Fターム[5F058BF36]の内容
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Fターム[5F058BF36]に分類される特許
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振幅変調された高周波エネルギーを使用してゲート誘電体をプラズマ窒化するための方法及び装置
窒化ゲート誘電体層を形成するための方法及び装置。この方法は、電子温度スパイクを減少するために、滑らかに変化する変調のRF電源により処理チャンバー内に窒素含有プラズマを発生することを含む。電源が滑らかに変化する変調のものであるときには、方形波変調のものに比して、電界効果トランジスタのチャンネル移動度及びゲート漏洩電流の結果が改善される。 (もっと読む)
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