【課題】基板の形状やサイズにかかわらず、光源から基板に至る照射光路に設けられた光学部品及び空間光変調器の交換作業の作業性を向上させる技術を提供する。
【解決手段】露光装置１００は光学ユニット４０ａ，４０ｂを備えている。光学ユニット４０ａ，４０ｂが備えるレーザ発振器４１ａ，４１ｂから出射された光が、照明光学系４３ａ，４３ｂを介して導入された空間光変調器４４１ａ，４４１ｂで空間変調されて基板Ｗ上に照射される。レーザ発振器４１ａ，４１ｂから照明光学系４３ａ，４３ｂに至る光路には光源からの光を通過又は遮断するシャッタ部４９ａ，４９ｂが設けられている。シャッタ部４９ａ，４９ｂの開閉制御を行うことにより、各光学ユニット４０ａ，４０ｂから照射された光がシャッタ部４９ａ，４９ｂよりも下流に設けられた光学部品を照射する時間は、各光学ユニット４０ａ，４０ｂで同一となる。 （もっと読む）

【課題】露光光をＰ偏光又はＳ偏光の直線偏光に変換する部材が複数本の棒状の偏光変換素子により構成されている場合に、露光パターン形成用領域に未露光の領域が残ることを防止できる露光装置、偏光変換部材及びこれらを使用した露光方法を提供する。
【解決手段】露光装置１は、露光光の照射位置に露光対象部材２を供給して前記露光対象部材上に形成された露光材料を連続的に露光する。露光装置１には、露光光を出射する光源１１、露光光を直線偏光させて透過させる偏光変換部材１５、及びマスク部１２が設けられている。偏光変換部材１５は、特定の直線偏光の露光光のみを透過させる複数個の棒状の偏光変換素子がその幅方向に接触し境界面が露光対象部材２の移動方向に対して傾斜するように配置されたものである。 （もっと読む）

【課題】感光媒体上に形成される光像にスペックルが目立たないようにし、かつ被照明領域内の明るさのムラの発生を効果的に抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１０は、光学素子５０と、照射装置６０と、空間光変調器３０とを備える。走査デバイス６５を用いて、コヒーレント光をホログラム記録媒体５５上で走査させ、ホログラム記録媒体５５から照射されたコヒーレント光を被照明領域ＬＺと重なり合う空間光変調器３０に入射する。また、空間光変調器３０に近接して感光媒体１５を配置するため、きわめて簡易な構成で、感光媒体１５上にスペックルを目立たせずにコヒーレント光を導光できる。 （もっと読む）

【課題】露光不良の発生を抑制できるクリーニング工具を提供する。
【解決手段】クリーニング工具４０は、光学部材の射出面から射出される露光光で基板を露光する露光装置に搬入され、露光装置の少なくとも一部をクリーニングする。クリーニング工具４０は、異物を捕捉可能な捕捉部４２を有し、捕捉部４２の上面と基板をリリース可能に保持する保持部３１を有する基板ステージ２が対向可能な露光装置の所定部材の下面とが所定ギャップを介して対向するように保持部３１に保持された状態で、所定部材の少なくとも一部をクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】正確な照明パターンを迅速に形成する。
【解決手段】光源から入射した光源光を個別に設定された反射角度で反射してそれぞれが反射光を射出する複数の反射鏡を有する空間光変調器と、複数の反射鏡の各々に設定する反射角度を算出する算出部と算出部が算出した反射角度を複数の反射鏡のそれぞれに設定する駆動部とを備えた照明装置であり、算出部は、反射光により被照射面に照明パターンを形成すべく複数の反射鏡の一部に設定する反射角度と、照明パターンの形成に寄与しない不要反射光を射出する複数の反射鏡の他の一部について、不要反射光が被照射面に照明パターンの背景を形成する反射角度とを算出する。 （もっと読む）

【課題】目標照明光源形状を正確に再現した照明光源を形成する。
【解決手段】 複数のミラー要素ＳＥ_ｋ（ｋ＝１〜Ｋ）を、それぞれのミラー要素によって反射される光の強度Φ_０ｋの順に、単位数（例えばＮ）毎に、複数のレンズ素子ＦＬ_ｎのうちの目標照明光源形状Ψ_０を形成するのに必要な数Ｎのレンズ素子ＦＬ_ｎ（ｎ＝１〜Ｎ）（に対応する複数のグループａ〜ｆ）に対応付けることと、必要な数Ｎのレンズ素子ＦＬ_ｎ（ｎ＝１〜Ｎ）のうちの２つのレンズ素子のそれぞれに対応付けられたミラー要素ＳＥ_ｋのうちの少なくとも各１つのミラー要素同士を入れ替えて、２つのレンズ素子のそれぞれに対応付けられたミラー要素ＳＥ_ｋについての光の強度の和Φ_０ｋを平均化する。これにより、目標照明光源形状を正確に再現した照明光源を形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】照明光源の形状の目標に対する一致度合が正確に評価する。
【解決手段】 目標Ψ_０に基づいて照明光学系の瞳面に形成された照明光源の形状Ψを計測し（ステップ２０８）、計測されるべき照明光源の形状を、照明光学系内の光学部材の特性を考慮して前記目標に基づいて予測し（ステップ２０５）、前記計測の結果〈Ψ〉と前記予測の結果Ψ_Ｉとのずれに基づいて、照明光源の形状の目標に対する一致度合を評価する（ステップ２０９、２１０）。これにより、照明光源の形状の目標に対する一致度合が正確に評価される。 （もっと読む）

【課題】照明光源の形状を必要な形状に容易に調整できるようにする。
【解決手段】光源調整方法は、照明光源の目標とする形状に対する実際の形状の変化を表す画像変調パラメータＺ_jを設定するステップ１０２と、照明系変調パラメータｆＢｊに基づいて照明光源の形状が調整される第１の照明光学系に関して、画像変調パラメータＺ_jと照明系変調パラメータｆＢｊとの変換の行列Ｂを求めるステップ１１３，１１４と、その行列Ｂを用いて、画像変調パラメータＺ_jの第１組の値ＺＶ_jに対応する照明系変調パラメータｆＢｊの第２組の値ｆＢＶｊを求めるステップ１１６と、を含む。 （もっと読む）

【課題】強誘電体結晶により構成される強誘電体基板に周期分極反転構造が形成される光学デバイスに関し、その強誘電体結晶の薄膜化および周期分極反転構造の高精度化を可能とする。
【解決手段】単分極化された強誘電体結晶により構成された強誘電体基板１１の一方主面Ｓ1Aと、強誘電体基板１１よりも厚い支持基板１４の一方主面Ｓ1Bとの間に接合部１３を介在させて強誘電体基板１１を支持基板１４で支持しながら一体化しているので、上記した平面研磨処理により強誘電体基板１１、つまり強誘電体結晶を薄膜化することができ、その結果、周期分極反転構造を薄くすることができる。そして、こうして薄膜化された強誘電体基板１１に対し、上記したように電圧印加法により分極反転部を形成する。 （もっと読む）

【課題】稠密に配列された大面積のミラー素子を有する空間光変調器を構成する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれの反射面ＳＥＡ内の頂点ＳＥｐを中心に傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを反射面ＳＥＡの裏面上で頂点ＳＥｐを含んで同一直線上にない複数の位置にて反射面ＳＥＡに対する垂直方向に駆動する複数のボイスコイルモータＳＶｋとから、空間光変調器が構成される。 （もっと読む）

【課題】大面積のミラー素子を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれ複数の板ばねＳＥＬを用いて傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを、反射面ＳＥＡの裏面側で同一直線上にない３以上の複数点でベース部材ＳＶｂに接近する方向に駆動する複数の電磁石ＳＣｋとから、空間光変調器が構成されている。 （もっと読む）

【課題】光学部材の光学面に清掃用媒体を衝突させることにより、該光学面から異物を除去することができる清掃装置、露光装置、清掃方法、露光方法及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】清掃装置は、光学部材の光学面の少なくとも一部に対向して配置されることにより、チャンバ内の環境から分離された清掃用空間を形成する環境形成部材６１と、清掃用空間内で光学面の少なくとも一部に清掃用媒体を噴射する清掃用媒体噴射部７０と、光学面の少なくとも一部に噴射された清掃用媒体及び清掃用媒体によって光学面の少なくとも一部から除去された異物を回収する回収部７２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】回転傾斜露光装置において、液体槽に溜められた液体に被照射物等が浸されることなく、液体を介して被照射物に露光光を照射することができるようにすること。
【解決手段】光出射部１００からの光が液体槽４０を通過して、液体中に浸された被照射物保持構造体１０の光入射部３２から入射し被照射物Ｗに照射される。被照射物保持構造体１０は、防液部材３０、ステージ２１、回転モータ２２等から構成される。マスクＭ上にレジストＲを塗布した被照射物Ｗはステージ２１に載置され、被照射物ＷのマスクＭ側が防液部材３０の光入射部３２に密接するように配置される。回転モータ２２が回転すると、ステージ部２１は防液部材３０と共に回転し、ステージ２１上に載置された被照射物Ｗが回転する。被照射物Ｗが光入射部３２に密着しているので、液体中に被照射物Ｗを浸すことなく大気中で露光するよりレジストＲの表面に緩やかな斜面を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】優れた反射防止能を有する加工基材を提供する。
【解決手段】本発明の光学部材の製造方法は、１）芳香族基および／または脂環式炭化水素基を有する重合性単量体（Ａｘ）を含有する光硬化性組成物（Ａ）を、基材上または微細パターンを有するモールド上に適用する工程、２）光硬化性組成物（Ａ）を、基材とモールドではさんだ状態で光照射し、光硬化性組成物（Ａ）を硬化させる工程、３）モールドを離型し、基材上に微細パターンを形成する工程、４）得られた微細パターンをマスクとしてエッチングにより基材を加工する工程、を含有する。 （もっと読む）

【課題】露光不良の発生を抑制できる露光方法を提供する。
【解決手段】露光方法は、液体を介して基板の複数のショット領域を露光光で順次露光する。露光方法は、基板に対する露光光の照射前における液体の第１温度を検出することと、複数のショット領域を露光している間に液体の温度を複数回検出し、検出された複数の温度から第２温度を得ることと、第１温度と第２温度との差と、第１許容値とを比較することと、を含む。 （もっと読む）

【課題】コストの低い合成石英ガラス母材の製造方法を提供する。
【解決手段】ＶＡＤ法を用いて形成されたガラス微粒子堆積体１を反応容器Ａ１内で焼結して透明ガラス化する合成石英ガラス母材２の製造方法において、反応容器Ａ１内の酸素濃度を１００ppm〜５，０００ppmとし、且つ、焼結工程中または焼結工程前のいずれかにおいて、ガラス微粒子堆積体１にフッ素を添加する。 （もっと読む）

【課題】過酸化水素を含む溶液で洗浄する際にチタンが溶出しにくい、液浸用液体と接触するチタン含有部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液体を介して基板を露光する際に用いる、前記液体と接するチタン含有部材の製造方法であって、前記チタン含有部材を用意することと、前記チタン含有部材を酸素を含む雰囲気中で加熱して、前記チタン含有部材の表面に酸化チタン膜を形成することを含む。液体を介して基板を露光する際に用いる、前記液体と接するチタン含有部材であって、前記チタン含有部材の表面が人工的に酸化されて形成された酸化チタン膜を備える。 （もっと読む）

【課題】残膜を効率的に除去できるパターン形成方法及びインプリント材料を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、以下を実施するパターン形成方法が提供される。被加工膜１０の上に、酸及び塩基の少なくともいずれかを発生する反応開始剤２１を含む下地膜２０を形成する。下地膜の上にインプリント材料３０を塗布し、インプリント材料にテンプレート４０を接触させて、凹凸の形状を有するインプリント膜３３を形成する。反応開始剤から酸及び塩基の少なくともいずれかを発生させ、それをインプリント膜の下地膜の側の部分に導入し、エッチング速度をそれ以外の部分よりも高くする。インプリント膜を凹部を除去する。インプリント膜の凸部をマスクにして被加工膜を加工する。 （もっと読む）

【課題】露光不良の発生を抑制できる液体供給装置を提供する。
【解決手段】液体供給装置は、光学部材の射出面から射出される露光光で液体を介して基板を露光する露光装置に使用される。液体供給装置は、脱気処理された液体に溶存する所定ガス濃度を高める処理を実行する液体処理装置を備え、所定ガス濃度が高められた液体を露光光の光路の少なくとも一部に供給可能である。 （もっと読む）

【課題】 基板の基板ステージ側の面と基板ステージとの間に液体が残留することを低減する露光装置を実現する。
【解決手段】 液体を介してマスクのパターンを基板に露光する露光装置において、基板１を移動するステージを有し、ステージは、基板１を保持する保持部２と、保持部２の外周に配置され、基板１と伴に液体を支持する補助部３と、保持部２の外周面と補助部３の内周面との隙間を通った液体を回収口４を介して回収する回収部５とを有し、保持部２の外周面と補助部３の内周面との隙間は、回収口４に向けて小さくなっていることを特徴とする露光装置。 （もっと読む）