【課題】流量センサを用いずとも、供給流路からの流量を所定の比率で分割することができ、且つ低価格化を実現できる流量比率制御装置Ａを提供する。
【解決手段】混合プロセスガスＧが流れる一つの供給パイプＰＸをその下流側で分流させた第１の分流路１ａ及び第２の分流路１ｂと、前記各分流路上にそれぞれ設けられ、且つ、導入口及び導出口を有しこれら導入出口間に各々の抵抗値と対応する差圧を発生させるとともにその抵抗値比が所定比の第１の抵抗体２ａ及び第２の抵抗体２ｂと、前記第１の分流路１ａ上にある前記第１の抵抗体２ａの下流側に設けられ該第１の分流路１ａを流れる流体の流量を制御するコントロールバルブ３と、前記第１の抵抗体２ａの導出口２ａ１の圧力値と前記第２の抵抗体２ｂの導出口２ｂ１の圧力値との差がゼロとなるように、前記コントロールバルブ３を開閉制御する制御部６と、を具備するようにした。 （もっと読む）

可動式流体輸送機（１０６）を使用して現場（１００）に流体を輸送するシステム及び方法が開示される。本方法は、センサ（５００）を使用して現場に関連するパラメータの値を特定すること、及び現場パラメータの値に基づいて流体輸送率を決定することを含む。本方法は、決定された流体輸送率で、可動式流体輸送機の位置での現場表面に流体を輸送することをさらに含む。
（もっと読む）

【課題】添加ガスを一方のサブラインに供給する前後で、メインラインから第１及び第２サブラインへ分流されるメインガスの分流比を維持できる流体制御方法を提供すること。
【解決手段】メインライン１７から第１及び第２サブライン１９，２０にメインガスを分流させてチャンバ３１に供給するときに、第２サブライン２０に添加ガスを供給する場合に、第１及び第２サブライン１９，２０からチャンバ３１に供給されるメインガスの流量を第１及び第２サブライン１９，２０の圧力に基づいて制御する流体制御方法において、添加ガスを供給されない第１サブライン１９の圧力を一定にするように、第１サブライン１９の圧力を制御しながら、第２サブライン２０に添加ガスを供給する。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】マスフローコントローラにおいて、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力、当該一次側圧力の時間変化量、及び流量設定値の少なくとも２つに基づいて変更させる。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】無駄な待ち時間を減らしつつ、流量制御の精度を向上させることができる流体分流供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローメータ８の二次側に第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを接続する。第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを流量特性に照合して、動作周期ｔのうちで弁開するパルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を決定する。そして、第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの動作周期ｔを一定にして、決定したパルスＯＮ時間に従って第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを開閉させて流量制御を行う。このとき、マスフローメータ８が測定するユニット総流量Ｑを平均したユニット平均流量Ｑｍと、第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを合計した指令総流量Ｑａ＋Ｑｂとの偏差ＱＰをゼロにするように、パルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を補正する。 （もっと読む）

医療用流体の流量制御弁を開示する。弁は入口と出口とその間の流路とを含むハウジングを含む。複数の流量制限器（５４ａ−ｃ）が流路内に配置され、流量の異なる複数の液体流を規定する。流量制御部材（４８）が流路内に配置され、第１領域または第１平面に複数の離散した開口を有し、第１平面から離間した第２領域または第２平面に少なくとも１つの開口を有する。流量制御部材は、第１平面における複数の開口のうちの１つが液体流の１つと連通して、弁を通る第１流量を規定する第１位置と、第２平面における少なくとも１つの開口のうちの１つが別の液体流と連通して、第１流量とは異なる弁を通る第２流量を規定する第２位置との間で回転させられ得る。
（もっと読む）

【課題】流量設定値の変化に対する追随速度を犠牲にすることなく、圧力変動が生じても流量変動を抑制でき、クロストークが生じ得るようなシステムにも採用できるコントローラの提供。
【解決手段】流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号から得られる流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７と、を備えたものにおいて、前記比例演算におけるゲイン値を算出するための関数を、前記流量設定値を所定量以上変化させた時点からの所定期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間とにおいて異ならせた。 （もっと読む）

【課題】さらなる微細化に対応でき、例えば信号流路の流量をゼロとして流量の制御及び調節が可能なマイクロバルブマイクロバルブを提供する。
【解決手段】分岐部Ｆにおいて２つに分岐する主流路の外壁面に少なくとも１つの信号生成部（１２，１３）が設けられており、信号生成部(１２，１３)は、閉空間で構成され、分岐後の主流路の一方に近く、他方に遠い位置における分岐部Ｆの近傍において閉空間から主流路に臨む開口部を有しており、信号生成部（１２，１３）の壁面には振動生成部（１２ａ，１３ａ）が設けられている構成とする。 （もっと読む）

本発明は時間ベース流量制御装置、より詳細には制御性及び制御精度に優れた機械的同期式流量制御装置に関する。本装置は、貯蔵槽１ａ、１ｂ、流入路１４、流出路２４、開閉手段３及び制御部を含む。開閉手段３は流体が通過する通路３ａを具備し、機械的サイクルをもって作動して、流出路２４が閉鎖された状態で流入路１４が開放され、また流入路１４が閉鎖された状態で流出路２４が開放されるように、機械的サイクルは通路３ａの位置変化に従って、通路３ａが流入路１４と連通して流入路１４を開放する流入路開放期間と、通路３ａが流出路２４と連通して流出路２４を開放する流出路開放期間を、位相差を置いて含む。制御部は、開閉手段３の開閉サイクル速度及び／又は開閉手段３の単位開閉サイクル当たりの貯蔵槽１ａ、１ｂに貯蔵及び放出される流体の質量又は体積を制御することで、貯蔵槽１ａ、１ｂから流出する流体の質量流量又は体積流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】 複雑なバルブ構造を用いることなく、マイクロシステムにおける流体の流れを簡便に制御する方法を提供する。
【解決手段】 マイクロシステムの微小流路を流れる流体に、刺激によりゾル−ゲル転移する物質を添加し、微小流路上の所望の箇所に刺激を与え、流体をゲル化させて流れを制御する。 （もっと読む）