【課題】広い区域にわたって高繰返し率のレーザ光を用いる表面及び／又は基板の処理を伴う製造工程で使用される高電力及び高安定性ガス放電レーザを提供する。
【解決手段】直列に接続した複数の一次巻線と複数の一次巻線の各々を通る単一の二次巻線とを有する多段分割ステップアップ変圧器と半導体トリガスイッチとを含むＤＣ電源に接続されかつそれぞれの電極に接続した第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路を含む電源モジュールと、単一出力レーザ光パルスビームを生成するためにＰＯＰＡ構成レーザシステム又はＰＯＰＯ構成レーザシステムのいずれかとして第１及び第２のレーザユニットの作動を達成するように、それぞれの第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路の作動パラメータに基づいてそれぞれの半導体スイッチの閉成を計時するように作動するレーザタイミング及び制御モジュールとを含むマルチチャンバレーザシステム。 （もっと読む）

【課題】高効率に高電圧短パルスを負荷に印加可能な高電圧パルス発生装置、及びこれを用いた放電励起ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】高電圧パルスを発生するパルス発生回路２４と、発生した高電圧パルスを圧縮するパルス圧縮回路２５とを備え、パルス発生回路２４及びパルス圧縮回路２５を構成する要素部品のうち、少なくとも一部が絶縁性冷媒に満たされた容器中に設置され、容器中に設置された要素部品と容器の外部に設置された要素部品との間が、電流導入端子４４を介して電気的に接続される高電圧パルス発生装置において、電流導入端子４４が、高圧側及び接地側の通電部材５７、５８を備え、前記高圧側及び接地側の通電部材５７、５８のうち少なくとも一方が面形状となっている。 （もっと読む）

【課題】必要ガス流速の増大及びファンへの投入電力の増大を抑え、４ｋＨｚ以上のさらなる高繰り返し動作と長時間使用を可能にした放電励起式パルス発振ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】細長いアノードとカソードの放電面形状が、電極長手方向に直交する断面において凸面の曲線形状であり、接地電位の電極の幅Ｗｅと放電電極間の最小間隔ｇがｇ／Ｗｅ＞３の関係を有し、放電電極間へ４ＫＨｚ以上のパルス繰り返し数で、５０ｍＪ／ｃｍ³以上の密度の電力を供給する電源を備えており、放電面の凸面の曲線形状が、楕円、双曲線、又は、ｘ^N／（Ｗｅ／２）^N＋ｙ^N／ｈ^N＝１（ｈは電極曲線部高さ、ｘは電極の幅方向の位置座標、ｙは電極の凸面方向の座標、Ｎは３以上の整数）で表現される高次関数の何れかであり、電極幅内において、ΔＥ＝電界強度の差、Ｅave＝電界強度平均値とし、その割合ΔＥ／Ｅaveが３５％以下である。 （もっと読む）

【課題】ＤＵＶ光源のための高電力ガス放電レーザシステムを提供する。
【解決手段】方法及び装置は、線狭化パルスエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムを含むことができ、システムは、パルスのレーザ出力光ビームを含む出力を生成し、かつ第１のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバと第１の発振空洞内の線狭化モジュールとを含むことができるシードレーザ発振器と、シードレーザ発振器の出力を受け取ってシードレーザ発振器の出力を増幅し、パルスのレーザ出力光ビームを含むレーザシステム出力を形成する第２のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバに増幅利得媒体を収容し、かつリング電力増幅ステージを含むことができて、シードレーザ発振器の出力がこのリング電力増幅ステージの増幅利得媒体をループ毎に少なくとも２回通過するレーザ増幅ステージとを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】高効率で安定してＥＵＶ光を発生させることができるＥＵＶ光源装置用ドライバレーザシステムを安価に提供する。
【解決手段】このドライバレーザシステムは、ＭＯＰＡ（master oscillator power amplifier）方式に従って構成されたレーザシステム３であって、単一のレーザ発振器３０１においてレーザ光を発生し、該レーザ光のパルス幅が所定の値まで短くなるようにレーザ光のパルス幅を制御して、並列して配置された複数の放電励起式ガスレーザ増幅系３０４（１）及び３０４（２）並びに３０５（１）及び３０５（２）において該レーザ光を増幅するレーザシステム３と、複数のレーザ増幅系からレーザ光が順次出射するようにレーザシステム３の動作タイミングを制御するレーザシステム制御装置４とを含む。 （もっと読む）

【課題】広いダイナミックレンジで、高速かつ高精度なレーザエネルギー制御を行う。
【解決手段】シングルまたはマルチ縦モードレーザ光を出力する再生増幅器９、プリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡと、再生増幅器９、プリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡの増幅ラインの範囲において、シングルまたはマルチ縦モードレーザ光が発振可能で該シングルまたはマルチ縦モードレーザ光を再生増幅器９、プリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡに入力する半導体レーザ４であるマスタオシレータと、半導体レーザ４から出射されるシングルまたはマルチ縦モードレーザ光の波長が再生増幅器９、プリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡの増幅ラインに一致するようにマスタオシレータを波長制御するとともに、シングルまたはマルチ縦モードレーザ光のパルス波形および／またはパルス出力タイミングを調整する波形制御を行う半導体レーザシステム８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】共振器内に複数対の電極を配置して、放電の周期をずらして交互に発振させるツインチャンバ方式の電源装置において、スイッチング素子のターンオン時間の変化により発振段レーザと増幅段レーザ間の同期ずれが生ずるのを防止すること。
【解決手段】発振段レーザ用の高電圧パルス発生器１２に２個のスイッチＳＷ１−１，ＳＷ１−２を設けて並列に接続し、スイッチＳＷ１−１と増幅段レーザ用の高電圧パルス発生器３３のスイッチＳＷ２−１、および、スイッチＳＷ１−２と増幅段レーザ用の高電圧パルス発生器３４のスイッチＳＷ２−２とをそれぞれ同じタイミングで動作させ、これらを交互に動作させる。これにより、高電圧パルス発生器１２と高電圧パルス発生器３３，３４のスイッチング周波数を同じとし、スイッチング素子のターンオン時間の遅れの変化をキャンセルすることができる。 （もっと読む）

【課題】放電後に放電電極間に逆方向に印加される残留電圧を抑制し、チャンバーにおける放電を安定化すること。
【解決手段】２段の磁気パルス圧縮回路と、リセット回路ＲＣと、回生回路を有するパルスレーザ用電源回路において、昇圧トランスＴＣ１の２次側に、に並列にダイオードＤ２、電圧制限素子であるツェナーダイオードＺＤ１、スイッチＳＷ２の直列回路（電圧制限回路）を接続する。スイッチＳＷ２は、放電チャンバーからの戻りエネルギーの通流を防ぐためのものであって、少なくとも回生回路の動作時にオフとなる。これにより、最終磁気リセット完了後の残留電圧のピーク値を抑制することができ、チャンバーの主放電を安定化することができる。また、昇圧トランスＴＣ１に三次巻線を設け、この三次巻線に上記電圧制限回路を設けてもよい。 （もっと読む）

【課題】放電後に放電電極間に逆方向の残留電圧が印加されるのを防止することにより放電を安定化し、また、放電後に生ずる残留振動を短時間で減衰させ、残留振動の影響により次の放電の同期ずれが生ずるのを防止すること。
【解決手段】２段の磁気パルス圧縮回路と、リセット回路ＲＣを有するパルスレーザ用電源回路において、転送コンデンサＣ１，Ｃ２あるいはＣｐに並列に抵抗Ｒ１とインダクタＬ１を接続する。これにより、各転送段の磁気コアの磁気リセット時間を制御することが可能となり、放電電極間に逆方向の残留電圧が印加されるのを防ぐことができる。また、最終磁気リセット完了後の残留エネルギーにより電圧が振動するのを急速に減衰させることができる。なお、上記抵抗Ｒ１とＬ１の直列回路を、磁気圧縮回路の各段の転送コンデンサＣ１，Ｃ２，Ｃｐに並列に分割して接続してもよい。 （もっと読む）

【課題】 ギャップスイッチを使用した放電型レーザー発振装置は短寿命であり放射電磁波雑音も大きくコストが高いという課題があった。
【解決手段】 本発明は、パルス電源出力を昇圧するためのトランスと固体スイッチ（半導体素子）とコンデンサ、など電子部品で構成された回路によって励起発振する放電型レーザー装置を提供する。本発明の作用は、パルス電源出力を昇圧トランスで高電圧の減衰波形に変換し、負の高電圧減衰波形発生時にダイオードを介してコンデンサを充電し、正の高電圧減衰波形発生時には前記コンデンサ電圧を重畳した高電圧パルスをレーザー管に印加し、放電励起によってレーザー発振するものである。 （もっと読む）

【課題】同一共振器内に複数組の電極対を配置して交互発振するパルスガスレーザ装置において、フロントミラー側の放電によるレーザ光とリアミラー側の放電によるレーザ光の放電方向のビームダイバージェンスを同等にすること。
【解決手段】レーザガスが封入されたチャンバ３０内に複数組の一対の電極３０ａ〜３０ｄを設け、電極３０ａ〜３０ｄへパルス状の電圧を順次印加して放電を発生させ、リアミラー３６とフロントミラー３７で構成される共振器で共振させて、発振段レーザ１００から注入されるレーザ光を増幅して出力する。レーザ光の出射側であるフロントミラー３７側に、スリット５０を設け、その放電方向のサイズを、電極３０ａ，３０ｂ間での放電により出力されるレーザ光の放電方向のビームサイズと同じか、それより小さくする。 （もっと読む）

【課題】 共振器内に二対の電極を配置して交互発振するレーザー装置において、予備電離源の電極間の絶縁構造を上記電極間の絶縁部の空間内に収められるようにすること。
【解決手段】 主放電電極である電極３０ａ〜３０ｄに隣接して配置される予備電離電極は、片端封止のアルミナセラミックのパイプ４０ａ、４０ｂと、予備電離内電極４１ａ、４１ｂとプレート形状の予備電離外電極４２ａ、４２ｂで構成され、パイプ４０ａ、４０ｂは分割され片端封止されている。予備電離外電極４２ａ、４２ｂはグランド電位であり、予備電離内電極４１ａ、４１ｂと予備電離外電極４２ａ、４２ｂ間に高電圧パルスを印加してコロナ放電を発生させる。パイプ４０ａ、４０ｂを分割し、片端を封止しているので、予備電離内電極４１ａ、４１ｂ間の絶縁を確保することができる。分割し片端封止する代わりに、パイプを連結し例えば中央部分を封止するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】ピーキングコンデンサおよび高電圧印加部分を効率的に冷却することができ、高繰り返し化が可能な放電励起ガスレーザ装置の冷却機構を提供すること。
【解決手段】レーザチャンバ１の中には、アノードとカソード電極２ａ，２ｂが設けられ、高電圧供給部材３はカソード電極２ｂとピーキングコンデンサ４の一方の端子と電気的に接続され、ピーキングコンデンサ４の他方の端子は水冷ジャケット６が取り付けられた通電部材８を介して接地電位のレーザチャンバ１に接続されている。電圧供給部材３にはセラミックス製の冷却パイプ１１が取り付けられ、このセラミックス製冷却パイプ１１に冷媒流して、高電圧側を冷却する。上記冷却パイプ１１として、窒化アルミなどの高絶縁、高熱伝導率のセラミックス製部材を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】約４，０００Ｈｚ又はそれ以上のパルス繰返し率及び約５ｍＪ以上のパルスエネルギーで高品質パルスレーザ光を生成することができるシード光注入モジュール放電ガスレーザシステムを提供する。
【解決手段】２つの別個の放電室を備え、その一方は、第２の放電室で増幅される超狭帯域シード光を生成する主発振器の一部である。２つの放電室は別個に制御することができ、主発振器内の波長パラメータの最適化及び増幅室内のパルスエネルギーパラメータの最適化を可能にする。ＡｒＦレーザエキシマレーザシステムの好適な実施形態は、ＭＯＰＡとして構成され、特に集積回路リソグラフィの光源として使用されるように設計される。 （もっと読む）

【課題】発振効率を低下させることなく高繰返しの発振が可能な狭帯域化放電励起エキシマレーザ装置を提供すること。
【解決手段】ＬＭＮ３を有し、レーザチャンバ１１と該レーザチャンバ内部に、所定間隔離間して対向する一対の電極を備えた狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０において、電極幅を１〜２ｍｍとし、電極幅と間隔のアスペクト比（電極の幅／電極間距離）を０．２５〜０．１２５とし、ＬＮＭ３のスリット幅を２ｍｍ以下とする。これにより、レーザチャンバの構造などのその他のパラメータに依存することなく、放電幅を設計どおりの所望の値にすることができ、また、狭帯域効率を低下させることなく、ガス流を生成するファンを駆動するモータへ供給する電力を増大させることなく、安定した１０ｋＨｚ以上の高繰返しの発振が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
繰り返し周波数の増加に伴い発生する可飽和リアクトルのコアの過度の発熱を抑制し、磁気パルス圧縮器の高繰り返し運転を可能にする。
【解決手段】
磁気パルス圧縮回路１０の最終段の磁気スイッチ部２に、磁気圧縮用可飽和リアクトル（圧縮用リアクトル）２１-nと回路切替用可飽和リアクトル（切替用リアクトル）２２-nとが直列接続された２つの直列回路が互いに並列に接続されている並列回路を備える。切替制御部３は、パルス発振毎に切替用リアクトル２２-1、２２-2の磁気リセット量が交互にゼロおよび最大になるように、すなわち切替用リアクトル２２-1、２２-2が交互にオン・オフするように切替制御する。
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【課題】発振周波数を高くした場合でも、光学系の調整が容易で、かつ放電領域で発生する衝撃波の影響が小さいガス放電型レーザ装置を提供する。
【解決手段】それぞれレーザガスが封入された２つのチャンバ１００，２００と、チャンバ１００内に対向配置された第１の放電用の電極１０ａ，１０ｂと、チャンバ２００内にその第１の電極とほぼ同軸上に対向配置された第２の放電用の電極２０ａ，２０ｂと、その２対の電極を挟むように対向配置された出力ミラーＯＣ及び狭帯域化モジュールＬＮＭよりなるレーザ共振器と、その２対の電極を交互に放電させる放電回路部１，２とを備える。 （もっと読む）

【課題】十分な繰り返し周波数を持つ所定波長のパルスレーザ光を得る。
【解決手段】固体レーザ光源１６から射出された所定波長のパルスレーザ光ＬＢの時間的な幅が、調整器１７によって実質的に拡張される。この拡張後のパルスレーザ光は、光出力増幅器１８の放電時間との整合性、パルスエネルギ、スペクトル狭帯域化といった点から、満足しなければならないパルスの時間的な幅に近づく。そして、その拡張後のパルスレーザ光がシード光として光出力増幅器１８に入射され、増幅される。この結果、要求されるレベルにパルスの時間的な幅が拡張され、これに応じてスペクトル幅（波長幅）が狭帯域化された、十分な繰り返し周波数を持つ所定波長のパルスレーザ光が、光出力増幅器１８から射出されることとなる。 （もっと読む）

【課題】高信頼性でモジュラ製造品質の狭帯域高繰り返しレートＦ₂レーザを提供する。
【解決手段】１０００乃至２０００Ｈｚ又はそれ以上の範囲において、１０ｍＪのレーザパルスを作り出すことができる、高信頼性で、モジュラ製造品質のエキシマレーザを提供する。交換可能なモジュールには、レーザチャンバ、３つのモジュールを含むパルスパワーシステム、線狭帯域化モジュール及び出力カプラモジュールからなる光学共振器、ウェーブメータモジュール、電気的制御モジュール、冷却水モジュール、及びガス制御モジュールを含む。 （もっと読む）

【課題】 レンズ材料やその表面への負荷が少なく、かつ、ミラーもしくはレンズスキャンの制御系を簡略にすることができ、かつエキシマレーザ の寿命が十分長くなって量産の使用に耐えるエキシマレーザ 発振装置及び発振方法並びに露光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 Ｋｒ，Ａｒ，Ｎｅから選ばれた１種以上の不活性ガスとＦ₂ガスとの混合ガスからなるレーザガスを収納するためのレーザ管２からなるレーザチャンバ２０と、該レーザチャンバ２０を挟んで設けられた一対の反射鏡５，６からなる光共振器とを有するエキシマレーザ 発振装置において、レーザガスを収容するためのレーザチャンバ２０の内面を、２４８ｎｍ，１９３ｎｍ，１５７ｎｍといった所望の波長の光に対する無反射面とするとともに、該内面の最表面をフッ化物で構成し、レーザチャンバ２０内のレーザガスを励起するためのマイクロ波の導入手段（導波管１）を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）