【課題】界磁の永久磁石をヨークに固定する際の永久磁石の破損を防止できるようにする。
【解決手段】磁気的空隙を介して対向配置される界磁１と電機子２を備え、界磁１を固定子、電機子２を可動子とするリニアモータ１００であって、界磁１は、平板状の界磁ヨーク１１と、界磁ヨーク１１に交互に極性が異なるように直線状に並べて固定された複数の主極磁石１４及び補極磁石１５と、補極磁石１５の磁気的空隙側の面１５ａ、及び、２つの隣接する主極磁石１４側の面１５ｂ，１５ｂに設けられた補強部材１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】推力の変動を低減することができるリニアモータの可動子およびリニアモータを提供すること。
【解決手段】本願の開示するリニアモータ１００の可動子１１０は、電機子１１１と、主極磁石列１３０と、補極磁石１３２ａ，１３２ｂとを備える。電機子１１１は、直線状に配列された複数のティース１１６を有し、各ティース１１６にコイル１１３が巻装される。主極磁石列１３０は、電機子１１１のティース１１６側に配置され、異なる極性の主極磁石１３１ａ，１３１ｂがティース１１６の配列方向に沿って交互に配列される。補極磁石１３２ａ，１３２ｂは、主極磁石列１３０の一端または両端に隣接して配置される。 （もっと読む）

【課題】 複数のリニアモータユニットに容易にバックヨークを取り付けることができるリニアモータを提供する。
【解決手段】 ６個のリニアモータユニット３のそれぞれの磁気回路の一部を構成するバックヨーク５を６個のリニアモータユニット３を全体的に包む包囲部を備えたバックヨーク・アセンブリによって構成する。バックヨーク・アセンブリを珪素鋼板からなる磁性板をプレス加工した第１及び第２の分割アセンブリ３７Ａ，３７Ｂと５個の仕切り壁部３９とから構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、磁石にテーパ部を形成することにより、固定子の極歯の磁束発生及びコギングトルクの改善を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明による磁石構造は、磁石(12)は直線長手形状よりなり、磁石(12)の極歯(14)に面する第１長さ(B)は、前記可動子(1)に固定される磁石(12)の固定面(1b)の第２長さ(D)より短く、磁石(12)の長さ方向(A)に沿う各端部(12a,12b)には、テーパ部(12c,12d)が形成されている構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、可動子の各リングマグネットの配列を軸方向に対して傾斜させたスキュー形状としてサーボ制御の向上を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明による円筒型リニアモータは、可動子(5)の各リングマグネット(6〜6D)の端面(10)の面方向(11)は、各リングマグネット(6〜6D)の軸方向(A)に対して非直角方向に傾斜し、隣接する各リングマグネット(6〜6D)の磁化方向(G₁〜G₅)は互いに異なるようにしたスキュー形状の構成である。 （もっと読む）

【課題】固定子と可動子との相対的な位置決め、特に、可動子の軸方向での真直精度及び軸周りでの回転方向の位置精度を向上させることができ、それにより所期の推力特性を確保することができるとともに、さらにその位置決め作業を含む、リニア駆動装置の組み立て作業の作業性を高めることができるリニア駆動装置の製造方法、またリニア駆動装置を提供すること。
【解決手段】軸３３が取り付けられた可動子３がフレーム２内に配置された後、治具４をフレーム２に係合させることによって、フレーム２内の可動子３がフレーム２に対して位置決めされる。すなわち、フレーム２に対して固定子１より先に可動子３が位置決めされる。したがって、固定子１が可動子３より先にフレーム２に対して位置決めされた後において、可動子３が磁力により固定子１に吸引されて可動子３の位置決めが困難になる、という問題を回避することができる。 （もっと読む）

【課題】外側部材を従来より容易に製造することを可能として生産性の向上が図られる球面モータを提供する。
【解決手段】内部が中空の殻構造を有する略球体状のステータ（外側部材）１０の内部に略球体状のロータ（内側部材）２０が３自由度以上に相対回転可能に保持され、これらステータ１０とロータ２０とにそれぞれ磁極３１，２２が設けられた球面モータにおいて、ステータ１０をプレス加工等で製造が容易な複数の平坦な面の組み合わせからなる多面体で構成し、各面に磁極３１を配置する。 （もっと読む）

【課題】 負荷を水平Ｘ方向と垂直Ｚ方向に位置決めする小形の位置決め装置を提供する。
【解決手段】 水平Ｘ方向に駆動するリニアモータと、垂直Ｚ方向に駆動するアクチュエータを備え、アクチュエータをリニアモータの可動側に搭載して負荷をＸ、Ｚ方向に位置決めする位置決め装置において、リニアモータのＸ方向寸法をＬ、Ｚ方向寸法をＷとした場合、Ｗ／Ｌ≧２として構成した。 （もっと読む）

【課題】ステータ表面と永久磁石表面の間隔を縮小してリニアモータ効率を向上することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】永久磁石４２と駆動磁石４１の間に配置され、永久磁石４２が配置されている空間を真空雰囲気に、駆動磁石４１が配置されている空間を大気圧雰囲気に隔てる真空隔壁４５は、永久磁石４２と対向する部分が大気圧雰囲気側に凸に湾曲した断面形状を有し、永久磁石４２及び駆動磁石４１はいずれも、真空隔壁４５と所定の距離を保つように真空隔壁４５と対向する部分が湾曲している。このため、真空隔壁４５の最大たわみ量を小さくすることができ、永久磁石４２と駆動磁石４１の距離を縮めることができる。 （もっと読む）

【課題】強い磁力を有すると共に柔軟性に富む可撓性マグネット等を提供する。
【解決手段】可撓性マグネットＭは、希土類磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に表面にＮ極とＳ極を着磁した第一シート１と、フェライト系磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に前記第一シート１の裏面に固着された第二シート２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】トルクや推力を増大させることができる直動回転アクチュエータを提供する。
【解決手段】界磁とする永久磁石や鉄心歯を備えた可動子と、回転θ方向に極ピッチλの回転磁界を発生するθ電機子巻線と直動Ｘ方向に極ピッチγの進行磁界を発生するＸ電機子巻線を備えた固定子とで構成されるとともに、θ電機子巻線とＸ電機子巻線に電流を通電し、θ方向にトルク、Ｘ方向に推力を発生させて可動子の回転動作と直動動作を行う直動回転アクチュエータにおいて、可動子の界磁に、複数のＮ極を磁極表面に有する複Ｎ極円筒部２１１ａと、複数のＳ極を磁極表面に有する複Ｓ極円筒部２１１ｂを備え、複Ｎ極円筒部のＮ極と複Ｓ極円筒部のＳ極の磁極間隔がＸ方向にγ、θ方向にλとなるように複Ｎ極円筒部と複Ｓ極円筒部を配置するとともに、複Ｎ極円筒部と複Ｓ極円筒部の間にＸ方向を磁化方向とする永久磁石を配置したものである。 （もっと読む）

【課題】 磁石ホルダが熱膨張しても、磁石ホルダから一対のレールに加わる力を抑制できるリニアモータ用可動子を提供する。
【解決手段】 磁石ホルダ１５の一対のレール１９と対向する対向部分において、磁石ホルダ１５から一対のレール１９に向かう方向と複数の永久磁石１７のそれぞれの両磁極面が対向する磁極面対向方向とに開口する複数の凹部２９を磁石ホルダに形成する。複数の凹部２９により磁石ホルダ１５の熱膨張により磁石ホルダ１５から一対のレール１９に加わる力を吸収する熱膨張吸収用空隙部を構成する。 （もっと読む）

【課題】高精度化や高出力化されたアクチュエータを提供する。
【解決手段】フレーム１０１に同心円状で出力軸２０１の両端に配置され、直動方向および回転方向に自在に支持する支持機構１０６と、前記出力軸２０１に関して長手方向の前記支持機構１０６の間に同心円状に配置され、前記出力軸２０１を直動方向および回転方向に駆動するモータ部１００ａと、直動方向を支持する前記支持機構１０６に配置され、回転方向の角度を検出する第１の検出部４０４と、前記出力軸を回転自在に支持する保持器１０６ｃを介して配置され、直動方向の変位を検出する第２の検出部４０２と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】コイルと磁石とを利用して２次元方向の推力を得る２次元アクチュエータの推力を向上することを課題とする。
【解決手段】アクチュエータ２０は、異なる極性の磁石１１、１２を隣り合わせて並べた磁石対１４にコイル１３を重ね、コイル１３の巻線が区画する領域１５と、磁石１１、１２の対向面１６と、が交差するように、磁石１１、１２とコイル１３とを組み合わせて配置した推力発生部１０を複数備え、推力発生部１０ａ、１０ｂの磁石１１、１２同士の対向面１４ａと１４ｂとが互いに直交するように配置される。 （もっと読む）

【課題】リニアモータの推力を向上させること、およびリニアモータの構造を簡略化することにある。
【解決手段】往復動ロッド１１に設けられた非磁性金属製のパイプ１３に、複数の永久磁石１８を同極性の端面を相互に突き当てた状態で収容することにより、磁石組立体１７を形成する。また、パイプ１３の外周面に接触する支持内周面２１ｃが軸方向全体に形成された樹脂製のボビン２１の外周面に、磁石組立体１７を囲むように複数のコイル２５を巻き付けることにより、コイル組立体２６を形成する。このボビン２１を樹脂材料により形成することで、パイプ１３とボビン２１とが摺動接触しないようにパイプ１３とボビン２１との間に所定の空隙を設ける必要がなく、ボビン２１の支持内周面２１ｃをパイプ１３の外周面に接触させて、ボビン２１によりパイプ１３が往復動自在に支持されるようにする。 （もっと読む）

【課題】リニアモータのコギング推力を低減しかつ推力を向上させる。
【解決手段】移動子と固定子とを有したリニアモータである。移動子は、少なくとも３個の永久磁石が固定子に対峙して複数の電機子の配列方向に並んでいる。これらの永久磁石は、そのうちの隣り合う２つの永久磁石同士の間では同じ極同士が所定の磁力反発間隔を有して対向するようバックヨークに保持されている。これらの永久磁石のうちの中央に位置する永久磁石を、その並び方向において等分割することにより２つの分割磁石とし、これら２つの分割磁石の間に所定の磁力間隙を備えている。 （もっと読む）

【課題】
ムービングマグネット型のリニアモータ対を移動ステージに利用する場合、このリニアモータ対に挟まれる空間の磁場が可動子の移動に伴って大きく変動する。
【解決手段】
リニアモータの可動子３の中央面１９を基準として鏡面対称となるように、４Ｎ組（Ｎは自然数）の磁石ペア１２を配置する。極性は、可動子中央線１９で隣り合う極性が同じで、離れるに従ってＮ極とＳ極とが交互となるように磁石ペア１２を配列する。このようなリニアモータを2組並行に配置してリニアモータ対を形成し、このリニアモータ対を用いてステージを駆動することで、例えば電子顕微鏡等の磁場環境に与える影響の少ない移動ステージを実現した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、可動子に磁性リングとリングマグネット体を交互に設け、リングマグネット体を複数のリングマグネットで構成することにより、円筒状固定子に流れる磁束を正弦波状として推力の向上を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明による磁石埋め込み型円筒リニアモータは、円筒状固定子(3)の内側の可動子(5)の外周に設けた各リングマグネット体(6)を複数のリングマグネット(6a〜6c)で形成し、各リングマグネット(6a〜6c)を互いに異ならせると共に、その磁化方向を４５度ラジアル磁化方向(6aA,6bA)とすることにより、円筒状固定子(3)側に正弦波状の磁束を形成し、推力の向上を計るようにした構成である。 （もっと読む）

【課題】渦電流の発生を抑制できるリニアモータを提供する。
【解決手段】リニアモータ１は、コイル７と、コイル７と同心状の環状に設けられ、半径方向に磁化され、コイル７に対して軸ＣＡ方向に移動可能な磁石１３と、コイル７と同心状に設けられた筒状の外ヨーク９と、を有する。外ヨーク９は、絶縁膜２７ｂ及び接着剤２９を介在させつつ軸ＣＡ回りに積層的に配列された、強磁性を示す複数の板状部材１９を有する。複数の板状部材１９それぞれは、外ヨーク９の外周側ほど厚くなるように形成されている。 （もっと読む）