【課題】流量調整弁において、高精度に流量を調整することである。
【解決手段】流量調整弁１０は、設定装置２０と弁本体部３０とで構成される。設定装置２０は、流量の設定を行う設定操作盤２２と、設定された流量に対応して、弁本体部３０の調整部３４を移動させるアクチュエータ部２４を含んで構成される。弁本体部３０は、筐体部３２と、筐体部３２の内部の流量調整室４０に配置される複数の平板可動子５０と、流量調整室４０の体積を縮小拡大するための調整部３４とを含んで構成される。平板可動子５０は、中央部に支持穴５２を有し、支持穴５２の外側に第１くぼみ５６と、第１くぼみ５６の外側に第２くぼみ５８と、第２くぼみ５８から外周側に向かって放射状に延びる浅溝部としての複数の細溝６０を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁周りの隙間にゴミを噛み込んだときに、そのゴミ噛み状態を容易に解除して正常な状態に復帰させることのできるパイロット式の流量調節弁装置を提供することを目的とする。
【解決手段】パイロット式の流量調節弁装置２２において、主弁３８の開方向の最大移動量を制限する主弁３８のストッパ１０１を設けるとともに、主弁３８が最大移動量まで移動した後、パイロット弁６０を主弁３８の最大移動量に対応する位置から更に開方向に移動可能とするパイロット弁６０の移動空間Ｋを設けておき、最大流量での吐水時に主弁３８を制限以上に移動させず、パイロット弁６０だけを更に開方向に移動させてパイロット弁隙間を大とし、噛み込んだゴミを下流側へと流し出すようにする。 （もっと読む）

【課題】流量操作部の操作速度に応じて流調弁の駆動速度を設定する一方、止水操作時におけるウォータハンマーの発生を防止することができる水栓装置を提供する。
【解決手段】流調弁３３ａと、操作ハンドル２０ａの移動により吐水開始，吐水流量増加，吐水流量減少，止水を指示する流量操作部２０と、操作ハンドル２０ａの移動位置に応じて目標吐水流量を演算すると共に、移動速度に応じて流調弁３３ａの駆動速度を演算し、流調弁３３ａを駆動するコントローラ３５を備えた水栓装置１において、コントローラ３５は、吐水流量減少方向に駆動するとき、演算した駆動速度Ｖが上限駆動速度Ｖ２（Ｖ３，Ｖ４）より大きい場合には、駆動速度Ｖを上限駆動速度Ｖ２（Ｖ３，Ｖ４）に制限し、上限駆動速度Ｖ３，Ｖ４は、通常流量領域内にあるときよりも、低流量領域内にあるときの方が、小さな値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】止水状態で使用者が操作部を操作するときに、操作方向を迷うことなく意図した操作方向で必ず増流量方向に操作することができる操作が容易な水栓装置を提供する。
【解決手段】水栓本体１０と、流調弁３３ａを有する流調調整手段３３と、第１操作方向及び第２操作方向に操作可能である流量操作部２０と、流量操作部２０の操作方向及び操作量を検知し、検知した操作方向に応じて吐水温度を変化させることなく、検知した操作方向及び操作量に基づいて、吐水流量を調整するために流量調整手段３３を制御するコントローラ３５と、を備えた水栓装置１であって、コントローラ３５は、止水状態において流量操作部２０が第１操作方向及び第２操作方向のいずれかの操作方向に操作された場合、操作された操作方向を吐水流量を増加させる増流量方向に設定し、他方の操作方向を吐水流量を減少させる減流量方向に設定する。 （もっと読む）

【課題】操作者が直接開閉バルブを操作しなくても、自動で流体格納容器のバルブを操作可能にし、格納容器から排出される流体量を制御できる流量制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の流量制御装置１００は、開閉バルブを備えた流体格納容器から排出される流量を制御する流量制御装置であって、回転アクチュエータ６０と、回転アクチュエータ６０の回転軸の回転角に応じた信号を発生する回転角検出ユニット７０と、回転アクチュエータ６０の回転軸に軸結合して回転し、流体格納容器の開閉バルブの開閉バルブつまみと分離可能に結合するバルブ開閉アーム１０と、流体格納容器に残存する流体の量による感知信号を受信して基準回転角を算出し、回転角検出ユニット７０の信号を入力して実際回転角を検出し、前記基準回転角と実際回転角の誤差を補正するように回転アクチュエータ６０を駆動させる制御ユニットと、を含むことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】プロセス内の構成要素の制御をより大きな中央処理能力に対する要求を減少することを可能とする工業システムを提供する。
【解決手段】流体流量調整装置は、流体流路内で移動可能な絞り要素を有するレギュレータ本体１２と、パイプライン１４，１６、レギュレータ本体１２及び前記絞り要素１８の状態を測定してその状態を示すセンサ信号を出力する複数のセンサ２６，３０，３４と、前記複数のセンサ２６，３０，３４から出力された一又は複数のセンサ信号に応じて複数の外部プロセスコントロール装置を制御するため出力信号を生成するように構成されているプロセッサ２８と、前記複数の外部プロセスコントロール装置と通信し、また前記プロセッサ２８と通信するように構成されている通信ユニット３６とを備える。前記プロセッサ２８は、一又は複数のセンサ信号及び前記装置信号に応じてレギュレータ本体１２を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】ガス供給源からガス流路を介してガスを安定供給するガスの供給制御装置において、ガス供給系内にバッファータンク等の緩衝装置を設置することなく、ガス供給系に悪影響を及ぼす急激な圧力上昇を防止することができるガスの供給制御装置を提供する。
【解決手段】ガス流路にステッピング・モータ４駆動方式の自動開閉弁５と、この自動開閉弁５の下流側に圧力計８を設け、この圧力計８の検出圧力値Ｐと時間の経過とともに増加する任意の目標圧力値との差分に基づいて自動開閉弁５を間欠的に開閉制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各ラインの流体を任意の比率で混合させ、脈動した流体も流量制御することができ、コンパクトな構成で狭いスペースに設置可能であり、設置における配管及び配線接続が容易である流体混合装置の提供。
【解決手段】２つの供給ラインがそれぞれ第一、第二流体制御弁と、各ラインの実流量を計測し信号を出力する各流量計測器と、各流体制御弁を制御するための指令信号を出力する各制御部とを具備し、２つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる。第一流体制御弁は制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御し、第２流体制御弁は流路の開口面積を変化させて流体の流量を制御する。例えば、半導体製造用の洗浄液を得るためにフッ化水素酸または塩酸が１に対して純水が１０〜２００の比率で混合される。 （もっと読む）

【課題】給水流量調整弁の弁体を進退制御して給水流路の開口を調整することにより、給水流量を設定流量に収斂させるフィードバック制御する給水流量調整装置において、給水圧の増減等に基づく供給流量の異常の増減が発生するフィードバック制御の長時間化を抑制する。
【解決手段】給水圧の増減等に基づいて供給流量の異常の増減が発生した場合には、弁体の進退動作時間を速遅することによって給水流路の開口の閉開を早くして、給水流量調整弁を流通する給水流量を増減し、フィードバック制御の長時間化を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 騒音が小さく、消費電力の少ない流量調節装置を提供する。
【解決手段】 リニアアクチュエータ(L)の可動子(8)と連動して間欠的に直線移動する流量調節用の弁体(4)を具備し、前記弁体(4)の移動量によって流体回路の流量を調節する流量調節装置に於いて、前記可動子(8)は、該可動子(8)の移動域に沿って配列された複数の電磁石(71)(73)で引き付けられて前記間欠的に直線移動するものであり、前記電磁石(71)(73)は、前記可動子(8)に対して非接触状態に設けられていること。 （もっと読む）