【課題】可変の流体圧力が作用したとき、流体の一定の流れを維持する。
【解決手段】可変流体圧力が加えられるときに、流体の一定の流れを維持する一定流れ調整器機構であって、流体が入ってくる入口管５０６と、ハウジング５００と、入口管に面し弾性力を受けた可動仕切り５０２とを備える。断面積が可変な流体通路５１０は、入口管と可動仕切りとの間に形成される。ハウジング及び可動仕切りは、内部コンパートメントの内側に入口管の流体圧力にほぼ等しい流体圧力を確立するため、入口管と流体が連通する内部コンパートメント５０４を形成する。可動仕切りのサイズは、使用において、流体通路断面積を減じるため入口管内の流体圧力が増加したとき、仕切りが弾性力に抗して入口管側へ移動するように、及びその逆にも動作し、それによって、一定の流体流れを維持するように、入口管のサイズよりも非常に大きい。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で特別な調整を必要とせず容易に定流量化が図れる流量調整装置を提供する。
【解決手段】流路３を流れる液体の流量を設定流量に調整する流量調整装置であり、流路３に設けられるベンチュリ管１を備えている。ベンチュリ管１を通過する液体が設定流量を超える場合、キャビテーションによる気泡の発生に伴う圧力損失によりその流量が抑えられて設定流量に略定流量化されるように、ベンチュリ管１のスロート部６の流路断面積が設定されている。 （もっと読む）

【課題】可変絞り装置において、外部駆動装置を要せずに、流れの方向あるいは流量等を可変とすることである。
【解決手段】可変絞り装置１０は、筐体２０と、スリーブ４０と、揺動スプール５０とを備え、筐体２０には、第１気体圧Ｐ_Aを有する気体が供給または排出される第１接続口２８と、第２気体圧Ｐ_Bを有する気体が供給または排出される第２接続口３０とが設けられる。揺動スプール５０の左右両端に第１気体圧Ｐ_Aと第２気体圧Ｐ_Bとが与えられて、その気体圧の差である軸方向差圧によって揺動スプール５０が揺動駆動力を受け、これによって、スリーブ４０との相対位置が変化し、連通状態から遮断状態に気体の流れが変更される。この他に、スリーブ４０に対する相対的振動の変位によって左側復元バネ６０と右側復元バネ６２から揺動駆動力を受けるものとすることもできる。 （もっと読む）

【課題】流体圧ポンプが吐出する作動流体が高圧であってもエロージョンが発生することを防止し、耐久性の高い流量制御弁を提供すること。
【解決手段】
流体圧ポンプとしてのベーンポンプ１０１から吐出された作動油を油圧機器１０に導く供給通路１２に介装され、油圧機器１０に供給される作動油の流量を制御する流量制御弁１００であって、ベーンポンプ１０１から吐出された作動油の圧力に応じて移動するスプール３０を有し、ベーンポンプ１０１から吐出された作動油の一部を、ベーンポンプ１０１の吸込側に連通する戻り通路３３へと還流するスプール弁２１を備え、ベーンポンプ１０１から吐出され戻り通路３３へ環流する作動油が衝突するスプール３０の壁面に、作動油が含有する気体を気泡として溜めることが可能な環状溝５１を設けることによって作動油が衝突する衝撃を和らげる。 （もっと読む）

【課題】第１の流体を流通させる第１の流路と第２の流体を流通させる第２の流路とが合流する流路において、第１及び第２の流体のそれぞれの流量を簡易に制御する。
【解決手段】制御弁１は、流体Ｏ１，Ｏ２の各流速に応じた回転数で回転するようにそれぞれ設けられた羽根車２，３と、羽根車２，３に同軸に固定された軸体４と、ネジ孔８が形成され配管Ｔに固定された固定体５と、弁座１１及び弁体１２を有する弁６と、弁座１３及び弁体１４を有する弁７と、を備え、羽根車２，３は互いに異なる回転方向に回転するように構成され、軸体４にはネジ孔８に螺合するネジ部９が設けられている。よって、流体Ｏ１，Ｏ２の流速バランスに応じて軸体４が軸線Ｇ回りに回転され、軸体４が軸線Ｇに沿って移動され、各弁６，７の各弁開度が調整され、流体Ｏ１，Ｏ２の各流量が自動的に制御される。 （もっと読む）

流れ制御室と、ディフューザと、固定長さ止栓とを備える流れ制御装置を提供する。固定長さ止栓は、軸と、栓とを備える。軸は、その長手方向軸に沿って圧縮することができる。流れ制御装置は、流れ制御部本体に取外し可能に取り付けられたインターフェースをさらに備える。固定長さ止栓の固定部分が、インターフェースに取り付けられている。流れ制御装置は、複数の所定の長さを有する複数の固定長さ止栓をさらに備える。装着されると、固定長さ止栓のそれぞれが、流れ制御室を通過する流体にある流速を生じさせるためにディフューザに所定の距離だけ入った状態で位置決めされる。固定長さ止栓は、所定の長さに従って色分けされている。 （もっと読む）

【課題】 限られた占有スペース内で必要なコンダクタンスを精度よく求めて、所定のガス流量を安定よく、かつ、再現性よく設定することができるガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】 ガス配管２の途中に設けられる流量制限部材８に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝１５を機械加工することによってコンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路１６を形成し、その単一制限流路１６によるコンダクタンスＣと圧力差（Ｐ１−Ｐ２）とにより、プロセスチャンバー１へ供給されるガス流量Ｑを設定する。
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【課題】１次側の圧力変動だけでなく、２次側の圧力変動に対して優れた流量制御の応答性を発揮し、高精度の流量制御が可能になる液体用レギュレータを提供すること。
【解決手段】液体用レギュレータ１０は、空気等の気体による操作圧力を第１ダイアフラム１４に受けて弁開度の調整力を発生させる第１のダイアフラム室１６と、２次側から導入した液体の圧力変動を第２ダイアフラム１５に受けて弁開度の調整力を発生させる第２のダイアフラム室１７と、第１及び第２のダイアフラム室１６，１７で各々発生した調整力を受けて軸方向へスライドする軸部１２と、軸部１２と一体に動作して弁開度の調整を行う弁体１３と、第１のダイアフラム室１６と第２のダイアフラム室１７との間でお互いに干渉しないように遮断する仕切壁１１ａと、第１及び第２のダイアフラム室１６，１７間で流体の流通を遮断するベローズ２２とを具備して構成した。 （もっと読む）