可変容量ポンプを制御する燃料計量ユニット。燃料計量ユニットは可変容量ポンプの吐出量を計量するため可変容量ポンプと流体連通している主計量弁と、戻り燃料流を生成するため主計量弁と流体連通している圧力調節器と、再循環で発生する熱を最小に保つため可変容量ポンプの吐出量を設定することで、戻り燃料流が低レベルで実質的に一定に維持されるように、戻り燃料量を調節する、圧力調節器と可変容量ポンプとに流体連通している調節弁とを備える。
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【課題】蒸発材料の移送管において、管内の流れをスムースにするとともに、弁開閉時においても、蒸発材料の濃度が変化するのを抑制し得る蒸発材料の流量制御装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料移送管６内の途中に配置されて且つ連通用開口穴１２が形成された中段鉛直部１１ｂを有する仕切部材１１と、上記中段鉛直部の連通用開口穴に対して水平方向で移動自在に設けられて当該連通用開口穴を開閉し得る円錐状部１５ｂが先端に形成されたニードル弁体１５と、このニードル弁体を上記連通用開口穴に対して移動させてその円錐状部により当該連通用開口穴を開閉させる開閉手段１８と、上記ニードル弁体を挿通されて先端部が円錐状部の中心から外方に突出するように設けられるとともに先端部にガス放出穴１６ａが形成されたガス放出管１６と、上記ニードル弁体側と蒸発材料移送管側との間に設けられた密封用のベローズ２１とから構成したもの。 （もっと読む）

【課題】差圧式流量計において高い精度にて安定して測定を行う。
【解決手段】差圧式流量計１は、円管状の圧損チューブ１３、圧損チューブ１３に流入する液体の圧力を計測する第１圧力計１１、圧損チューブ１３から流出する液体の圧力を計測する第２圧力計１２、情報を記憶する記憶部１５、および、種々の演算を行う演算部１６を備える。差圧式流量計１では、圧損チューブ１３内においてレイノルズ数が２０００以下である層流が形成される。そして、第１圧力計１１および第２圧力計１２からの出力が演算部１６に送られて圧損チューブ１３の両端における差圧が求められ、この差圧と記憶部１５に予め記憶された流量情報に基づいて圧損チューブ１３を流れる液体の流量が求められる。差圧式流量計１では、圧損チューブ１３内の流れを確実に層流とした上で差圧を求めることにより、高い精度にて安定して流量の測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】水素ガスを充填する際，充填開始時初期の急激な圧力上昇をおさえ，ノズルと充填口周辺に生じる衝撃を緩和したガス供給装置およびガス供給方法を提供すること。
【解決手段】本発明のガス供給装置は，蓄ガス器ユニット１１と，蓄ガス器ユニット１１に貯蔵されたガスを自動車タンク４へ供給する供給ライン３５とを有するものであって，供給ライン３５に設けられた流量制御弁３１と，供給ライン３５における流量制御弁３１より下流の位置に設けられたガス開閉弁３３と，供給ライン３５における流量制御弁３１より下流の位置と蓄ガス器ユニット１１の上流側の位置とを結ぶ回収ライン４２と，回収ライン４２に設けられたガス開閉弁４１と，ガス開閉弁３３，４１の開閉を制御する制御装置３６とを有し，制御装置３６は，供給ライン３５による自動車タンク４へのガス供給の前または後に，ガス開閉弁３３，４１を開いて供給ライン３５を掃気する。 （もっと読む）

【課題】流量センサの測定値と設定ｐＨ値のイオン水を生成するために必要な流量とを比較して自動で原水の流量を調節することで利用者の手を煩わせることなく原水の流量調節ができ利便性に優れ、迅速に所望のｐＨ値のイオン水を得ることができ、原水の水圧の変化にも迅速に対応でき実用性に優れたアルカリイオン整水器及びその流量調節方法を提供することを目的とする。
【解決手段】一端が原水管２に水栓３を介して接続され他端が電解槽９に接続された給水管４と、給水管４に配設され給水管４の原水の流量を測定する流量センサ７と、を備えているアルカリイオン整水器であって、給水管４に配設された流量調節部５と、流量センサ７により測定された流量と設定されたｐＨ値のイオン水を生成するために必要な流量とを比較して流量調節部５を制御して給水管４の流量を調節する制御部１７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内等への設置、配管及び配線接続が容易であり、流体に腐食性流体を使用しても腐食が生じない流体制御装置を提供する。
【解決手段】超音波を流体中に発信する第一超音波振動子（１２）と、第一超音波振動子（１２）から発信した超音波を受信し、信号を流量計アンプ部（５８）に出力する第二超音波振動子（１３）とを有する流量計センサ部（４）と、操作圧により流体の流量を調節する調節弁（５）とを具備し、少なくとも流量計センサ部（４）と調節弁（５）とを、流体流入口（３）と流体流出口（６）を有する１つのケーシング（２）内に接続して設置する。 （もっと読む）

【課題】 流体に腐食性流体を使用しても各部品の腐食を防止でき、半導体製造装置内などへの設置および配管や配線接続が容易であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な、電気駆動による流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、電気式駆動部１１と流量制御部５からなる電動制御弁と、超音波を流体中に発信する超音波振動子１８と超音波振動子１９から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部９に出力する超音波振動子１８、１９を有する流量計センサ部４と、流量計センサ部４の信号によって流量を演算する流量計アンプ部９と、流量計アンプ部９で演算された流量値に基づいて電動制御弁の開度を調整しフィードバック制御するための制御部１０とを具備し、少なくとも流量計アンプ部９と制御部１０と電気式駆動部１１とを具備する電装モジュール７が１つのケーシング８内に設置される。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なえるもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることなく、配管後の流量の設定変更や、流路の遮断が可能であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部８２に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の圧力を制御する定流量弁５とを具備し、流量計センサ部４と定流量弁５とが、流体流入口３と流体流出口６を有する１つのケーシング２内に接続されて設置されてなる。 （もっと読む）

【課題】流体の圧力等の条件変動の影響を受けにくい流量制御を実現する。
【解決手段】 流体流制御装置５は、装置に流体を流入させるための注入口１２０と、装置から流体を流出させるための排出口１２５を含んでいる。この装置は、流体を受け取ってその流体を制御された圧力で送出するように構成された圧力調整部１５も含んでいる。更に、圧力調整部により送出された流体を受け取って、その流体を制御された流量で送出するように構成された流量制御弁調節部を更に含んでいる。更に、流体の流量を測定するように構成された流量計２５と、少なくとも流量計により測定された流量に従って少なくとも流量制御弁調節部を制御する制御装置１１５とを含んでいる。本装置は、流体を半導体処理工具に流入させるため及び／又は複数の流体を配合するために使用される。 （もっと読む）

【解決手段】制御弁（１００）は、弾性流管（１２６）、第１及び第２端部を有するプランジャ（１２４）、前記プランジャ（１２４）の第１端部に接続されているピンチ部材（５０２）を含んでいる。ピンチ部材（５０２）は、流管に隣接して配置されている。基準面（１２８）は、ピンチ部材（５０２）のほぼ反対側に配置されており、弾性管（１２６）をピンチ部材（５０２）と基準面（１２６）の間で絞り、流管を通る流体の流れを制御できるようになっている。第１ガイドばね（５１１）は、ピンチ部材（５０２）と、プランジャ（１２４）の第１端部の間に配置されており、第２ガイドばね（５１０）は、プランジャ（１２４）の第２端部に隣接して配置されている。減衰器（５５２、５５４、５５６）は、プランジャに接続されている。更に、圧力封入部材（１３０）は、流管の少なくとも一部の周りに配置されている。 （もっと読む）

流路に差圧を発生させ、半導体デバイスに用いられるガスの流量を制御する差圧式流量制御器が提供される。差圧発生要素は半導体デバイスの製造に用いられるガスの流路に差圧を発生させ、流路上のバイパスに設置される圧力センサは差圧を検出し、中央処理装置（ＣＰＵ）はガスの流量を測定および制御する。その結果、本発明は、ガスの流量を精密かつ迅速に制御することができるとともに、差圧発生要素自体のフィルタリング機能によってガスの純度を高めることができる。

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