Fターム[5F157CF24]の内容
Fターム[5F157CF24]に分類される特許
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シリコン電極アセンブリ表面から汚染を除去するための洗浄方法
電極アセンブリ結合剤の可能性のある化学腐食を制御し、又は無くするシリコン電極アセンブリ汚染除去洗浄方法及び溶液は、フッ化アンモニウム、過酸化水素、酢酸、場合によっては酢酸アンモニウム、及び脱イオン水を含む。 (もっと読む)
内側部材にコーティングを有する超臨界流体処理システム及びそのコーティングを用いる方法
基板(105)を処理する超臨界流体を用いる処理システム(100)は、コーティングを有する内側部材を有すると開示されている。例えば、内側部材におけるコーティングは処理中の汚染を低減することができる。更に、その処理システムを用いる方法について開示されている。
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