【課題】露光中の合焦誤差及び／又はオーバーレイにおけるオフセットを改善するリソグラフィ装置の提供。
【解決手段】可動オブジェクトの位置制御システムが、可動オブジェクト上のセンサ又はセンサターゲットの位置測定システムＭＳと設定位置と被測定位置ｐｏｓに基いた位置フィードバック信号との誤差信号ｅを供給するコンパレータと、誤差信号に基いて制御信号を供給するコントローラＣと、所望の位置に関連する第１の信号に基いてフィードフォワード信号ｆｆを供給するためのフィードフォワードデバイスと、制御信号及びフィードフォワード信号に基いて可動オブジェクトに作用する１つ又は複数のアクチュエータとを含み、この位置制御システムは、コンプライアンス補償信号ｃｃを供給するコンプライアンス補償デバイスＣＣを更に含み、コンプライアンス補償信号は、フィードバック位置信号を得るために位置測定システムの被測定位置から減算される。 （もっと読む）

【課題】ステージと防振台とが相対変位しないようにステージを制御する。
【解決手段】ステージと、前記ステージが取り付けられた基準台に対して該ステージを並進駆動する第１駆動手段と、前記並進駆動の方向とは異なる回転軸の周りに前記ステージを回転駆動する第２駆動手段と、前記ステージの目標位置に基づいて前記第１及び第２駆動手段の駆動力を制御する第１制御手段と、を有するステージ装置において、前記ステージを前記目標位置へ駆動するための目標軌道に基づいて、前記ステージが加速駆動されることで前記基準台がその反作用を受けて変位する際の該ステージの位置における加速度を求め、該求めた加速度が更に前記ステージに加わるように前記第１及び第２駆動手段の駆動力を制御する第２制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度且つ安定な移動テーブルの位置計測を実現する。
【解決手段】 液浸露光方式の露光装置において、投影光学系ＰＬとの間に供給される液体によってウエハＷ上面に液浸領域ＡＬｑが形成され、そのウエハＷを保持する移動テーブル上に、複数のエンコーダヘッド６０Ａ〜６０Ｄが配置されている。制御装置は、複数のエンコーダヘッドのうち、液浸領域外にあるエンコーダヘッド６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｄを用いて、ＸＹ平面内における移動テーブルの位置情報を計測する。これにより、高精度且つ安定な移動テーブルの位置情報の計測が可能となる。 （もっと読む）

【課題】高精度且つ安定なテーブルの位置計測を行う。
【解決手段】 液浸露光方式の露光装置では、ウエハＷを保持するウエハテーブルＷＴＢが移動することによって、ウエハテーブルＷＴＢと投影光学系ＰＬとの間に供給される液体によって形成される液浸領域ＡＬｑが、ウエハテーブルＷＴＢに搭載されたヘッド６０Ａ〜６０Ｄ上を通過することがある。そこで、液浸領域ＡＬｑがその上を通過したヘッド６０Ｃについて、液体の残留の有無を、ウエハテーブル表面からの反射光を受光する受光素子の反射光の受光量に基づいて検出する。そして、複数のヘッドのうち、液体の残留が検出されなかったヘッドの計測値に基づいて、ウエハテーブルＷＴＢの位置情報を計測する。 （もっと読む）

【課題】テーブルの位置を精度良く計測する。
【解決手段】 エンコーダシステムを構成する複数のヘッドがウエハテーブルに設けられ、スケール板２１（回折格子ＲＧ）に対向するヘッドの出力に基づいて、ウエハテーブルのＸＹ平面内における位置情報が計測される。ここで、各ヘッド、例えばヘッド６０Ｃのウエハテーブルとの相対位置（相対姿勢、回転を含む）がヘッド内部に設けられた計測系により計測される。従って、計測された相対位置の情報に基づいて位置情報を補正することにより、ウエハテーブルの動きに伴ってヘッドの位置（姿勢、回転）が変化する場合においても、高精度なウエハテーブルの位置情報の計測が可能となる。 （もっと読む）

【課題】温度調整用媒体の圧力を上昇させることなく温度調整効率を向上させる。
【解決手段】温度調整用媒体が流動する流路５を有する。流路を形成する壁面の少なくとも一部２ｂに、流路に沿って延びる凸条３１及び凹条３２が所定ピッチで互いに隣り合って複数形成されている。従って、流路を流動する温度調整用媒体が壁面に形成された凸条の頂部近傍で接触することになり、接触面積が減少することにより、温度調整用媒体の流動抵抗（圧力損失）を低減することができる。そのため、温度調整用媒体の供給圧を上昇させることなく、温度調整効率を高めることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】
スループットを確保しつつ、高精度な重ね合わせを行う位置検出装置を提供する。
【解決手段】
マークが形成される基板を積載する基板ステージと、前記マークの位置を光検出する光検出手段と、前記基板ステージの位置を計測するステージ位置計測手段と、前記基板ステージの位置に対応する前記マークの位置を光検出する光検出回数、前記マークの位置の光検出の蓄積時間、前記基板ステージの位置の計測回数のいずれか１つ以上の計測条件を決定する計測条件決定手段と、前記計測条件に対応して、前記光検出手段により前記マークの位置の光検出を行うように制御する制御部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外部からのノイズがリニアモータの制御指令およびフィードバック信号などに混信してテーブルの精密位置決めが不調に陥るのを防ぐ精密位置決めテーブルを提供する。
【解決手段】精密位置決めテーブルは直線運動する第１テーブル１を備える。第１テーブル１は組み合う永久磁石および励磁コイルを有する第１リニアモータ６を備える。お互いの間に離隔距離を保って動力線用ケーブルベア１７と信号線用ケーブルベア１８とを設ける。動力線用ケーブルベア１７から第１リニアモータ６にかけての給電ケーブル１９の一部を動力線用分離収納器２１内に収容し、信号線用ケーブルベア１８から第１リニアモータ６にかけての信号ケーブル２０の一部を信号線用分離収納器２２内に収容する。 （もっと読む）

【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、露光液体を介して露光光で基板を露光する。露光装置は、露光光を射出する射出面を有する光学部材と、露光液体を供給する第１供給口と、光学部材から射出される露光光の光路が露光液体で満たされるように液浸空間を形成可能な液浸部材と、液浸部材と接触するようにクリーニング液体を供給する第２供給口と、クリーニング液体と光学部材との接触を防止する防止装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａから、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂを用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。それにより、テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルＷＴＢの位置計測が可能になる。さらに、エンコーダシステムを用いて得られるテーブルＷＴＢの位置情報と、位置情報に含まれるテーブルの傾斜に起因する計測誤差の補正情報と、に基づいて、テーブルＷＴＢを駆動する。従って、補正情報を用いて位置情報を補正し、補正された位置情報に基づいて高精度にテーブルＷＴＢを駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】移動体に設けられた計測面への位置計測センサの計測ビームの投射を制御することにより、計測面の歪みを回避する。
【解決手段】所定平面内を移動するステージＷＳＴの位置を計測するために、ヘッドユニット６２Ａ〜６２Ｆが設置されている。ヘッドユニット６２Ａ〜６２Ｆは、それぞれ、複数のエンコーダヘッド等を備えている。各エンコーダヘッドから、計測ビームが、ステージＷＳＴの上面に設けられているスケール３９Ｙ₁、３９Ｙ₂、３９Ｘ₁、３９Ｘ₂に投射される。ここで、長時間、同一位置に計測ビームが投射され続けると、スケール３９Ｙ₁、３９Ｙ₂、３９Ｘ₁、３９Ｘ₂に照射熱に起因する変形が生じ、エンコーダ（位置計測センサ）の計測誤差が発生する。そこで、計測ビームを、切る、間欠投射する、或いは強度を変えて投射することにより、その投射量を制御することで、スケールの変形を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 リソグラフィ装置のステージ位置測定を改善することである。
【解決手段】 可動ステージと、エンコーダターゲット構造に対する可動ステージの位置を表すエンコーダ信号を供給するようにそれぞれが構成された、少なくとも２つのエンコーダヘッドと、ステージの位置を制御するコントローラであってエンコーダヘッドのそれぞれのエンコーダ信号が供給されるコントローラとを含み、コントローラが、重み関数をエンコーダ信号に適用するように構成され、かつ加重されたエンコーダ信号からステージの位置を導出するように構成される、ステージシステム。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａから、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂを用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。それにより、テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルの位置計測が可能になる。干渉計システムを用いてエンコーダシステムの計測誤差を補正する補正データを作成し、その補正データを用いてエンコーダシステムの計測結果を補正し、補正された計測結果に基づいてテーブルＷＴＢを駆動することができるので、高精度なテーブルの駆動制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】補正情報の作成に要する時間的及び資源的なコストを現実的な範囲に抑える。
【解決手段】ステージＷＳＴの位置を計測するために使用されるエンコーダ及び面位置センサの計測値には、様々な計測誤差が含まれる。そこで、補正量Ｒを加えて、計測値を補正する。ここで、補正量Ｒを、計測面（スケール）ＳＣに起因する計測誤差Ｇと、ヘッドＥｈに起因する計測誤差Ｈと、に分類（Ｒ＝Ｇ＋Ｈ）して扱う。ここで、一般に、前者Ｇは、計測ビームＬＢの投射点のスケールＳＣ上の位置（ｘ，ｙ）の関数として、後者Ｈは、ヘッドＥｈとスケールＳＣ間のクリアランス（ｚ）と傾斜・回転（ψｘ，ψｙ，ψｚ）の関数として、表現することができる。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａ_１，１６Ｙａ_２から、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ１_１，Ｌｙ１_２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２_１，Ｌｙ２_２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂ_１，１６Ｙｂ_２を用いて受光して、テーブルＷＴＢのＸ，Ｙ，θｚ位置情報を計測する。それにより、テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルＷＴＢの位置計測が可能になる。さらに、エンコーダシステムを用いて得られるテーブルＷＴＢの位置情報に基づいて、テーブルＷＴＢを駆動する。従って、高精度にテーブルＷＴＢを駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】面位置計測センサを用いて計測面の凹凸を計測し、その計測結果を用いて、同計測面の凹凸に起因するエンコーダの計測誤差を補正する。
【解決手段】Ｘ干渉計１２７、Ｙ干渉計１６を用いて位置を監視しながらステージＷＳＴを移動させ、面位置計測センサ７２ａ〜７２ｄを用いてステージＷＳＴ上面に設けられたＹスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２のＺ位置を計測する。ここで、例えば、面位置センサ７２ａ，７２ｂの計測結果の差より、Ｙスケール３９Ｙ_２のＹ軸方向の傾きが得られる。Ｙスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２の全面について傾きを計測することにより、それらの２次元凹凸データが作成される。この凹凸データを用いて、面位置計測センサの計測誤差を補正するとともに、同じＹスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２を走査するＹエンコーダヘッド６５，６４の計測誤差も補正する。 （もっと読む）

【課題】高精度且つ安定なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａから、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂを用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルの位置計測が可能になる。さらに、エンコーダシステムの作動状態を診断し、また計測された位置情報の信頼性を検証し、それらの結果に応じて、エンコーダシステムから干渉計システムへ切り換え、干渉計システムを用いて計測される位置情報に基づいてテーブルＷＴＢを駆動制御する。それにより、高精度且つ安定なテーブルの駆動制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置の安定且つ高精度な位置計測を可能にする。
【解決手段】移動体の上面に設けられたスケール（回折格子）に計測ビームを投射し、そのスケールにて発生する複数の回折ビームから生成される干渉光（強度Ｉ）を受光して、回折格子の周期方向に関するステージの位置情報（変位ΔＹに係わる位相φ）を計測する。それと同時に、複数の回折ビームのうちの少なくとも１つの回折ビームを受光して、その強度Ｉ_Ｒ、あるいはビーム断面内の強度分布を計測する。強度Ｉ_Ｒ又は強度分布の計測結果を用いて、位置情報の計測結果を検証し、さらに計測誤差を補正する。 （もっと読む）

【課題】移動体に設けられた回折格子の歪みに起因するエンコーダヘッドの計測値を高精度に補正する。
【解決手段】Ｘ軸方向を計測方向とするエンコーダヘッド（Ｘヘッド）６６₇，６６₀とそれらに対向してステージＷＳＴ上に設けられたＸスケール３９Ｘ₁を用いて、ステージＷＳＴのＸ位置を計測する。ステージＷＳＴをＸ軸方向に移動させ、Ｘ軸方向に所定間隔で設定された計測点毎に、両ヘッド６６₇，６６₀の計測値の差分を求める。全てのステップ位置についての差分より、Ｘスケール３９Ｘ₁の歪みを求める。同様に、その他のスケールの歪みを計測する。計測された歪みに基づいて、ステージＷＳＴの位置を計測するエンコーダの計測値を補正する。 （もっと読む）

【課題】位置情報の計測精度の低下を抑制し、露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、液体を介して露光光で基板を露光する。露光装置は、露光光を射出する光学部材と、基板の露光中に、光学部材と基板との間の露光光の光路が液体で満たされるように液浸空間を形成可能な液浸部材と、露光光の照射位置を含む所定面内を移動可能な物体の位置情報を計測可能な計測器を支持する支持部材と、液浸部材の変形が支持部材へ伝達されないように支持部材と液浸部材とを接続する接続機構とを備える。 （もっと読む）