【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】水量管理システムにおいて、無駄な吐水を防ぎ、容易に節水することができるようにする。
【解決手段】水量管理システム１は、一つの供給元から分岐した複数の給水管のそれぞれ流量の設定や表示を行なう設定・表示部３と、流量を検出する流量検出部４と、流量を調整する流量調整部５と、流量調整部５を制御する制御部６を有している。制御部６は、他の給水管に設けられた全ての制御部６と接続されており、他の給水管の流量検出部４が検出した流量を受信する。設定・表示部３は、ユーザによってそれぞれの給水管の流量や合計流量を設定される。設定・表示部３は、設定値をそれぞれの給水管の制御部６に送信する。制御部６は、流量が設定値になるようにそれぞれの流量調整部５を制御する。給水管毎の流量や合計流量を設定することができるので、無駄な吐水が防がれて節水することができる。 （もっと読む）

【課題】柔軟、正確、かつ汚染の無いリアルタイムの連続混合システム、また、適切な混合および処理ツールへの正確な流体流量を確実にするための正確な圧力制御を提供する。
【解決手段】流量制御装置と、流量制御装置１１０と流体連通しているコリオリ質量流量計１１２とを含む流体供給システムである。コリオリ流量計は、ＰＦＡのような高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、供給システムを高純度用途に適したものにする。コントローラ１１４は、ピンチバルブ１２０を含むことが可能な流量制御装置１１０に制御出力信号を供給し、設定点信号および流量計１１２から受け取った測定値信号に応答して、流量制御装置の出力を変化させる。 （もっと読む）

質量流量コントローラにおいてガスの温度を測定するための方法および装置が記載される。一実施形態は、別個の温度センサに頼ることなく、ガスの温度情報を質量流量コントローラの質量流量センサから引き出す。この実施形態は、実質的に一定の電流を質量流量コントローラの熱式質量流量センサに供給し、熱式質量流量センサは、ガスの質量流量レートを測定するように設計されており、現在の入力電圧を取得するために、熱式質量流量センサの入力電圧を測定する。入力電圧は、熱式質量流量センサの一対の感知要素の間の温度差によって変化する。ガスの質量流量レートに依存する現在の入力電圧の成分を計上することによって、調整入力電圧を計算し、調整入力電圧に基づいてガスの温度を計算する。 （もっと読む）

【課題】
散水を行うにあたり、あらたな水道管の配管ならびに計量器の設置を行わずにすむ水道メータを提供する。
【解決手段】
水道メータ内に散水管１２０ならびに散水用水量を測定する計量部１２２を設け、散水する水量を測定することとした。 （もっと読む）

【課題】 １基の流量制御装置によってより広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図る。
【解決手段】 オリフィス上流側圧力Ｐ₁及び又はオリフィス下流側圧力Ｐ₂を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ₁（Ｋは比例定数）又はＱｃ＝ＫＰ₂^m（Ｐ₁−Ｐ₂）ⁿ（Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、小流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記小流量域の流体を流通させ、また大流量域の流体の流量制御には他方のオリフィスへ前記大流量域の流体を切換え流通させる。 （もっと読む）

【課題】水素ガスを充填する際，充填開始時初期の急激な圧力上昇をおさえ，ノズルと充填口周辺に生じる衝撃を緩和したガス供給装置およびガス供給方法を提供すること。
【解決手段】本発明のガス供給装置は，蓄ガス器ユニット１１と，蓄ガス器ユニット１１に貯蔵されたガスを自動車タンク４へ供給する供給ライン３５とを有するものであって，供給ライン３５に設けられた流量制御弁３１と，供給ライン３５における流量制御弁３１より下流の位置に設けられたガス開閉弁３３と，供給ライン３５における流量制御弁３１より下流の位置と蓄ガス器ユニット１１の上流側の位置とを結ぶ回収ライン４２と，回収ライン４２に設けられたガス開閉弁４１と，ガス開閉弁３３，４１の開閉を制御する制御装置３６とを有し，制御装置３６は，供給ライン３５による自動車タンク４へのガス供給の前または後に，ガス開閉弁３３，４１を開いて供給ライン３５を掃気する。 （もっと読む）

【課題】制御対象値の変動を最小限に抑えつつ調節弁の切り換えを自動で行い得ると共に、調節弁のレンジを広げることなく、そのアクチュエータ部分の大型化を回避してコストダウンを図ることができる流体流通ラインの二重化自動切換制御装置を提供する。
【解決手段】通常時には、従系遮断弁１３Ｂ，１４Ｂを全閉とし、主系遮断弁１３Ａ，１４Ａを全開とした状態で、流量計１５で検出された流量１１が流量設定値１６となるよう主系調節弁１２Ａの開度を自動調節する一方、主系調節弁１２Ａに異常が発生した際には、該主系調節弁１２Ａの開度をその時点での開度に保持し、主系遮断弁１３Ａの開度を全開から全閉へ向け徐々に絞って行くと同時に、従系遮断弁１３Ｂ，１４Ｂの開度を全閉から全開とし、且つ流量計１５で検出された流量１１が流量設定値１６となるよう従系調節弁１２Ｂの開度を自動調節する。 （もっと読む）