【課題】エンコーダなどのセンサを用いることなく、移動体の回転位置や回転速度の検出が可能な超音波モータにおいて、Ｓ／Ｎを向上しつつ、駆動性能の低下を抑える。
【解決手段】移動体１３が、溝１３ｃの刻設された移動体本体１３ａにカバー板１３ｂを積層して成り、前記カバー板１３ｂの部分に、振動体（ステータ）が圧電振動によって発生された楕円振動を与えることで該移動体１３が回転し、前記溝１３ｃの通過による駆動信号の変化から位置検出を行うようにしたセルフセンシング方式の超音波モータにおいて、前記溝１３ｃを少なくともカバー板１３ｂの幅以上に形成する。したがって、カバー板１３ｂの下方は、必ずその溝１３ｃによる空孔となっており、剛性の変化から、高いＳ／Ｎの検出信号を得ることができる。また、そのＳ／Ｎの高さから、溝１３ｃの幅を狭くでき、駆動性能の低下（前記楕円振動の減衰）を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】単一の部材からなり、構造が単純で、溝部等が不要であり、縦振動とねじれ振動を容易に励起することができ、該縦振動と該ねじれ振動を合成することにより楕円振動を形成し、該楕円振動によりロータを回転させる超音波モータを提供することである。
【解決手段】超音波モータ１０は、中心軸に垂直な断面が長方形状の長さ比率を有する振動子１１と、該振動子１１の楕円振動発生面に接して振動子１１の該楕円振動発生面と直交する中心軸を回転軸として回転駆動されるロータ１５と、を少なくとも備える。上記振動子１１は圧電素子単体から成り、その分極の方向が中心軸の方向を含む該振動子１１の側面の面内方向にほぼ有り、且つ、該中心軸の方向とのなす角度εが、０＜ε＜π／２を満たす。そして、上記振動子１１の回転軸方向に伸縮する縦１次共振振動と該回転軸をねじれ軸とするねじれ３次共振振動を合成して、上記楕円振動を形成する。 （もっと読む）

【課題】ステージをコンパクトに構成できると共に、所望の精度を確保でき、更にスケールの防塵を行うことができるようにする。
【解決手段】ベース部２と、テーブル３と、ベース部２とテーブル３との間に配置される案内部材１ａ、１ｂと、テーブル３に摺動板固定部材９と一体的に固定される摺動板８と、超音波モータ１０と、テーブル３にスケール固定部材６と一体的に固定されるスケール４と、センサ５とを含むステージにおいて、治具部材２１を用いて案内部材１ａ、１ｂに予圧を与えた状態で案内部材１ａ、１ｂを固定した後に治具部材２１を取り外し、治具部材２１を取り外した位置に摺動板固定部材９と一体的に固定した摺動板８をテーブル３に固定し、及び又は、治具部材２１を取り外した位置にスケール固定部材６と一体的に固定したスケール４をテーブル３に固定する、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】安定した押圧力を得ることができ、外部装置との関係における制約が少ない、小型のリニア駆動型超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、超音波振動子、押圧部材、及び被駆動部材を収納するケース部材と、ケース部材内部において被駆動部材に連結する連結部材と、を少なくとも具備したリニア駆動型超音波モータであって、ケース部材は、連結部材の一部を通すための開口部を備える。 （もっと読む）

【課題】安定した押圧力を得ることができ、外部装置との関係における制約が少ない、小型のリニア駆動型超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、超音波振動子と押圧部材を収容するケース部材と、被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、を少なくとも具備し、押圧部材の中央部が超音波振動子と当接し、かつ、押圧部材の端部のうちの少なくとも中央部を挟む二つの端部がケース部材と当接した状態でケース部材がベース部材に組みつけられる。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性および耐摩耗性に優れ、かつ、高い効率で駆動することが可能な超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータは、被駆動体と、被駆動体を駆動させるための圧電素子５０と、中心角が１８０度より大きな円弧形状の内周面を有する切取部６１を含み、圧電素子５０によって振動させられる振動板２１と、振動板２１とは異なる材料からなり、平面視において圧電素子５０と重なる部分の厚さが振動板２１の厚さ以下であり、振動板２１の切取部６１に圧入または嵌め合いによって取り付けられ、被駆動体に接触する接触部６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】小型化および構造の簡略化を図ると共に、効率および精度の高い動作を行なう。
【解決手段】矩形型の圧電振動子１の二組の辺のうち、一方の組の辺の長さをＬとし、他方の組の辺の長さをｗとし、ｗ／Ｌを変数として、ｗ／Ｌと拡がり振動モードの共振周波数とを対応させると共に、ｗ／Ｌと曲げ振動モードの共振周波数とを対応させた場合、圧電振動子１は、ｗ／Ｌの値が実質的に０．８５となるように形成されており、圧電振動子１のいずれか一方の主面上に並設された２枚の電極４ａ、４ｂと、少なくとも一方の電極に対して交流電圧を印加して圧電振動子１を駆動させる共振駆動装置３２と、２枚の電極４ａ、４ｂのうち、少なくとも一方に対して直流電圧を印加して圧電振動子１を駆動させる直流駆動装置３３と、共振駆動装置３２または直流駆動装置３３のいずれか一方を選択して動作させる制御部３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】この発明は、簡便にして容易に強固な接着固定を実現し得、且つ、環境温度の変化に影響を受けることなく、高精度な駆動特性を実現し得るようにした超音波モータを提供することにある。
【解決手段】被駆動体１２に対して摩擦駆動可能に圧接される駆動子１１に、その接触面を構成しない部位に溝部１８を有する鍔状部１７を設けて、この駆動子１１を圧電素子１０の下面に接着剤１９を用いて強固に接着固定するように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】駆動性能のよい振動アクチュエータ、これを備えるレンズ鏡筒及びカメラ、並びに振動アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子（１３）と、電気機械変換素子（１３）が接合され、電気機械変換素子が駆動されることによって振動波を生じる弾性体（１２）と、弾性体（１２）に加圧接触され、振動波によって弾性体（１２）に対して相対移動する相対移動部材（１５）とを備え、電気機械変換素子（１３）は、弾性体（１２）に対する接合面（１３ａ）に、無電解めっきにより形成された第１の電極部（Ｄ１）を有することを特徴とする振動アクチュエータ（１０）とした。 （もっと読む）

【課題】出力軸を機械的に設定された複数の回転軸の回りに回転させることができる小型で且つ軽量の振動アクチュエータを提供することを課題とする。
【解決手段】ステータ２の表面に、第１挟持部４及び第２挟持部５によりそれぞれ第１のアーチ状部材６及び第２のアーチ状部材７が回転自在に支持され、第１及び第２のアーチ状部材７のスライド溝８及び９のそれぞれに沿ってスライド自在であるように出力軸１０が取り付けられている。振動子３を駆動してステータ２に超音波振動を発生させることにより、第１のアーチ状部材６及び第２のアーチ状部材７がそれぞれの端部を貫通する支持ボルトを回転軸としてＹ軸及びＸ軸回りに回転され、これにより出力軸１０をＹ軸及びＸ軸の２つの回転軸の回りにそれぞれ回転させることができる。 （もっと読む）

【課題】鏡筒に対して振動体の位置を調整しなくても、鏡筒を安定的に駆動させることが可能な駆動装置を実現する。
【解決手段】本発明の駆動装置は、円弧状に振動する弾性部材２と、弾性部材２を振動させる駆動源とを備え、弾性部材２は、被駆動体と接触可能な摩擦部材３を有し、摩擦部材３が、弾性部材２の円弧状の振動に伴い、円弧状軌跡を描いて鏡筒４を駆動するようになっている。円形状の摩擦部材３の曲率半径をｒとし、接触部の上記円弧状軌跡の半径を駆動半径Ｄとしたとき、曲率半径ｒと駆動半径Ｄとが、下記条件
０．５≦ｒ／Ｄ≦１．５
を満たすので、弾性部材２が鏡筒４に対し傾斜して取り付けられた場合であっても、鏡筒４を安定的に駆動させることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子などを樹脂材からなる支持部材により支持することにより、移動対象物を精度良く移動できる駆動装置及び駆動装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電素子１２に駆動軸１４が取り付けられ、駆動軸１４の長手方向に沿って移動可能に被駆動部材１６が取り付けられ、圧電素子１２と静止部材１０の間に樹脂材を充填し硬化させて圧電素子１２を支持する支持部材５が設けられている。このため、圧電素子１２及び駆動軸１４を所定の位置に配置した後に樹脂材を充填し硬化させることにより、圧電素子１２及び駆動軸１４を正確な位置に配置することができ、被駆動部材１６や被駆動部材１６に取り付けられる移動レンズ７０を精度良く移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】振動体の振動面の精度が良い駆動装置、振動アクチュエータ及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動体（１１）は振動面（１２ａ）とは異なる面にフランジ部（１２ｄ）を有する。取付部材（４０）はフランジ部（１２ｄ）に取り付けられる取付部（４２）を有する。取付部（４２）はフランジ部（１２ｄ）に対向する部分に複数の凹部（４３）を有することを特徴とする駆動装置（１０）である。 （もっと読む）

【課題】オーバーハング実装構造の圧電アクチュエータでは、リード基板を圧電素子表面から所定間隔離して配置する為、全体の厚みが厚くなるという課題がある。本発明では製造が容易で、薄型化を促進できる圧電アクチュエータおよびこの圧電アクチュエータを備えた機器を提供することにある。
【解決手段】両面に電極が形成された板状の圧電素子８２と、前記圧電素子が両面に配置される補強板８１を備え、前記圧電素子の振動によって、ロータ６１を回転させる圧電アクチュエータ６６であって、前記補強板８１には、前記ロータ６１に当接される当接部材８１Ａが設けられ、前記電極は、前記補強板に接する面に形成される裏側電極と、これらの裏側電極８５Ｂとは反対側の面に形成される表側電極８５Ａとを有して構成され、前記表側電極同士は当接部材に設けられた電極導通手段によって導通されることにより圧電アクチュエータ６６の薄型化を促進できる。 （もっと読む）

【課題】被駆動部材を位置決め動作開始基準位置へ移動させる際の補正を行い、より高い精度の駆動制御を行う。
【解決手段】所定方向に沿った圧電素子１２の伸び速度と縮み速度とを異ならせるよう駆動パルスの供給を制御して圧電素子１２を伸縮させることで駆動棒１７を振動させ、駆動棒１７に摩擦係合したレンズ２１を所定方向に沿った双方向に移動させる駆動制御装置２０において、レンズ２１の焦点合わせ動作の開始位置についての補正量に対応する予め調整された補正駆動パルス数を記憶したＥＥＰＲＯＭ３６と、レンズ２１の焦点合わせ動作前に補正駆動パルス数を読み出す読出し手段３３と、該補正駆動パルス数に基づいて、レンズ２１を上記開始位置へ移動させるための駆動パルス数を補正する補正手段３４と、補正後の駆動パルス数に応じた駆動パルスを圧電素子１２へ供給する移動制御手段３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの駆動回路における昇圧用インダクタの個数低減及び各圧電素子に対応する回路の削減。
【解決手段】複数の圧電素子（第１及び第２圧電素子１０、１０’）から構成される圧電アクチュエータを少なくとも１つ駆動する駆動回路２０に、複数の圧電素子と直列に１つ接続された昇圧用のインダクタ２１と、各圧電素子及びインダクタ２１を駆動するべく所定のスイッチング動作を行うスイッチング動作部（第１〜第６スイッチＳＷ１〜ＳＷ６）とを備え、スイッチング動作部によるスイッチング動作に応じて、インダクタ２１と、該インダクタ２１により昇圧する上記複数の圧電素子における少なくとも１つの圧電素子との接続を切り替える。 （もっと読む）

【課題】安価なＣＰＵ構成によって、制御の初期段階から所定レベル以上の精度での駆動制御を実現する。
【解決手段】所定方向に沿った圧電素子１２の伸び速度と縮み速度とを異ならせるよう駆動パルスの供給を制御して圧電素子１２を伸縮させることで駆動棒１７を振動させ、駆動棒１７に摩擦係合したレンズ２１を所定方向に沿った双方向に移動させる駆動制御装置２０において、レンズ２１の焦点合わせ動作の前に、双方向それぞれについて規定の移動距離だけレンズ２１を移動させるに要した実駆動パルス数を測定する実駆動パルス数測定手段３２と、双方向それぞれの実駆動パルス数と予め定めた基準パルス数とに基づいて駆動パルス数に関する補正係数を算出する補正係数算出手段３３と、双方向それぞれの補正係数に基づいて、圧電素子１２へ供給される駆動パルス数を補正する駆動パルス数補正手段３４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】組立工程の削減によるコストダウン、板ばねの塑性変形の低減による駆動性能のばらつき抑制、および、落下衝撃による部品の分解飛散防止を可能にした駆動装置を提供する。
【解決手段】圧電素子１４と、圧電素子１４の一端に固定された駆動摩擦部材１６と、駆動摩擦部材１６に摩擦係合された移動部材１８とから構成され、圧電素子１４を伸縮させることで移動部材１８を駆動摩擦部材１６に対して相対移動させる駆動装置１０であって、移動部材１８を駆動摩擦部材１６に押し付けるための板ばね３２が移動部材１８と一体部材をなしている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を備えたアクチュエータ装置において、下電極が積層される酸化膜の平坦性を向上したアクチュエータ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ装置の製造方法において、アクチュエータ装置の製造方法において、酸化ジルコニウム膜上に、ＳＯＧ膜を形成する工程と、ＳＯＧ膜が積層された酸化ジルコニウム膜を、酸化ジルコニウム膜が平坦になるまでエッチバックする工程と、平坦化された酸化ジルコニウム膜上に下電極を形成する工程と、記下電極上に圧電体膜を形成する工程と、を備える、アクチュエータ装置の製造方法である。 （もっと読む）

ねじ付きシャフトアセンブリを駆動するための装置に可動的に取り付けられた光学素子を含む光学アセンブリ。装置は、回転軸を有するねじ付きシャフトおよびそれと係合したねじ付きナットを含む。アセンブリは、ねじ付きナットを超音波振動に供し、それによって該シャフトを回転させると同時に軸方向に平行移動させるための素子を含む。

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