【課題】テーブル体等の変形を可及的に抑制できる実用性に秀れた直動装置の提供。
【解決手段】固定子１が設けられたレール体２と、固定子１と対向配置される可動子３が設けられたテーブル体４とから成るリニアモータを備えた直動装置において、可動子３への給電ケーブルを保持するケーブル保持体６をレール体２の側方に設け、このケーブル保持体６は、円弧状に屈曲可能であって、一端部７がテーブル体４に連結され、他端部８がレール体２に連結されるＵ字形状であり、可動子３にはヒートシンク９を連結し、このヒートシンク９の放熱フィン部10はレール体２の側方にしてケーブル保持体６で囲繞される位置に設け、テーブル体４を一方向に移動させた際、放熱フィン部10がケーブル保持体６の屈曲部５の内側に近接するように構成する。 （もっと読む）

【課題】可動子周辺の温度上昇を抑えること。
【解決手段】実施形態に係るアクチュエータは、リニアモータと、仕切部材と、ファンとを備える。リニアモータは、可動子としてのシャフトを直線的に移動させる。仕切部材は、シャフトの近傍に設けられリニアモータを制御する制御基板とシャフトとの間の空間を仕切る。そして、ファンは、仕切部材よりもシャフト側に設けられ、シャフト側の空間における空気を流動させる。 （もっと読む）

【課題】可動子全体を小型化、軽量化しつつ、表面からの放熱効果を高めた可動子を備えるリニアモータを提供する。
【解決手段】本発明に係るリニアモータは、異なる磁極の永久磁石３が交互に配列された固定子２と、固定子２に対向配置され、ｘ軸に沿って直線運動する可動子２０とを備え、可動子２０が備える略直方体形状のモールド部材２１において、前面２２および後面２３と側面２４、２５が交差する角部を曲面状、例えば断面円弧状に形成した。 （もっと読む）

【課題】可動子側に冷却手段を設けることなく、可動子、固定子の双方を冷却することのできるリニアモーターを提供する。
【解決手段】リニアモーターは、複数の永久磁石１１を直列に繋ぎ合わせてなる固定子１０と、この固定子の外周側に該固定子に沿ってスライド可能に組み合わされた筒状のコイル２１Ｕ、２１Ｖ、２１Ｗを持つ可動子２０とを備える。複数の永久磁石１１を、その外径より大きな内径を有するとともに前記コイルの内径より小さな外径を有するパイプ１６に収容する。パイプ１６の少なくとも一端側には冷媒供給手段を接続して永久磁石１１の外周とパイプ１６の内周との間の空間に冷媒を導入可能にし、しかもパイプ１６の所定箇所に設けられた複数の穴１６ａを通して前記冷媒をパイプ１６外、つまりスライド中の前記コイルの内面側に噴出させることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】カスタマイズ性を高め、且つ安定してシャフトモータを冷却することができるステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｙ軸移動体４と、Ｘ軸固定子５１及びＸ軸可動子５２を有しＸ軸移動体６を駆動するためのＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸固定子３１及びＹ軸可動子３２を有しＹ軸移動体４を駆動するためのＹ軸シャフトモータ３と、Ｘ軸可動子５２及びＹ軸可動子３２における外周面の一又は複数の領域に対して選択的に着脱可能な冷却ジャケット８Ａ，９Ａと、チューブｔとを備えている。これにより、周囲に配置された部品が干渉しない領域に選択的に冷却ジャケット８Ａ，９Ａを着脱することができる。さらに、Ｘ軸シャフトモータ５及びＹ軸シャフトモータ３の発熱量に合わせて冷却ジャケット８Ａ，９Ａを取り付ける領域を適宜選択し、冷却量を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】効率よく放熱して推力低下を招かないリニアアクチュエータを提供することである。
【解決手段】上記した目的を達成するため、本発明の課題解決手段は、アウターチューブ２と、有底筒状とされて開口側をアウターチューブ２側へ向けて当該アウターチューブ２に摺動自在に挿入されるインナーチューブ３と、インナーチューブ３の底部に一端が連結されるとともに他端がインナーチューブ３から突出するロッド４と、アウターチューブ２の内周に摺接してロッド４を軸方向に案内するロッドガイド５と、複数の永久磁石６ａを備えてロッド４に保持される界磁６と、アウターチューブ２に保持されて界磁６に対向するように配置されるコイル７とを備えたリニアアクチュエータ１において、内部に冷却液を充填したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動部がコイルを備えたリニアモータを冷却する装置の冷却性能を向上させる。
【解決手段】円筒状のコイル３２を２枚の放熱板６４の各集熱部６６により覆うとともに樹脂モールド４０で覆い、集熱部６６からコイル３２の中心線から遠ざかる向きに延び出させられた放熱部６８を樹脂モールド４０の外へ突出させ、突出部７４の上下両面８０，８２にフィン７８を設ける。放熱部６８，フィン７８の移動空間を覆う状態でダクト８６を固定子１４に沿って静止して設け、ダクト８６の両端部にファンを設ける。可動子１６の移動時にコイル３２に発生する熱は集熱部６６により集められ、放熱部６８，フィン７８から放熱される。ダクト８６により周辺部材への熱の伝達が防止され、ファンによりダクト８６内に生じさせられる冷却風によってフィン７８が冷却されるとともに、ダクト８６内の高温の空気が強制的に排出される。可動子にダクトおよびファンを設けてもよい。 （もっと読む）

【課題】固定子表層部に冷媒流路を設けた場合でも、モータの効率低下を少なくすることが可能なシャフト型リニアモータを提供する。
【解決手段】パイプ内に複数の磁石を整列させてなるシャフト形状の固定子と、該固定子の周りを周回するように巻回された複数のコイルを有する可動子と、を備えたシャフト型リニアモータにおいて、パイプの内周部と磁石の外周部との間に空隙を設け、該空隙を固定子表層部の冷却用流路としたので、固定子表層部に冷媒流路を設けた場合でも、モータの効率低下を少なくできる。 （もっと読む）

【課題】全体の小型化を図り、かつ可動テーブルの温度上昇を確実に抑制する。
【解決手段】リニアスライダ１は、固定ベース２と、この固定ベース２に対し所定の移動方向に沿って個別に移動可能に配置された界磁部１７を有する複数の可動テーブル７と、固定ベース２上に設けられ、当該複数の可動テーブル７の移動を案内するガイドレール５，６と、固定ベース２に設けられるとともに、複数の可動テーブル７の移動範囲に対応するように配置したコイル１５を装着してなる複数の電機子８とを有する。 （もっと読む）

【課題】モータ全体の温度性能向上を維持しつつ、電機子側の推力密度や界磁側の発生磁界を低下することなく、軽量化を図ることができる冷媒冷却リニアモータの電機子および冷媒冷却リニアモータを提供する。
【解決手段】リニアモータは、基板２に固定された電機子巻線３と該電機子巻線３を囲むように内部空間に冷媒が供給される冷却ジャケット８とを有する電機子１を備えると共に、冷却ジャケット８は、電機子巻線３を囲み該電機子１の進行方向と互いに直交する方向の面を構成する第１冷却ジャケット８ａ、第２冷却ジャケット８ｂ、第３冷却ジャケット８ｃ、第４冷却ジャケット８ｄを対向させて筒状に連結して構成した筒状ジャケット構造を有する。 （もっと読む）

【課題】リニアモータの近傍に位置する構造体を過冷却することなく、リニアモータの発熱源であるコイル部を冷却することができる工作機械の送り軸冷却装置を提供する。
【解決手段】リニアモータのコイル部１８に設けられ、機体温度より低い温度に調節された冷却液を流通させる第１冷却液通路１７と、リニアモータのコイル部１８の周囲に設けられ、ほぼ機体温度に調節された冷却液を流通させる第２冷却液通路２１と、第１冷却液通路１７及び第２冷却液通路２１に供給する各冷却液の温度を調節し循環させる冷却液供給手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】配管を用いることによる悪影響を排除できるモータ装置を提供する。
【解決手段】固定子と可動子の一方にコイル体Ｃが設けられ、固定子と可動子の他方に発磁体が設けられる。コイル体を収容し、冷媒が装填される第１空間８１ａを有する第１収容部８１と、第１空間との間で冷媒が流動可能に装填される第２空間８２ａを有する第２収容部８２と、冷媒の流動経路に設けられ冷媒の熱を輻射により放熱する放熱装置８６と、第２空間に設けられ可動子の移動に伴う慣性力で移動して、冷媒を少なくとも第１空間から放熱装置に向けて流動させる流動装置８３とを備える。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの収容された樹脂製の収容部材の内部の温度上昇を抑制する。
【解決手段】ヨーク部６２の軸方向Ｓの上端（封止板４０側）には、放熱部材７０が固定されている。放熱部材７０は、円筒状の円筒部７１、円筒部７１の一端側で径方向外側に延出されたフランジ部７２、及び、円筒部７１の他端側で底面を構成する底部７３を備え、これらが一体的に構成されている。放熱部材７０は、底部７３の下面がヨーク部６２の上面に密着されて固定されている。放熱部材７０は、樹脂製のブラケット８２よりも熱伝導率が大きいものとされている。 （もっと読む）

【課題】３次元的に姿勢が変化する環境下で用いられた場合でも、冷却性能を従来よりも良くしたリニアモータの電機子、および当該電機子を備えるリニアモータを提供する。
【解決手段】本発明は、円筒状の中空コイル１と、中空コイル１の中空部に設けられ、一端が閉じた管路２と、管路２の他端を閉じるように設けられ、流入孔７ａと流出孔７ｂが形成されたブロック７と、管路２内に設けられたパイプ１１と、を備えるリニアモータの電機子において、流出孔７ｂは、管路２の他端側から見て管路２の中心軸Ｏ近傍に形成され、パイプ１１の一端は、パイプ１１が中空コイル１の巻回方向に回転自在となるように、流出孔７ｂと接続され、パイプ１１の他端は、管路２の他端側から見て管路２の中心軸Ｏ近傍より外径側に設けられ、パイプ１１の他端近傍に配置されるようにパイプ１１の外周に設けられた浮き袋１３を備えるとするものである。 （もっと読む）

【課題】環境温度に悪影響を及ぼすことなく所定の駆動特性が得られるモータ装置を提供する。
【解決手段】固定子６０と移動子とのいずれか一方にコイル体６３が設けられる。コイル体の第１領域を相変化冷却する第１冷却系ＣＬ１と、第１冷却系よりも高い冷却能力を有し、コイル体の第２領域をコイル体の温度分布に基づいて冷却する第２冷却系ＣＬ２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】熱侵入が発生したとしても、または、外乱、出力負荷の増大等があったとしても、超電導コイルの温度が局所的に昇温するおそれを抑え、モータ出力を良好に維持するのに有利な超電導モータ装置を提供するにある。
【解決手段】超電導モータ装置１は、磁場を発生させる超電導コイル２２と、超電導コイル２２が形成する磁場の磁束が透過する透磁ヨーク２１と、低温部により極低温状態に冷却され透磁ヨーク２１と熱的に接触して透磁ヨークを冷却する熱伝導部３３とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数のコアの各々に巻かれたコイルが千鳥状に配設されるとともに、ヒートパイプを用いて放熱が行われるリニアモータを提供する。
【解決手段】複数のコアブロック１４２の各々に嵌合した２つのボビン１７０にそれぞれコイル１４０を巻き、複数のコアブロック１４２を、隣接する２つのコアブロック１４２が対向方向において１８０度反転した姿勢となるように並べ、各連結部１５０において桁材２５２に固定し、連結する。２列の磁石列の各々に対向する複数のコアの群の各々において、複数のコアブロック１４２の配列方向において互いに隣接するもの同士に関して、コイル１４０が千鳥状にかつ対向方向に隙間を隔てて配設され、その隙間にヒートパイプ２８０の一端部を挿入し、他端部に複数のフィンを設けてコイル１４０が発する熱を伝達，放熱させる。また、フィンをカバーで覆って導風筒を形成し、ファンの送風により熱を電機子の近傍空間外へ排出する。 （もっと読む）

【課題】 モータの取付姿勢が変化してもモールド樹脂とキャンの間に位置する冷媒通路内の間隙部における冷媒の流れによる澱みの発生を抑え、冷却性能の低下を防ぐと共に、冷媒通路の変形を防止することができるコアレスリニアモータ電機子およびコアレスリニアモータを提供する。
【解決手段】 コアレスリニアモータ電機子において、電機子巻線５を構成するコイル列とコイル列の間の表面および隙間部には、モールド樹脂７を充填してあり、モールド樹脂７は、キャン２ａ、２ｂとの間に位置する隙間部に該モールド樹脂７の表面から該キャン２ａ、２ｂの内壁に向けて突出し且つ冷媒通路１３における冷媒の流れ方向に向かって流路断面積を部分的に絞る流路絞り部となる突起１１ａを形成してある。 （もっと読む）

【課題】小型化及び運動精度の高精度化を図ること。
【解決手段】固定軸３に沿って移動可能な可動子４３を有するリニアモータと、可動子を内側に挟んでガイドし、且つ固定側とされたガイドレール４２と、ガイドレールと可動子との間に介在され、可動子を移動可能に支持する支持手段４１と、を備え、支持手段が、互いの支持中心が可動子の厚み方向に直交し且つ固定軸の軸芯を含む水平面に沿って軸芯から逆方向に同距離離れるように配設され、ガイドレールのガイド面を支持する静圧パッド５１、５７と、流路５２、５７ｃを介して静圧パッドに流体を供給する供給手段とを有し、固定軸はケーブルが接続されたコイルを有し、可動子に静圧パッドが形成され、可動子が内部に永久磁石４を有し、且つケーブルを引きずることなく移動可能とされ、流路がガイドレールに設けられ、可動子と共に移動しないアクチュエータ７０を提供する。 （もっと読む）

【課題】効率的に温度調整が可能なモータ装置、ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】固定子７４Ａの冷却装置８２は、カバー部材８３と、第１材料層８４と、供給装置と、回収装置と、分離装置とを有している。冷却装置８２は、吸熱化学反応を起こす第１材料及び第２材料を用いてコイルジャケット８１を冷却するものである。具体的には、第１材料と第２材料とをコイルジャケット８１の周囲で反応させ、反応によって生じる吸熱作用によってコイルジャケット８１を冷却する。 （もっと読む）