【課題】従来の制御より高速なレーザガス圧制御を可能とするレーザガス圧制御装置の提供。
【解決手段】レーザ発振器１０は、ガス容器１２と、ガス容器１２に供給すべきレーザガスのガス流量を、開度の変化により調節可能なＣＶ１４と、ＣＶ１４の１次側のガス圧を検出する１次ガス圧センサ１６と、ＣＶ１４の２次側のガス圧を検出する２次ガス圧センサ１８と、ガス容器１２からガスを吸引排気する真空ポンプ２０と、ガス容器１２内のガス圧を制御するガス圧制御部２２と、データテーブル記憶部２４とを備える。データテーブル記憶部２４は、ＣＶ差圧と、ＣＶ１４の開度と、ガス容器１２への供給ガス流量との関係を記憶した第１のデータテーブルと、ＣＶ１４の２次側のガス圧と、ガス容器１２からの排気ガス流量との関係を記憶した第２のテーブルデータとを記憶する。 （もっと読む）

【課題】複数の電源がある場合にベース放電および最大注入電力を短時間で調整する。
【解決手段】複数の放電管（２１、２２）と対応する複数の電極（２３、２４）とを有するガスレーザ発振器における複数のレーザ電源（１１、１２）の指令装置（１０）は、複数のレーザ電源の指令を作成する指令作成部（５）と、作成された指令をバイアス指令、出力指令、オフセット指令およびゲイン指令とに分離する分離部（３６）とを具備し、バイアス指令および出力指令は複数のレーザ電源に対して共通であり、オフセット指令およびゲイン指令は複数のレーザ電源のそれぞれの放電管に少なくとも応じて定まり、さらに、複数のレーザ電源に対して共通のバイアス指令および出力指令を複数のレーザ電源に送信すると共に、複数のレーザ電源の放電管に少なくとも応じて定まるオフセット指令およびゲイン指令を複数のレーザ電源に対応してシリアルで送信する送信部（３７）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも入射平面と射出平面のどちらか一方の平面がＣａＦ₂ 結晶の（１１１）結晶面に平行であり、入射平面から入射したレーザ光が［１１１］軸と［００１］軸を含む面内で、［１１１］軸と［００１］軸との間、［１１１］軸と［０１０］軸を含む面内で、［１１１］軸と［０１０］軸との間、又は、［１１１］軸と［１００］軸を含む面内で、［１１１］軸と［１００］軸との間、を通過し、射出平面から射出されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】送風機によるガス循環冷却を行わないガスレーザ発振装置において、スラブ方式でなく、安定型共振器によるレーザビーム生成実現のためのガス冷却手段の開発が大きな課題となっていた。
【解決手段】レーザガスを励起する放電手段と、レーザガスを内部に配置して放電を行う放電管１と、放電管１を光軸方向に配置し対向する全反射鏡６、部分反射鏡７によって挟むことで形成された光共振器と、放電管１の円周上に複数個の電磁石１２を備え、放電管１に接する冷媒手段をもち、光軸と一致した回転軸を中心として回転可能な構造とし、電磁石１２と、冷媒を回転させる駆動手段を設け、この複数個の電磁石１２を順番にＯＮ・ＯＦＦすることにより放電管１内部のガス分子が移動し、冷媒により冷却される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、循環ポンプを使用せず、厚板切断に優れ、メンテナンス性にも優れたガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】内部にレーザガスを配置した少なくとも２つの放電管２５，２６と、放電管２５，２６に設けた電極２１〜２４と、電極２１〜２４に放電の電力を供給する高圧電源３１，３２を備え、放電管２５，２６をレーザ光の進行方向に並列に並べ、放電管２５，２６の間にレーザガスを通す流路として平行平板４１を設け、平行平板４１の内部に冷媒を配置するとともに高圧電源３１，３２は放電管２５，２６の電極２１〜２４を交互に放電する。 （もっと読む）

【課題】送風機や熱交換器など光共振器構成部分以外の構成を最小限とし、かつ最適なフレネル数を得て最適なレーザビームを取り出すことができるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】導波路型共振器におけるフレネル数が１以上となる構成を持つスラブレーザ共振器１を複数備え、複数のスラブレーザ共振器１ａ〜１ｄを積層し、これら複数のスラブレーザ共振器１ａ〜１ｄのレーザ射出口を隣り合うように配置したものである。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光が発生する真空容器と空洞部とに圧力調整器を接続し、真空容器と空洞部との圧力を略同一に調整することにより、透過型光学部品の歪を抑圧するレーザ装置を提供する。
【解決手段】 レーザ光の励起により真空容器１の圧力が上昇すると、真空容器１に接続されたシリンダー１４の右室１４ｂの圧力が上昇する。するとピストン１５に押圧力が加わり、シリンダー１４の左室１４ａ側へ移動する。その結果、左室１４ａに接続されたブロック４の内部の空洞部２９の圧力が上昇する一方、真空容器１の圧力は低下する。最終的に、真空容器１の圧力と空洞部２９の圧力とがほぼ等しくなると、ピストン１５は停止する。 （もっと読む）

【課題】外気温によらず運転開始直後よりミラー角度を一定に保つことで、常に高品質のレーザビームを生成し、安定したレーザ加工を実現する。
【解決手段】レーザガスを励起する放電手段と、前記放電手段で励起されたレーザガスを挟むように対向配置した部分反射鏡と全反射鏡と、前記部分反射鏡または全反射鏡を保持する調整板と、前記調整板を保持するフランジと、前記調整板に設けて前記調整板と前記フランジの距離を保つ支点と、前記調整板と前記フランジの間に配置して互いに引き合う方向に付勢するバネと、前記調整板に係合して前記調整板と前記フランジの距離を調整可能な角度調整ネジを備え、前記角度調整ネジの先端部分を内部に嵌入する穴を有した角度調整ネジ受けを前記角度調整ネジの先端と対応する前記フランジの箇所に設けたものである。 （もっと読む）

【課題】安定した高出力の軸対称偏光ビームを発生できるレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、ミラー２，４からなる共振器と、共振器内部に配置され、光増幅作用を有するレーザ媒質１と、共振器内部に配置され、共振器の光軸を折り曲げる折り曲げミラー３などで構成される。共振器内でのレーザ光は、互いに直交関係にあるＳ偏光およびＰ偏光を有する。折り曲げミラー３の反射面には、Ｐ偏光と比べてＳ偏光に対してより高い反射率を有するＳ偏光優先反射領域７と、Ｓ偏光と比べてＰ偏光に対してより高い反射率を有するＰ偏光優先反射領域８とが設けられ、ラジアル偏光またはアジマス偏光を有するビームを発生する。 （もっと読む）

【課題】高出力が可能なＣＯ_２ガスなどを増幅媒体とする増幅器を用いた場合でも、この増幅器に対するマスタオシレータの取り扱いが容易で且つ高効率な増幅が可能なレーザ装置および極端紫外光光源装置を提供する。
【解決手段】極端紫外光光源装置は、１つ以上の縦モードレーザ光を出力する半導体レーザ６１と、１つ以上の増幅波長帯域Ｓ１〜Ｓ７に含まれる波長の縦モードレーザ光を増幅するプリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡと、半導体レーザ６１から出力される縦モードレーザ光の波長が増幅波長帯域Ｓ１〜Ｓ７に含まれるように半導体レーザ６１を制御する縦モードコントローラ４および縦モードアクチュエータ５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】大型化および複雑化することなしに、レーザの光強度分布データを測定する。
【解決手段】レーザ加工機（１００）のレーザ発振器（２）は、放電作用によりレーザガスを励起する放電管（９）と、部分透過性を有していて放電管内においてレーザを増幅するリア鏡（６）および出力鏡（８）と、リア鏡の後方に配置された部分反射鏡（１１）と、部分反射鏡により反射されたレーザおよび部分反射鏡を通過したレーザのうちの一方の出力を検出するレーザ検出部（５）と、部分反射鏡により反射されたレーザおよび部分反射鏡を通過したレーザのうちの他方を受光して受光面（１２ａ）におけるレーザの光強度分布データを測定するプロファイラ（１２）とを含む。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザ発振器１は、レーザガスのガス通路１２の途中に流路切り換え手段２７を備えている。レーザ光Ｌを発振しない状態では流路切り換え手段２７の流路切り換え板３５によりレーザガスがフィルタ３２を通過するようにガス通路１２を循環させる。そのため、レーザガス中のパーティクル３０はフィルタ３２によって効率的に捕捉される。他方、レーザ光Ｌを発振しない時には、図３に示すように流路切り換え板３５によりレーザガスがフィルタ３２を通過しないようにしてガス通路１２内を循環させる。
【効果】 レーザガス中のパーティクル３０を効率的に捕捉することができる。 （もっと読む）

【課題】長さ方向に均一な密度の励起状態を実現し、連続発振できるエキシマレーザ装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係るエキシマレーザ装置１００は、スラブ型炭酸ガスレーザ発振器１０と、光軸上にエキシマガスを満たしたレーザ共振器と、光軸に略直交する方向から、該光軸に沿うように、スラブ型炭酸ガスレーザ１０からのレーザ光を線状に集光させるシリンドリカルレンズ１１とを備える。また、エキシマガスを、光軸とスラブ型炭酸ガスレーザ発振器１０からのレーザ光とに対して、略直交する方向に流す。 （もっと読む）

【課題】 偏光純度を高くすると共に、強い紫外線（特にＡｒＦ）レーザ光照射による劣化を抑制するフッ化カルシウム結晶を用いたブリュースタウィンドウやビームエキスパンダプリズム等のガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも入射平面と射出平面のどちらか一方の平面がＣａＦ₂ 結晶の（１１１）結晶面に平行であり、入射平面から入射したレーザ光が［１１１］軸と、［１１１］軸を中心として［００１］軸を回転させた軌跡内の第１の方位軸との間で、且つ、［１１１］軸と、前記第１の方位軸とを含む面、［１１１］軸と、［１１１］軸を中心として［０１０］軸を回転させた軌跡内の第２の方位軸との間で、且つ、［１１１］軸と、前記第２の方位軸とを含む面、又は、［１１１］軸と、［１１１］軸を中心として［１００］軸を回転させた軌跡内の第３の方位軸との間で、且つ、［１１１］軸と、前記第３の方位軸とを含む面、を通過し、射出平面から射出されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い解像度と十分な焦点深度とを両立させる走査露光装置を提供する。
【解決手段】本発明の走査露光装置は、パルス発振される露光光の中心波長を変更可能な光源を有し、前記露光光のパルス発振と同期させて前記中心波長を周期的に変化させつつ帯状の露光光で基板を走査露光する。走査露光装置は、目標中心波長を基準として短波長側の波長帯域、長波長側の波長帯域において露光光の波長ごとの光強度を走査方向で積分した積分値をそれぞれSws、Swlとしたとき、Sws及びSwlが、０＜｜（Sws−Swl）／（Sws＋Swl）｜≦０．１を満たすように、光源を制御する制御器を備える。 （もっと読む）

【課題】冷却水が低温の場合にも、レーザガスを素早く所望の温度に近付けることができるレーザガス装置を提供する。
【解決手段】ガス流路２０には、第１熱交換器１０ａ、第２熱交換器１０ｂをそれぞれ迂回するガス迂回路２５ａ、２５ｂが設けられ、さらにガス迂回路上にガス流量調整弁４０ａ、４０ｂがそれぞれ設けられる。ガス迂回路２５ａ、２５ｂを経たガスは熱交換されていないので、流量調整弁４０ａ、４０ｂが開くと、その開き方に応じて、放電管３に入るガス温度は上昇する。制御部８０は、ガス温度測定器４１の情報に基づいて、放電管３に入るレーザガスが最適温度になるように、ガス流量調整弁４０ａ、４０ｂを開閉させる。 （もっと読む）

【課題】光学的なロスを増大させることなく、効果的に出力レーザ光のロングパルス化を図ることができ、所望の強度の出力レーザ光を得ることができる注入同期式放電励起レーザ装置及び注入同期式放電励起レーザ装置における同期制御方法を提供する。
【解決手段】発振段レーザ１０と増幅段レーザ２０とを備える注入同期式放電励起レーザ装置を設ける。増幅段レーザ２０のレーザチャンバ２１は、１つの光共振器と、該光共振器の光軸上に配置された複数の電極ペアである電極２ａ、２ｂと、上記電極ペアの放電タイミングを制御する同期コントローラ３５とを備える。また、同期コントローラ３５は、発振段レーザ１０から出力されたシード光が増幅段レーザ２０に注入されるのと同期して、電極２ａを放電させて増幅発振させ、電極２ａの放電から所定の遅延時間後、電極２ａによる増幅発振が終了する前に、上記電極２ｂを放電させて、増幅発振させる。 （もっと読む）

【課題】約４，０００Ｈｚ又はそれ以上のパルス繰返し率及び約５ｍＪ以上のパルスエネルギーで高品質パルスレーザ光を生成することができるシード光注入モジュール放電ガスレーザシステムを提供する。
【解決手段】２つの別個の放電室を備え、その一方は、第２の放電室で増幅される超狭帯域シード光を生成する主発振器の一部である。２つの放電室は別個に制御することができ、主発振器内の波長パラメータの最適化及び増幅室内のパルスエネルギーパラメータの最適化を可能にする。ＡｒＦレーザエキシマレーザシステムの好適な実施形態は、ＭＯＰＡとして構成され、特に集積回路リソグラフィの光源として使用されるように設計される。 （もっと読む）

【課題】 パージガスの温度勾配によるビームダイバージェンスの悪化を改善し、安定なレーザ性能をもつ露光用レーザ装置を提供する。
【解決手段】 露光用レーザ装置１において、スリット部材１０は、レーザ光Ｌのビームサイズを形成するビーム開口１１と、パージガスＰＧを通過させる通気口１２と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、ＯＰＳ５０のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御し、出力レーザ光のコヒーレンスが所望の値になるように制御する。 （もっと読む）