【課題】商用電源を用いることなく流量を正確に制御すること。
【解決手段】流体が流れる管の途中に回転装置であるタービン１を設置する。タービン１は流路の高圧側と低圧側を完全に隔絶し、その圧力差を利用して回転する。発電機２は、タービン１の回転力を動力にして発電し、整流回路３で整流して蓄電素子４へと蓄積する。周波数カウンタ７は、蓄電素子４を電源に駆動し、タービンの回転数を監視する。制御回路６は、蓄電素子４を電源に駆動し、周波数カウンタ７からの情報を取り込んで目的の周波数になるように蓄電素子に流れる電流を調整することで、流路での流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】圧力補償型流量制御弁において、上流圧力が急上昇したときの流量のオーバシュートを抑制する。
【解決手段】流入口側に第一の可変オリフィス１１を、流出口側に第二の可変オリフィス１５を備え、上流の流体圧力が上昇したときに流入する流体圧力によりスプール３が初期位置から変位するのに伴って第一の可変オリフィス１１が開度を徐々に減少させる一方、第二の可変オリフィス１５が開度を徐々に増大させるようにした。予め流出口側のオリフィス１５の開度を絞っているため、上流の圧力上昇が急峻であっても所定量以上の流体が下流に流出してしまうことはない。
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【課題】柔軟、正確、かつ汚染の無いリアルタイムの連続混合システム、また、適切な混合および処理ツールへの正確な流体流量を確実にするための正確な圧力制御を提供する。
【解決手段】流量制御装置と、流量制御装置１１０と流体連通しているコリオリ質量流量計１１２とを含む流体供給システムである。コリオリ流量計は、ＰＦＡのような高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、供給システムを高純度用途に適したものにする。コントローラ１１４は、ピンチバルブ１２０を含むことが可能な流量制御装置１１０に制御出力信号を供給し、設定点信号および流量計１１２から受け取った測定値信号に応答して、流量制御装置の出力を変化させる。 （もっと読む）

【課題】流量センサ部自体にサーマルサイフォン現象対策を行わなくてもこれを防止できる集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構を提供する。
【解決手段】一対のセンサコイルからなる流量センサ１０が水平姿勢状態で本体ブロック１に設けられているマスフローコントローラ３と流体供給ラインＬの一部を構成するバルブ等とを繋ぐ繋ぎ流路ｔ_２，ｔ_３，ｔ_７，ｔ_８を有する複数の基板９１〜９４とを備えた集積タイプのマスフローコントローラにおいて、前記マスフローコントローラ３の前記基板９１〜９４への取付姿勢の変更に伴い前記流量センサ部１０においてサーマルサイフォン現象が生ずるのを回避すべく、前記基板９１〜９４とは異なる繋ぎ流路Ｎ_１，Ｎ_２を有する取替基板８０を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明には、ガス機器のガス供給経路上において、ガス漏れを防止し、ワンタッチによるＯＮ／ＯＦＦ機能及びガス使用終了時における自動閉鎖機能を有することによって利便性及び安全性が確保されたデジタルガス弁用安全装置が開示されている。
デジタルガス弁用安全装置は、ガス供給経路上において弁の周りに提供される管状胴体と、胴体内部に提供される加熱手段と、胴体内部においてガス供給経路上における加熱手段の前方及び後方にそれぞれ提供される温度センサとを含むガス流量感知部；ガス流量感知部が測定したガス流量に対する信号の入力を受けて弁の開閉を決定する制御信号を発生する制御部；及び、制御部から制御信号を受けて弁を開閉する作動部；を含む。
本発明によれば、感知されたガス流量を用いて、ガス機器のガス使用中止の有無、不注意な放置又は長時間使用の有無、及びガス漏れの有無を判断して自動で弁を閉じることによって、ガス事故を予防し、ユーザーに利便性を提供できる。 （もっと読む）

【課題】超音波を発しつつ流入水とともに流下する複数の発信器、およびその受信器を用いて流入水の流下状況からポンプ場施設への流入量を予測する装置、およびこの装置による予測結果に基きポンプ場施設の運転支援・制御を行う装置を提供すること。
【解決手段】流入幹線内の下水、工場廃水等の流入水とともに流下する複数の発信器３と、前記発信器から発信される超音波を受信する２つ以上の受信器４と、前記受信器からの信号を処理するプロセスコントローラ５とをそなえ、前記プロセスコントローラによる信号処理結果に応じて流入水量を予測する装置において、前記プロセスコントローラは、前記流入水の流下にかかる時間、および前記受信器の設置位置における水位を計測し、その計測結果により、前記流入水の流入量を予測することを特徴とする流入量予測装置、およびこの流入量予測装置の予測結果に応じて流入水を処理するポンプ場の運転を行う装置。 （もっと読む）

【課題】水処理プラントの健全な運用ができない事態を未然に回避できる水処理プラントの運転支援システムを提供することにある。
【解決手段】複数のポンプ３ａ〜３ｅにより送水プロセスを実行する水処理プラントにおいて、前記各ポンプ３ａ〜３ｅの中で稼動可能なポンプによる総送水量と、現時点から予測される送水要求量とを比較し、前記総送水量が前記送水要求量に満たない場合には、アラーム出力を実行するコントローラ２１を備えたプラント運転支援システム。 （もっと読む）

多重モード制御アルゴリズムを使用して、流体の流量を制御するためのシステムおよび方法を説明する。一実施形態は、閉ループモードから開ループモードに多重モード制御アルゴリズムを変化させるための方法を含む。本方法は、センサによって生成される少なくとも１つのセンサ指標を受信するステップを含む。多重モード制御アルゴリズムは、少なくとも１つのセンサ指標に基づいて、閾値条件が充足される場合に、閉ループモードから開ループモードに修正される。多重モード制御アルゴリズムは、設定値に従って流体の流量を制御するために、流量制御器によって使用される。 （もっと読む）

【課題】微少な吐出量を制御可能な液体流量制御装置を提供すること。
【解決手段】電気制御装置２００は、第２バルブ４を閉弁状態に維持しながら第１バルブ３を開弁することによって第１通路１３をダイアフラムポンプ２に連通し、ダイアフラムポンプ２に通電することによって第１通路１３内の液体をダイアフラムポンプ２内に吸引し、その後、第１バルブ３を閉弁することによって第１通路１３を遮断するとともにダイアフラムポンプ２への通電を停止することによってダイアフラムポンプ２を原状へ復帰可能な停止状態に維持し、第２バルブ４を開弁開始することによってダイアフラムポンプ２を原状へ復帰開始させ、ダイアフラムポンプ２の原状への復帰途中で第２バルブ４を閉弁する制御を行う。 （もっと読む）

【課題】流量センサを用いることなく、流量の制御が可能な流量制御方法及び装置を得る。
【解決手段】密閉タンク内においては、その液面高さとタンク内圧力との間に相関が存在することから、吐出ノズルからの液体流量を一定にするための液面高さ-タンク内圧力の関係式を求め、密閉タンク内に液体を封入した状態において、この液面高さ-タンク内圧力の関係式に基づいて密閉タンク内の気体圧力を制御し、吐出ノズルから吐出流量を制御する流量制御方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】流量調整弁３０の弁本体３２を、モータ３４と一体回転する回転子３５ｃが正常領域に位置する状態で進退制御して的確な流量調整を行う流量調整装置において、正常領域を規定する各ホール素子に異常状態が発生して、回転子３５ｃが正常領域から異常領域に移行した場合、回転子３５ｃを正常領域への復帰と、異常状態にあるホール素子を容易に確認する。
【解決手段】流量調整装置は、流量調整弁３０、流量調整弁３０の弁本体３２の進退を制御する制御装置２０ａ、および、回転子３５ｃの回転位置表示装置２０ｂを備え、制御装置２０ａは回転子３５ｃを異常領域から正常領域へ復帰させる手動の駆動手段２２，２３を備え、回転位置表示装置２０ｂは回転子３５ｃと各ホール素子３６ｂ，３６ｃとの現在の位置関係を表示する。 （もっと読む）

【課題】気流によって目的部位に輸送される粉末を所望濃度に保持しつつ、輸送される粉末の総量管理が容易な粉末濃度調節装置を提供する。
【解決手段】送気系統61及び濃度コントローラ59を備える。補給される粉末を輸送気体で吹飛ばす噴射ノズル52を噴射部51に設ける。吹飛ばされた粉が混じった含粉気流を一端から受入れ他端に出口53ａを有した調節筒53に、この筒内に希釈気体を混入させる希釈ノズル55,56と、含粉気流の粉末濃度を測定する濃度センサ54とを設ける。系統61は、気体源に接続された流量調節弁65、流量調節弁68を有して弁65とノズル52を接続した送気経路66、及び流量調節弁73を有して弁65とノズル55,56を接続した送気経路71を備える。コントローラ59は、輸送気体の流量と希釈気体の流量とを合計した総流量が一定に保持されるように弁65を制御し、センサ54の測定結果に基づき弁69,73を制御することで輸送気体の流量と希釈気体の流量との割合を調節して、粉末濃度を目標濃度とする。 （もっと読む）

【課題】 主観的要因を排除し、客観的な事象に基づくデータにより、制御ループ健全でない場合の要因の特定を可能とする、制御ループ診断装置を実現する。
【解決手段】 測定流体が流れる管路に調節弁が挿入され、前記測定流体の流量の測定信号を用いて制御演算を行い、演算で求めた制御信号で前記調節弁を制御する制御ループの健全性を診断する制御ループ診断装置において、
前記測定信号、前記制御信号及び前記調節弁の開度信号を監視データとして取得して保持する入力処理手段と、
この入力処理手段より前記監視データを読み出し、各監視データの変化傾向のパターンの組み合わせを監視する変化傾向監視手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 混合比を一定に保ちながら各流体の流量を可変制御可能な流体混合器と、この流体混合器に用いるに好適な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流量制御装置に、デジタル指令値（流量設定値）をアナログ電圧値またはアナログ電流値に変換して出力するアナログ出力回路、入力されたアナログ電圧またはアナログ電流値をデジタル指令値に変換して取り込むアナログ入力回路、通信インターフェースを介して与えられたデジタル指令値、またはアナログ入力回路を介してアナログ電圧またはアナログ電流値を変換して入力したデジタル指令値に応じて流量制御弁の弁開度を比例制御する制御弁駆動回路、およびデジタル指令値とアナログ入出力電圧値との対応関係を可変設定するアナログスケーリング手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図りつつ、ロータ周面に対向した磁気受渡部の設定範囲を広げることができる空気流量制御弁を提供する。
【解決手段】 トルクモータ１４を、ロータ４１を有するシャフト１５とロータ４１の外周部に配設された円筒状のコイル４２と、コイル４２で励磁されるステータ４３で構成する。ステータ４３の第１構成部材６１を、コイル４２とロータ４１間に配置される第１磁極部７１と、コイル４２の外周部に配置される第１磁気通路部７２と、第１磁気通路部７２の先端部を第１磁極部７１に連設する第１連設部７３で構成する。ステータ４３の第２構成部材６２を、コイル４２とロータ４１間に配置される第２磁極部８１と、コイル４２の外周部に配置される第２磁気通路部８２と、第２磁気通路部８２の基端部を第２磁極部８１に連設する第２連設部８３で構成する。 （もっと読む）

【課題】 真空容器内を排気し、その後ガスを導入して一定の流量とガス圧に制御するような場合に、容易に制御出来る圧力・流量コントロールシステムを提供する。
【解決手段】圧力と流量の両方をセンシングできるセンサチップと、センサチップからの信号を設定値と比較して設定圧力・流量に制御するためのコントローラと、コントローラからの制御信号により圧力・流量を制御するコンダクタンスバルブとニードルバルブとで圧力・流量自動制御システムを構成した。
センサチップは、シリコン基板を用いて製作される。基板から熱分離された薄膜上に、薄膜ヒータと１個以上の温度センサを集積化させる。温度センサを用いて圧力または流量変化による温度差を検出できる。時分割で測定すれば、圧力・流量を１個のセンサチップで測定出来る。 （もっと読む）

【課題】 配水区域の予測される需要量より、各配水場の複数の配水ポンプによる最適な水配計画を立案する。
【解決手段】 配水区域３３についての需要量予測パターンを基に、各配水場１８，２３，２８にて配水ポンプの組合せ毎に作成されるポンプ運転特性と配水区域３３の目標末端圧力パターンより、この目標末端圧力パターンを満たす配水ポンプの組合せを考慮して各配水場１８，２３，２８の配水流量パターンを作成する。次に、その各配水場１８，２３，２８の配水流量パターンより、各配水場の現在時間帯の配水流量値を抽出する。抽出された配水流量値を各配水場の配水ポンプの運転を制御する制御装置２２，２７，３２に対し送信し、各配水場１８，２３，２８の配水ポンプ２１，２６，３１の運転を制御する。 （もっと読む）

【課題】 取り扱いが容易で、汎用性の高い流量コントローラ、これに用いるレギュレータユニット、バルブユニットを提供する。
【解決手段】 流量コントローラ１０を、レギュレータ２１と第１圧力センサ２２とを有するレギュレータユニット１１と、第２圧力センサ３１と流量制御弁３２とを有するバルブユニット１２と、レギュレータユニット１１およびバルブユニット１２に対して着脱可能にして接続されてレギュレータユニット１１とバルブユニット１２とを接続する流体流路およびオリフィスを構成するオリフィスユニット１３とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】流量設定値の変化に対する追随速度を犠牲にすることなく、圧力変動が生じても流量変動を抑制でき、クロストークが生じ得るようなシステムにも採用できるコントローラの提供。
【解決手段】流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号から得られる流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７と、を備えたものにおいて、前記比例演算におけるゲイン値を算出するための関数を、前記流量設定値を所定量以上変化させた時点からの所定期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間とにおいて異ならせた。 （もっと読む）

【課題】 窒素ガスに基づいて校正をした圧力式流量制御装置を用いて窒素以外の実ガスを簡単且つ正確に測定できるようにすると共に、熱式流量制御装置（マスフローコントローラ）とも容易に取り替えできるようにする。
【解決手段】 オリフィス上流側圧力Ｐ₁とオリフィス下流側圧力Ｐ₂を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ₁（Ｋは比例定数）又はＱ_c＝ＫＰ₂^m(P₁−Ｐ₂)ⁿ（Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、入出力コンバータ２５の設定流量信号Ｑｅｒと設定入力信号Ｑｅ′との比である変換率（Ｑｅ′／Ｑｅｒ）及び流量出力信号Ｑｏｒと制御流量出力Ｑｏ′との比である変換率（Ｑｏ′／Ｑｏｒ）を調整可能な構成とする。 （もっと読む）