１が装着され、この超音波振動子１１は信号検出装置１２と電線により電気的に接続され、又、信号検出装置１２には、超音波振動子１１に発振出力を印加する発振部１３が装着され、又、超音波振動子１１からの反射信号を受信するタイマ機能を持つ受信部１４が装着されている。 （もっと読む）