【課題】コアが、インナクラッド、アウタクラッド、被覆、の何れに対しても、その断面の幾何的中心に位置しないダブルクラッドファイバの調心は、コア調心、インナクラッド調心を繰り返して調心する必要があり、調心に時間を要していた。
【解決手段】ダブルクラッドファイバ１０のコア調心後、コア１１とダブルクラッドファイバ１０回転機構の中心を一致させ、コア１１を中心にダブルクラッドファイバ１０を回転してインナクラッド調心を行う。 （もっと読む）

【課題】 高出力レーザ光共振器において、発振開始直後からの適正なアライメント保持が可能な光共振器用自動アライメント装置を提供すること。
【解決手段】 光共振器１の共振器ミラー２，３からの出力ビーム６の一部を取り出すビームスプリッタ２５と、前記ビームスプリッタ２５で取り出したビーム２６を、前記出力ビーム６を取り出した出力結合部におけるビーム像２３として像転送するイメージリレー光学系３０と、前記イメージリレー光学系３０で像転送したビーム像２３を入射させる受光部を有する４分割光検出器２１と、前記４分割光検出器２１に入射させたビーム像２３に基づいて前記受光部の分割された領域におけるビーム強度信号が均一又は一定の比になるように、前記共振器ミラー２，３の角度を適正にアライメント補正する補正部２８とを備えさせる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の安定性を向上する。
【解決手段】光学装置は、レーザ光のビーム伝播経路上に配置された光学モジュールと、前記ビーム伝播経路上に配置され、前記レーザ光のビーム伝播経路を調節するアクチュエータ部と、前記ビーム伝播経路上に配置され、前記ビーム伝播経路を検出する計測部と、 前記計測部によって検出された前記レーザ光のビーム伝播経路の検出結果に基づいて、前記アクチュエータ部を制御する制御部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光軸に対する波長変換素子の位置および角度を調整してレーザ光の出力を高めることができるようにする。
【解決手段】波長変換素子３５を保持する波長変換素子ホルダ５８を、基台３８に対して、波長変換素子の分極反転領域の深さ方向に移動可能に、且つ光軸方向に対して略直交する軸周りに回動可能に設ける。特に基台に、光軸方向に対して直交する平面である第１の基準面９１，９２を設けると共に、波長変換素子ホルダに、第１の基準面に当接する軸部９３，９４を、光軸方向および分極反転領域の深さ方向に対して略直交する方向に設ける。 （もっと読む）

【課題】組み付けや位置調整の際にレーザチップや集光レンズが損傷することを防止することができるようにする。
【解決手段】半導体レーザ３１のレーザチップ４１から出力されたレーザ光を集光するＦＡＣレンズ３２およびロッドレンズ３３を保持する集光レンズホルダ５４に、半導体レーザ３１のマウント部材５２に当接してレーザチップとの接触を防止する突出部７７を形成する。特に突出部を、レーザチップを挟んでその両側に位置するマウント部材の部分にそれぞれ当接するように１対設ける。 （もっと読む）

【課題】多数のモジュールから構成され、モジュール間の光路に光軸調整個所を有する、多段増幅式レーザーシステムなどのレーザーシステムの光軸調整作業を自動化する。
【解決手段】レーザーシステムにおいて、光軸調整個所５１，５２より後段のモジュールからの出力光の強度を検出し、強度の変化に応じて該光軸調整個所５１，５２を調整するフィードバックを設ける。さらにこれらのフィードバック制御をファジイ推論またはメタヒューリスティックなアルゴリズムを用いた制御で行う。レーザーシステムにおいて、複数の光軸調整個所５１，５２があって２つの光軸調整が独立に行えない場合は、フィードバックループの伝達関数が明確に求められないので、ファジイ推論等を用いた制御により、各光軸調整を独立に実施する。 （もっと読む）

【課題】ガスレンズ効果の影響を低減でき、安定したビーム径および光軸を持つレーザ光を供給できるガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】ガスレーザ装置は、レーザ発振器１と、レーザ発振器１の後段に縦列配置された１つ以上のレーザ増幅器２，１２とを備え、レーザ発振器１は、レーザ光を取り出すための部分反射鏡４を有し、レーザ増幅器２，１２は、レーザ媒質を封止してレーザ光の通過を許容するための全透過鏡８，１３を有し、レーザ発振器１の部分反射鏡４とレーザ増幅器２の全透過鏡８との間に、外気から隔離された空間を形成するためのチャンバー９をさらに備え、チャンバー空間には不活性ガスが封入されている。 （もっと読む）

【課題】増幅利得が高く、かつ簡便な構成で寄生発振を抑制できるガスレーザ増幅装置およびその光軸調整方法を提供する。
【解決手段】ガスレーザ増幅装置は、ＣＯ_２等のレーザガスを封入するための筐体１と、筐体１内に設けられ、レーザガスを励起するための一対の放電電極１５，１６と、筐体１内に設けられ、レーザガスによって増幅されたレーザ光を反射するためのミラー４，５と、筐体１に設けられ、筐体内部と外部の間でレーザ光の通過を許容するためのウインドウ部材２，３などで構成される。ミラー４は、放電領域内を通過した光を反射させて、再び同じ放電領域内へ導くように設置された折り返しミラーである。ミラー５は、ミラー４によって折り返された光を反射させて、再び同じ放電領域内へ導くように設置された折り返しミラーである。ミラー４，５は、互いに非平行に設置される。 （もっと読む）

【課題】調整の容易化、組立作業の簡略化を図ることのできる平面導波路型レーザ装置および平面導波路型レーザ装置の製造方法を得る。
【解決手段】導波路構造を有するレーザ媒質（３ｃ）を含む導波路型固体レーザ素子（３）と、導波路構造を有する非線形材料（４ｃ）を含む導波路型光学素子（４）と、両素子（３、４）を実装するために一体構成されたヒートシンク（１）とを備え、導波路型固体レーザ素子（３）の励起光入射側の端面方向を規定する第１の当て面および第２の当て面と、導波路型固体レーザ素子の励起光入射側の端面方向と平行になるように導波路型光学素子（４）のレーザ光出射側の端面方向を規定する第３の当て面および第４の当て面とをヒートシンク（１）上に形成するステップと、当て面を用いて導波路型固体レーザ素子および導波路型光学素子を配置するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】ガス冷却式のＹＡＧレーザ発振装置において、チャンバー内の温度を制御して、レーザ発振装置の光学特性を向上させる。
【解決手段】ＹＡＧレーザ発振装置は、レーザ発振器１０、ガス給排装置６２、温度制御手段７０、および、応力吸収手段８０を備えている。レーザ発振器１０は、筐体１２内に、ＹＡＧロッド３０等を収納したチャンバー３６、および、出力ミラー４０等を有している。応力吸収手段８０は、筐体１２に設けられた開閉部１６が閉じられた状態で開閉部１６の内面とチャンバー３６の外面とに接触するように配置されて開閉部１６から受ける力を吸収する。温度制御手段７０は、チャンバー３６の温度を測定する温度センサ７２、開閉部１６に取り付けられていて発熱または吸熱するペルチェユニット７４、および、ペルチェユニット７４の発熱または吸熱を制御する温度制御部７６を有している。 （もっと読む）

【課題】波長変換素子の出射側表面に固体レーザ素子で発生した基本波を反射し光共振器を形成する反射部が設けられているため、波長変換素子が固体レーザ素子に接合される前の段階では基本波を共振し増幅させることができない。そのため、固体レーザ素子から出射する光の出力が小さく、半導体レーザと固体レーザ素子との相対位置を適切に調整することができないという問題があった。この発明は、上記のような問題点を解決するために、波長変換素子が固体レーザ素子に接合される前の段階でも、半導体レーザと固体レーザ素子との相対位置を適切に調整して接合できるようにする。
【解決手段】固体レーザ素子の第１の反射部と対向し、固体レーザ素子から出射された基本波の一部を透過し他の一部を反射する第２の反射部を設け、当該第２の反射部を透過した光の出力が所定値以上になるような相対位置で、半導体レーザと固体レーザ素子とを接合するようにした。 （もっと読む）

【課題】 光源の性能を最適化するための光学的位置調整が簡単で、輝度が高く発光効率の高い光源装置を提供する。
【解決手段】 励起光源として半導体発光素子を備えた半導体光源を具備しかつ該励起光を吸収して発光する発光媒質を備え、該発光媒質の発光の一部を出力光として出力するレーザ光源装置において、該励起光を共振させてその光強度を増強する光路Ａを構成する複数の反射要素からなる光共振器Ａと、該発光媒質の発光を共振させてその光強度を増強する光路Ｂを構成する複数の反射要素からなる光共振器Ｂを、該光路Ａと該光路Ｂを一部共有させて備え、且つ、該半導体発光素子を該光共振器Ａ内の該光路共有部に、該発光媒質を該光共振器Ｂ内の光路Ｂに、配置し、さらに、該光共振器Ａと該光共振器Ｂのそれぞれの反射要素のうち、互いに一つの共有する反射要素１を備え且つ該反射要素１が該出力光と該励起光を共に反射することを特徴とするレーザ光源装置。 （もっと読む）

【課題】レーザーデバイスと波長変換素子の温度を適切に制御せずにこれらの光学素子を接合すると、光学素子の位置を適切に調整することができないことから、高効率な光源を得ることがでないという問題があった。そこで、温度により大きく特性が変化する光学素子であっても高効率な光源を製造することができる光源の製造装置、及び光源の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザーデバイスと波長変換素子の温度を、それぞれ前記レーザーデバイス及び前記波長変換素子から出射される光の出力が最大出力に対して所定割合以上になる温度に保持した上で、前記波長変換素子から出射した出力が所定値以上となるように、温度が保持された前記レーザーデバイス及び前記波長変換素子を接合するようにした （もっと読む）

【課題】共振器構造の自由度を大きくし、且つ効率的なレーザ共振器を提供する。
【解決手段】本発明のレーザ共振器１０は、反射ミラー７と、その反射面との間で光共振器を形成する出力ミラー６と、前記反射ミラー７と前記出力ミラー６との間に介在して前記レーザ光の方向を変える折り返しミラー５とを備え、前記折り返しミラー５をトロイダルミラーとしたことを特徴とする。前記トロイダルミラー５の平行方向の曲率半径Ｒｈ及び垂直方向の曲率半径Ｒｖ（Ｒｈ≠Ｒｖ）は、光共振器のABCD行列が以下の式
【数２１】


を満たすように設定されている。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ放射放出プラズマの変換効率を高めることができる放射システムおよびリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】放射システムは、軌跡に沿ってターゲット材料の小滴を供給するターゲット材料源と、増幅器および光学系を含むレーザシステムとを含む。光学系は、増幅器を通過および軌跡上の第１地点を通過する第１ビームパスを確立し、かつ増幅器を通過および軌跡上の第２地点を通過する第２ビームパスを確立する。レーザシステムは、増幅器から放出された光子が軌跡上の第１地点におけるターゲット材料の小滴によって第１ビームパスに沿って反射された場合にレーザ放射の第１パルスを生成する。レーザシステムは、増幅器から放出された光子が軌跡上の第２地点におけるターゲット材料の小滴によって第２ビームパスに沿って反射された場合にレーザ放射の第２パルスを生成する。 （もっと読む）

【課題】膜付きの基板を加工する際に発生する金属粒子による集光レンズへの影響を抑制する。
【解決手段】ワークであるガラス基板上にレーザ光を照射して加工を行なうと、基板上の膜が気化し、集光レンズ付近に気化した金属粒子（イオン，蒸気）が浮遊し、この粒子が集光レンズ付近に巻き上がる。集光レンズを保持する気密型容器手段内を陽圧に維持し、この金属粒子などが気密型容器手段内に侵入するのを防止する。これによって、気密型容器手段内の集光レンズに金属粒子などが蒸着することがなくなり、集光レンズをクリーンに維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光軸の状態及びレーザ光の出力状態を容易に検査できるようにする。
【解決手段】レーザ加工装置は、レーザ光をワークに対して相対的に移動させながら照射することによってワークに所定の加工を施す。この発明は、レーザ加工装置のレーザ光の状態を検査する方法として、ワークと共に移動する受光手段を例えばワーク保持手段等の側面に設け、レーザ光状態検査時は、レーザ光の出力強度を比較的弱くして、ワークに照射される場合と同じレーザ光をワークとほぼ同じ位置に設けられたＣＣＤカメラなどの受光手段を用いて直接受光することによって、その光軸の位置及びフォーカスの大きさを画像として把握し、それに基づいて光軸ずれ及びフォーカス位置を検査できるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡明かつ低廉な構成で、和周波発生素子における光パルスの重なりを調整可能な光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置１は、パルス光を発生するレーザ光発生部１０と、発生されたパルス光を複数に並列分岐して各パルス光を各々増幅し出射する複数の光増幅器２１〜２３を備えた光増幅部２０と、これらの光増幅器から出射されたパルス光を同軸に重ね合わせて波長変換光学素子に入射させ、和周波発生により高調波を発生させる波長変換部３０とを備える。光増幅器２２，２３の出口部分には、波長変換部３０に出射されるパルス光を平行光にコリメートする光学素子５０と、波長変換部３０に対する光学素子５０の光軸方向の位置を調整設定可能な調整機構６０とが設けられる。 （もっと読む）

【課題】逆コンプトン散乱現象を利用して硬Ｘ線を生成するＸ線射出装置において、安定して硬Ｘ線を射出する。
【解決手段】第１導光部４及び第２導光部５が、平行レーザ光Ｌ１の分岐手段２への基準入射条件からのズレ量に起因する変化が対称面Ａに対して対称となるように電子加速用レーザ光Ｌ２及び衝突用レーザ光Ｌ３を導光する。 （もっと読む）

【課題】光軸の安定性が高いレーザ光増幅器を提供する。
【解決手段】このレーザ光増幅器は、レーザ媒体を収納する容器と、レーザ媒体中で放電を行うことによりレーザ媒体中にレーザ光の増幅領域を形成する１対の電極と、互いに共役な第１の点と第２の点との間の光路中に増幅領域が配置され、第１の点に入射するレーザ光が増幅領域中を少なくとも２回通過しながら増幅されて第２の点に転写されるように、レーザ光が入射する第１の点とレーザ光が出力される第２の点との間の光路を形成する光学システムとを含む。 （もっと読む）