駆動装置、振動アクチュエータ、及び、電子機器
【課題】振動体の振動面の精度が良い駆動装置、振動アクチュエータ及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動体（１１）は振動面（１２ａ）とは異なる面にフランジ部（１２ｄ）を有する。取付部材（４０）はフランジ部（１２ｄ）に取り付けられる取付部（４２）を有する。取付部（４２）はフランジ部（１２ｄ）に対向する部分に複数の凹部（４３）を有することを特徴とする駆動装置（１０）である。
【解決手段】 振動体（１１）は振動面（１２ａ）とは異なる面にフランジ部（１２ｄ）を有する。取付部材（４０）はフランジ部（１２ｄ）に取り付けられる取付部（４２）を有する。取付部（４２）はフランジ部（１２ｄ）に対向する部分に複数の凹部（４３）を有することを特徴とする駆動装置（１０）である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、振動アクチュエータ及び電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
振動アクチュエータとして、超音波の振動域を利用した進行波モータである超音波モータが知られている。超音波モータは、一般に、振動面に進行性振動波を発生させる弾性体と、上面側が弾性体に取付けられた圧電体と、弾性体の振動面に加圧接触されて駆動される移動子とを含み、例えば、カメラ鏡筒を駆動するモータ等として使用される。
【０００３】
このような超音波モータは、振動面に良好な進行性振動波を生じさせるため、振動面の平面度を維持した状態で支持される必要がある。
超音波モータの支持構造に関する技術として、特許文献１は、弾性体の側面に備えられたフランジ部と、フランジ部に取付けられ弾性体を支持する取付部材とを含む超音波モータを開示している。
【０００４】
この種の超音波モータは、一般に、圧電体の上面側の端子電極を引き出すため、圧電体の下面側から弾性体に至る領域にハンダなどの導電接合部を形成する必要があり、製品の量産時においては、導電接合部の形成領域を厳密に制御することが困難であるから、導電接合部が弾性体のフランジ部に達する場合がある。
【０００５】
この場合、取付部材を弾性体に取り付ける際に、フランジ部に形成された導電接合部が取付部材と弾性体との間に挟み込まれ、挟み込まれた導電接合部の盛り上がり分だけ弾性体の振動面が変形し、振動面の平面度が失われることとなる。
【０００６】
弾性体が取付部材に取り付けられた状態において、弾性体の平面度が悪いと、弾性体の振動面と移動子との接触状態が悪くなり、モータの駆動時に異音が発生するという問題や、駆動トルクが低下するという問題を生じるおそれがある。このような性能劣化を避けるためには、研削、ラッピング等の手段を用いて振動面を平坦にする必要がある。
【０００７】
ところが、振動面の変形が大きい場合には、ラッピングのサグ量が多くしても、十分な平面度が得られないおそれがある。また、サグ量が多くなると、振動面に形成された薄いメッキ膜等が削り取られ、モーターの使用時に安定した特性が得られなくなるおそれもある。
【０００８】
弾性体と取付部材との間に挟み込まれた導電接合部に起因する振動面の変形を回避するための手段として、導電接合部が形成された領域に対応するように、取付部材の一面に溝を１箇所だけ形成する技術も知られている。
【０００９】
しかしながら、取付部材に１箇所の溝を設けると、溝が設けられた１箇所のみに変形が集中し、溝が設けられていない部分との間で形状の異方性が生じ、十分な平面度が得られなくなるという問題があった。
【特許文献１】特開２００５−２８７１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、安定した駆動特性が得られる駆動装置、振動アクチュエータ及び電子機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の一実施例を示す図面に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
【００１２】
請求項１に記載の発明は、振動面（１２ａ）に進行性振動波を生じさせる振動体（１１）と、振動体（１１）に取り付けられる取付部材（４０）とを含む駆動装置であって、振動体（１１）は振動面（１２ａ）とは異なる面にフランジ部（１２ｄ）を有し、取付部材（４０）はフランジ部（１２ｄ）に取り付けられる取付部（４２）を有し、取付部（４２）はフランジ部（１２ｄ）に対向する部分に複数の凹部（４３）を有することを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載された駆動装置であって、複数の凹部（４３）が３つ以上であることを特徴とする駆動装置（１０）である。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載された駆動装置であって、フランジ部（１２ｄ）が振動面（１２ａ）と略直交する振動体（１１）の側面（１１２，１１３）に備えられていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載された駆動装置であって、振動体（１１）は、駆動信号により励振される圧電体（１３）と、圧電体（１３）に取付けられた弾性体（１２）とを含み、弾性体（１２）は、その側面にフランジ部（１２ｄ）を有し、圧電体（１３）の励振により振動面（１２ａ）に進行性振動波を生じさせることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載された駆動装置であって、導電性を有する導電接合部（５０）を含み、導電接合部（５０）の少なくとも一部は、振動面（１２ａ）の裏面において、圧電体（１３）からフランジ部（１２ｄ）にわたって設けられ、圧電体（１３）と弾性体（１２）とを電気的に接続しており、凹部（４３）のうち少なくとも一つは、導電接合部（５０）に対応して備えられていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された駆動装置であって、凹部（４３）は、切欠きであり、凹部（４３）のそれぞれは、取付部（４２）の外周に沿って、互いに間隔を隔てて形成されていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１７】
請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された駆動装置であって、凹部（４３）は、凹溝であり、凹部（４３）のそれぞれは、取付部（４２）の外周に沿って、互いに間隔を隔てて形成されていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１８】
請求項８に記載の発明は、請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された駆動装置であって、振動体（１１）は、振動面（１２ａ）を貫通する貫通孔（１１１）を有し、フランジ部（１２ｄ）は、貫通孔（１１１）により形成された振動体（１１）の内側面（１１２）に形成されていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１９】
請求項９に記載の発明は、請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された駆動装置であって、フランジ部（１２ｄ）は、外側面（１１３）に形成されていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００２０】
請求項１０に記載の発明は、請求項１から請求項９までの何れか１項に記載された駆動装置（１０）と、振動体（１１）の振動面（１２ａ）に加圧接触される移動子（２０）とを含む振動アクチュエータ（１）であって、移動子（２０）は、進行性振動波によって駆動装置（１０）と相対運動することを特徴とする振動アクチュエータ（１）である。
【００２１】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載された振動アクチュエータ（１）を用いたことを特徴とする電子機器（３）である。
なお、符号を付して説明した構成は適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、安定した駆動特性が得られる駆動装置、振動アクチュエータ及び電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面等を参照して、本発明の実施例をあげて、さらに詳しく説明する。なお、以下の実施例は、振動アクチュエータとして、超音波モータを例にとって説明する。
【実施例１】
【００２４】
図１は本発明の一実施例を示す断面図、図２は図１の部分拡大図、図３は図１に示した振動体および取付部材の外観を示す図である。
本実施例の振動アクチュエータ１は、固定子（ステータ）１０と、固定子１０に対して相対運動する移動子（ロータ）２０とを含む。固定子１０は、本発明に係る駆動装置に含まれる。
【００２５】
図１において、駆動装置１０は、振動体１１と、振動体１１に取り付けられた取付部材４０とを含む。振動体１１は、例えば、共振先鋭度が大きな金属材料（例えば、ステンレスなどの鉄鋼材）から成る弾性体１２と、弾性体１２に取付けられ駆動信号により励振される圧電体１３とを含む。
【００２６】
弾性体１２は、進行性振動波（例えば、弾性体の１周あたり４波長の進行波）を生じさせる振動面（駆動面）１２ａと、振動面１２ａに溝を切って形成された櫛歯１２ｂと、櫛歯１２ｂの下に形成されたベース部１２ｃと、振動面１２ａと略直交する貫通孔１１１により形成された内側面１１２と、取付部材４０に固定するためのフランジ部１２ｄとを有する。
【００２７】
図において、振動面１２ａには耐摩耗性や移動子２０の摺動性を向上させるためにＮｉＰ等の表面処理（メッキ処理等）がなされている。フランジ部１２ｄは、内側面１１２のうちベース部１２ｃの中央付近に取付けられているが、その取付け位置は任意である。
【００２８】
図２は図１のＡ矢印方向から振動体１１を見た拡大図である。圧電体１３は、円周方向に沿ってＡ相１３１と、Ｂ相１３２とに分かれている。各相１３１，１３２には、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられている。Ａ相１３１とＢ相１３２との間には１／４波長分の間隔が設けられており、この間隔部分がＧＮＤ部１３３として使用される。
【００２９】
図１に戻って、圧電体１３の下面１３ａには、駆動電圧を供給するフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）６０が設けられている。ＦＰＣ６０に形成された信号線６１〜６３のそれぞれは、圧電体１３のＡ相１３１、Ｂ相１３２、及び、ＧＮＤ部１３３のそれぞれに電気的に接続されている。
【００３０】
導電接合部５０は、例えば、ハンダ等の導電性材料からなる。導電接合部５０の少なくとも一部は、振動面１２ａの裏面（圧電体の下面１３ａ）側において、圧電体のＧＮＤ部１３３から弾性体のフランジ部１２ｄにわたって設けられ、圧電体１３と弾性体１２とを電気的に接続している。
【００３１】
図３は図１に示した振動体１１及び取付部材４０の外観を示す斜視図である。図１及び図３からわかるように、取付部材４０は、土台部４１と取付部４２とを含む。取付部４２は、フランジ部１２ｄに対向するように土台部４１の一面に形成されている。取付部４２はフランジ部１２ｄに対向する部分に複数の凹部４３が形成されている。
【００３２】
図３において、凹部４３は凹溝であり、取付部４２の外周に沿って、互いに等しい間隔を隔てて形成されている。取付部４２は、フランジ部１２ｄに締め付けられ、これにより弾性体１２が取付部材４０に取り付けられる。凹部４３は、その少なくとも１つが導電接合部５０が形成された領域に対応して配置され、取付部４２とフランジ部１２ｄとの間に導電接合部５０が挟み込まれないようにしている。
【００３３】
具体的には、例えば、図１において、取付部４２は、それぞれ対応するねじ溝が形成された第1の部分（雌ねじ）４２１及び第２の部分（雄ねじ）４２２からなり、第1の部分４２１と第２の部分４２２との間にフランジ部１２ｄを挟み、ねじ締めされている。第1の部分４２１は、例えば、ＧＦ含有ポリカーボネイト等の樹脂材料等の樹脂材料（高分子材料を含む）からなり、第２の部分４２２は、例えば、銅合金などの金属材料からなる。
【００３４】
図１に戻って、土台部４１の内側面にはベアリング７５の外輪７５１が取り付けられる。ベアリング７５の内輪７５２には軸７１が貫通している。コイルばね７４は、軸７１に固定された部材７２，７３と、内輪７５２との間にばね力を加えるためのものである。
【００３５】
移動子２０は、例えば、アルミニウム等の軽金属でからなり、耐摩耗性を向上させるため摺動面にアルマイト等の表面処理が施されている。移動子２０は、軸７１に取り付けられ、コイルばね７４のばね力により、弾性体の振動面１２ａに加圧接触されている。
【００３６】
上述したように、本実施例に係る駆動装置（固定子）１０は、振動体１１のフランジ部１２ｄに取付部材４０の取付部４２が取付けられて構成される。そして、この駆動装置（固定子）１０に、移動子２０を加圧接触させることにより本実施例に係る振動アクチュエータ１が得られる。
【００３７】
本実施例に係る駆動装置１０は、圧電体１３の励振により駆動装置１０の振動面１２ａに進行性振動波を発生させ、振動面１２ａに加圧接触した移動子（ロータ）２０を駆動させる。
【００３８】
具体的には、例えば、位相が９０゜ずれた駆動信号のそれぞれが圧電体１３のＡ相１３１およびＢ相１３２に印加されることにより、Ａ相から発生する曲げ振動（例えば、４次曲げ振動）とＢ相から発生する曲げ振動との位置的な位相が１／４波長ずれ、２つの曲げ振動が合成され、例えば、４波の進行性振動波が振動面１２ａに発生する。また、図示の実施例では、振動面１２ａに櫛歯１２ｂを形成することにより、進行性振動波の中立面を圧電体１３側に接近させ、進行性振動波の振幅を増幅させている。
【００３９】
本実施形態において、振動アクチュエータ１は、フランジ部１２ｄに対向する部分に凹部４３を有するから、導電接合部５０が形成された領域に凹部４３を対応させることにより、導電接合部５０の盛り上がり分に起因した振動面１２ａの変形が回避され、振動面１２ａの平面度の劣化が防止される。
【００４０】
更に、凹部４３が複数であるから、振動面１２ａにおいて、凹部４３に対応した変形箇所が複数の箇所に分散し、１箇所当たりの変形量が小さくなるとともに、形状の異方性（振動面の位置に依存する変形量の偏り）が低減し、振動面１２ａの平面度の劣化が防止される。
【００４１】
本実施形態の振動アクチュエータ１は、このような平面精度の高い振動面により、弾性体１２の振動面１２ａと移動子２０との接触状態が良好になり、アクチュエータの駆動時に異音が発生するという問題や、駆動トルクが低下するという問題を回避し、安定した駆動特性が得られる。
【００４２】
特に、振動体１１や移動子２０の径を、例えば、従来の１／３〜１／５倍程度に小型化し、出力性能を維持するために回転数を上げた場合には、振動面１２ａの平面度の影響が大きくなるから、上述した優れた作用効果が顕著に表れることとなる。
【００４３】
凹部４３の数は、３つ以上であることが好ましい。凹部４３の数が２箇所である場合、それぞれの凹部４３の位置関係によっては、振動面１２ａが２つに折れた形状となり振動面１２ａの平面度が低下するおそれがあるのに対し、凹部４３の数が３箇所以上であれば、振動面１２ａが折れた形状になることがなく、良好な平面度が確実に得られるからである。
【００４４】
また、複数の凹部４３のそれぞれは、取付部４２の外周を等分割した位置に配置することが好ましい。凹部に対応して変形する箇所が均等に分散し、形状の異方性が更に低減し、更に良好な平面度が得られるからである。
【００４５】
本実施形態の振動アクチュエータは、振動面１２ａの平面度が良いから、平面度を更に良好にすべく研削を施す場合でも、ラッピングのサグ量が少なくて済む。このため、振動面１２ａに形成された薄いメッキ膜等が削り取られる等の不具合が生じることがなく、モーターの使用時に安定した特性が得られる。
【００４６】
更に、本実施形態の振動アクチュエータでは、ラッピングのサグ量が少なくて済むから、ラッピングで削り取られる分を考慮して振動面１２ａの表面に厚いメッキ膜を形成する必要がなくなり、製品製造に要する期間が短縮される。
【００４７】
次に、別の実施例を用いて本発明に係る振動アクチュエータを説明する。以下に示す各実施例では、図１〜図３に示した振動アクチュエータと同一又は同様な機能を果たす部分には、同一又の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。
【実施例２】
【００４８】
図４は別の一実施例を示す部分平面図である。図示の振動アクチュエータは、凹部４３が４つ設けられている点が図１〜図３に示した振動アクチュエータと相違する。
本実施例の振動アクチュエータは、図１〜図３に示した振動アクチュエータと同様の構成要素を含むので、同様の優れた作用効果を奏することができる。
【００４９】
また、本実施例の振動アクチュエータは、凹部が４つ設けられているから、凹部が３つ設けられている図１〜図３の振動アクチュエータと比較して、凹部に対応する振動面１２ａの変形が更に均等に分散し、振動面１２ａの平面度の劣化が更に低減し、更に良好な平面度が得られる。
【実施例３】
【００５０】
図５は更に別の一実施例を示す部分平面図である。図示の振動アクチュエータは、取付部４２の外周側のみに凹部４３が形成されている点が図１〜図４に示した振動アクチュエータと相違する。
【００５１】
本実施例の振動アクチュエータは、図１〜図４に示した振動アクチュエータと同様の構成要素を含むので、同様の優れた作用効果を奏することができる。
また、本実施例では、軸７１（図１参照）と対向する取付部４２の内周（内側面）に凹部４３が形成されておらず、取付部４２の内側面が凹凸のない滑らかな形状であるから、軸７１の回転特性が向上することとなる。
【実施例４】
【００５２】
図６は更に別の一実施例を示す部分正面図である。図示の振動アクチュエータは、取付部材４０の側面から見て、凹部４３が略三角形の切欠きである点が図１〜図５に示した振動アクチュエータと相違する。
【００５３】
図６に示した振動アクチュエータは、図１〜図５に示した振動アクチュエータと同様の構成要素を含むので、同様の優れた作用効果を奏することができる。
【実施例５】
【００５４】
図７は更に別の一実施例を示す部分正面図である。図７において、凹部４３は、取付部材４０の側面から見て曲線形状である。
図７に示した振動アクチュエータは、図１〜図６に示した振動アクチュエータと同様の構成要素を含むので、同様の優れた作用効果を奏することができる。
【実施例６】
【００５５】
図８は更に別の一実施例を示す断面図である。図示の振動アクチュエータは、弾性体１２の外側面１１３にフランジ部１２ｄが形成されている点が図１〜図７に示した振動アクチュエータと相違する。
【００５６】
図８に示した振動アクチュエータは、図１〜図７に示した振動アクチュエータと同様の構成要素を含むので、同様の優れた作用効果を奏することができる。
【実施例７】
【００５７】
図９は電子機器の一実施例を説明するブロック図である。以下の実施例は、電子機器として、カメラを例にとって説明するが、本発明の電子機器は、カメラ鏡筒、スチールカメラ、ビデオカメラ等の光学機器に限らず、携帯電話等の通信機器などであってもよい。
【００５８】
図９に示した電子機器３は、ＣＰＵ等から供給された駆動指令（目標位置情報）および検出部９５から供給された検出信号等に基づいて、光学要素９９を目標位置に位置決めする制御信号を生成する制御部９１と、制御部９１から供給される制御信号により駆動信号を生成する発振部９２と、発振器で発生した駆動信号を９０゜位相の異なる２つの駆動信号に分ける移相部９３と、移相部９３によって分けられた２つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する増幅部９４１、９４２と、上述した本発明に係る振動アクチュエータ１と、レンズなどの光学要素９９（駆動体）と、光学要素９９の位置情報、速度情報、振動アクチュエータ１の駆動状態等を検出する検出部９５とを含む。
【００５９】
上述した電子機器３は、以下の様にして動作する。
まず、発振部９２は制御部９１から供給された制御信号により所望の周波数の駆動信号を生成する。駆動信号は、位相部９３により９０゜位相の異なる２つの駆動信号に分割され、増幅部９４１、９４２により所望の電圧に増幅され、振動アクチュエータ１に含まれる圧電体１３（図２参照）のＡ、Ｂ相１３１、１３２（図２参照）に印加される。駆動信号が印加された圧電体１３は励振し、その励振により弾性体１２の振動面１２ａに進行性振動波が生じる。
【００６０】
振動アクチュエータ１は、レンズなどの光学要素９９（駆動体）に接続されており、光学要素９９を駆動する。検出部９５は、光学要素９９に取付けられた光学式エンコ−ダ、磁気エンコ−ダ等から光学要素９９の位置情報等に対応する電気パルスが供給され、これをを制御部９１にフィードバックする。
【００６１】
図９に示した電子機器３は、図１〜図８に示した振動アクチュエータ１を含むので、上述した振動アクチュエータ１により得られる優れた作用効果を享受することができる。
（変形例）
本実施例は、以下の変形も可能である。
（１）本発明に係る駆動装置は、固定子に限定されるものではなく、移動子等であってもよい。
（２）本発明に係る駆動装置は、取付部材４０の土台部４１及び取付部４２の一方はＧＦ含有ポリカーボネイト等の樹脂材料で構成し、他方は銅合金などの金属材料で構成することが好ましい。双方を金属材料で構成すると、ビビリによる異音が発生するおそれがあり、双方を樹脂材料で構成すると締め付け力が得られないおそれがあるからである。
（３）本発明において、振動体は圧電体により振動するものに限定されるものでなく、例えば、磁歪素子等により振動するものであってもよい。
（４）本発明に係る振動アクチュエータは、いわゆるリング型の振動アクチュエータに限定されるものではなく、いわゆるペンシル型など種々の振動アクチュエータに適用することができる。
【００６２】
なお、本第1実施例〜第７実施例及び変形例は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は、以上説明した各実施例によって限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施例１の断面図である。
【図２】図１に示した振動アクチュエータの部分拡大図である。
【図３】図１に示した振動アクチュエータの振動体および取付部材の外観を示す図である。
【図４】実施例２の部分平面図である。
【図５】実施例３の部分平面図である。
【図６】実施例４の部分正面図である。
【図７】実施例５の部分正面図である。
【図８】実施例６の断面図である。
【図９】電子機器の実施例のブロック図である。
【符号の説明】
【００６４】
駆動装置 １０
移動子 ２０
振動体 １１
圧電体 １３
弾性体 １２
振動面 １２ａ
フランジ部 １２ｄ
取付部材 ４０
取付部 ４２
凹部 ４３
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、振動アクチュエータ及び電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
振動アクチュエータとして、超音波の振動域を利用した進行波モータである超音波モータが知られている。超音波モータは、一般に、振動面に進行性振動波を発生させる弾性体と、上面側が弾性体に取付けられた圧電体と、弾性体の振動面に加圧接触されて駆動される移動子とを含み、例えば、カメラ鏡筒を駆動するモータ等として使用される。
【０００３】
このような超音波モータは、振動面に良好な進行性振動波を生じさせるため、振動面の平面度を維持した状態で支持される必要がある。
超音波モータの支持構造に関する技術として、特許文献１は、弾性体の側面に備えられたフランジ部と、フランジ部に取付けられ弾性体を支持する取付部材とを含む超音波モータを開示している。
【０００４】
この種の超音波モータは、一般に、圧電体の上面側の端子電極を引き出すため、圧電体の下面側から弾性体に至る領域にハンダなどの導電接合部を形成する必要があり、製品の量産時においては、導電接合部の形成領域を厳密に制御することが困難であるから、導電接合部が弾性体のフランジ部に達する場合がある。
【０００５】
この場合、取付部材を弾性体に取り付ける際に、フランジ部に形成された導電接合部が取付部材と弾性体との間に挟み込まれ、挟み込まれた導電接合部の盛り上がり分だけ弾性体の振動面が変形し、振動面の平面度が失われることとなる。
【０００６】
弾性体が取付部材に取り付けられた状態において、弾性体の平面度が悪いと、弾性体の振動面と移動子との接触状態が悪くなり、モータの駆動時に異音が発生するという問題や、駆動トルクが低下するという問題を生じるおそれがある。このような性能劣化を避けるためには、研削、ラッピング等の手段を用いて振動面を平坦にする必要がある。
【０００７】
ところが、振動面の変形が大きい場合には、ラッピングのサグ量が多くしても、十分な平面度が得られないおそれがある。また、サグ量が多くなると、振動面に形成された薄いメッキ膜等が削り取られ、モーターの使用時に安定した特性が得られなくなるおそれもある。
【０００８】
弾性体と取付部材との間に挟み込まれた導電接合部に起因する振動面の変形を回避するための手段として、導電接合部が形成された領域に対応するように、取付部材の一面に溝を１箇所だけ形成する技術も知られている。
【０００９】
しかしながら、取付部材に１箇所の溝を設けると、溝が設けられた１箇所のみに変形が集中し、溝が設けられていない部分との間で形状の異方性が生じ、十分な平面度が得られなくなるという問題があった。
【特許文献１】特開２００５−２８７１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、安定した駆動特性が得られる駆動装置、振動アクチュエータ及び電子機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の一実施例を示す図面に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
【００１２】
請求項１に記載の発明は、振動面（１２ａ）に進行性振動波を生じさせる振動体（１１）と、振動体（１１）に取り付けられる取付部材（４０）とを含む駆動装置であって、振動体（１１）は振動面（１２ａ）とは異なる面にフランジ部（１２ｄ）を有し、取付部材（４０）はフランジ部（１２ｄ）に取り付けられる取付部（４２）を有し、取付部（４２）はフランジ部（１２ｄ）に対向する部分に複数の凹部（４３）を有することを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載された駆動装置であって、複数の凹部（４３）が３つ以上であることを特徴とする駆動装置（１０）である。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載された駆動装置であって、フランジ部（１２ｄ）が振動面（１２ａ）と略直交する振動体（１１）の側面（１１２，１１３）に備えられていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載された駆動装置であって、振動体（１１）は、駆動信号により励振される圧電体（１３）と、圧電体（１３）に取付けられた弾性体（１２）とを含み、弾性体（１２）は、その側面にフランジ部（１２ｄ）を有し、圧電体（１３）の励振により振動面（１２ａ）に進行性振動波を生じさせることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載された駆動装置であって、導電性を有する導電接合部（５０）を含み、導電接合部（５０）の少なくとも一部は、振動面（１２ａ）の裏面において、圧電体（１３）からフランジ部（１２ｄ）にわたって設けられ、圧電体（１３）と弾性体（１２）とを電気的に接続しており、凹部（４３）のうち少なくとも一つは、導電接合部（５０）に対応して備えられていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された駆動装置であって、凹部（４３）は、切欠きであり、凹部（４３）のそれぞれは、取付部（４２）の外周に沿って、互いに間隔を隔てて形成されていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１７】
請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された駆動装置であって、凹部（４３）は、凹溝であり、凹部（４３）のそれぞれは、取付部（４２）の外周に沿って、互いに間隔を隔てて形成されていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１８】
請求項８に記載の発明は、請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された駆動装置であって、振動体（１１）は、振動面（１２ａ）を貫通する貫通孔（１１１）を有し、フランジ部（１２ｄ）は、貫通孔（１１１）により形成された振動体（１１）の内側面（１１２）に形成されていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００１９】
請求項９に記載の発明は、請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された駆動装置であって、フランジ部（１２ｄ）は、外側面（１１３）に形成されていることを特徴とする駆動装置（１０）である。
【００２０】
請求項１０に記載の発明は、請求項１から請求項９までの何れか１項に記載された駆動装置（１０）と、振動体（１１）の振動面（１２ａ）に加圧接触される移動子（２０）とを含む振動アクチュエータ（１）であって、移動子（２０）は、進行性振動波によって駆動装置（１０）と相対運動することを特徴とする振動アクチュエータ（１）である。
【００２１】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載された振動アクチュエータ（１）を用いたことを特徴とする電子機器（３）である。
なお、符号を付して説明した構成は適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、安定した駆動特性が得られる駆動装置、振動アクチュエータ及び電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面等を参照して、本発明の実施例をあげて、さらに詳しく説明する。なお、以下の実施例は、振動アクチュエータとして、超音波モータを例にとって説明する。
【実施例１】
【００２４】
図１は本発明の一実施例を示す断面図、図２は図１の部分拡大図、図３は図１に示した振動体および取付部材の外観を示す図である。
本実施例の振動アクチュエータ１は、固定子（ステータ）１０と、固定子１０に対して相対運動する移動子（ロータ）２０とを含む。固定子１０は、本発明に係る駆動装置に含まれる。
【００２５】
図１において、駆動装置１０は、振動体１１と、振動体１１に取り付けられた取付部材４０とを含む。振動体１１は、例えば、共振先鋭度が大きな金属材料（例えば、ステンレスなどの鉄鋼材）から成る弾性体１２と、弾性体１２に取付けられ駆動信号により励振される圧電体１３とを含む。
【００２６】
弾性体１２は、進行性振動波（例えば、弾性体の１周あたり４波長の進行波）を生じさせる振動面（駆動面）１２ａと、振動面１２ａに溝を切って形成された櫛歯１２ｂと、櫛歯１２ｂの下に形成されたベース部１２ｃと、振動面１２ａと略直交する貫通孔１１１により形成された内側面１１２と、取付部材４０に固定するためのフランジ部１２ｄとを有する。
【００２７】
図において、振動面１２ａには耐摩耗性や移動子２０の摺動性を向上させるためにＮｉＰ等の表面処理（メッキ処理等）がなされている。フランジ部１２ｄは、内側面１１２のうちベース部１２ｃの中央付近に取付けられているが、その取付け位置は任意である。
【００２８】
図２は図１のＡ矢印方向から振動体１１を見た拡大図である。圧電体１３は、円周方向に沿ってＡ相１３１と、Ｂ相１３２とに分かれている。各相１３１，１３２には、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられている。Ａ相１３１とＢ相１３２との間には１／４波長分の間隔が設けられており、この間隔部分がＧＮＤ部１３３として使用される。
【００２９】
図１に戻って、圧電体１３の下面１３ａには、駆動電圧を供給するフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）６０が設けられている。ＦＰＣ６０に形成された信号線６１〜６３のそれぞれは、圧電体１３のＡ相１３１、Ｂ相１３２、及び、ＧＮＤ部１３３のそれぞれに電気的に接続されている。
【００３０】
導電接合部５０は、例えば、ハンダ等の導電性材料からなる。導電接合部５０の少なくとも一部は、振動面１２ａの裏面（圧電体の下面１３ａ）側において、圧電体のＧＮＤ部１３３から弾性体のフランジ部１２ｄにわたって設けられ、圧電体１３と弾性体１２とを電気的に接続している。
【００３１】
図３は図１に示した振動体１１及び取付部材４０の外観を示す斜視図である。図１及び図３からわかるように、取付部材４０は、土台部４１と取付部４２とを含む。取付部４２は、フランジ部１２ｄに対向するように土台部４１の一面に形成されている。取付部４２はフランジ部１２ｄに対向する部分に複数の凹部４３が形成されている。
【００３２】
図３において、凹部４３は凹溝であり、取付部４２の外周に沿って、互いに等しい間隔を隔てて形成されている。取付部４２は、フランジ部１２ｄに締め付けられ、これにより弾性体１２が取付部材４０に取り付けられる。凹部４３は、その少なくとも１つが導電接合部５０が形成された領域に対応して配置され、取付部４２とフランジ部１２ｄとの間に導電接合部５０が挟み込まれないようにしている。
【００３３】
具体的には、例えば、図１において、取付部４２は、それぞれ対応するねじ溝が形成された第1の部分（雌ねじ）４２１及び第２の部分（雄ねじ）４２２からなり、第1の部分４２１と第２の部分４２２との間にフランジ部１２ｄを挟み、ねじ締めされている。第1の部分４２１は、例えば、ＧＦ含有ポリカーボネイト等の樹脂材料等の樹脂材料（高分子材料を含む）からなり、第２の部分４２２は、例えば、銅合金などの金属材料からなる。
【００３４】
図１に戻って、土台部４１の内側面にはベアリング７５の外輪７５１が取り付けられる。ベアリング７５の内輪７５２には軸７１が貫通している。コイルばね７４は、軸７１に固定された部材７２，７３と、内輪７５２との間にばね力を加えるためのものである。
【００３５】
移動子２０は、例えば、アルミニウム等の軽金属でからなり、耐摩耗性を向上させるため摺動面にアルマイト等の表面処理が施されている。移動子２０は、軸７１に取り付けられ、コイルばね７４のばね力により、弾性体の振動面１２ａに加圧接触されている。
【００３６】
上述したように、本実施例に係る駆動装置（固定子）１０は、振動体１１のフランジ部１２ｄに取付部材４０の取付部４２が取付けられて構成される。そして、この駆動装置（固定子）１０に、移動子２０を加圧接触させることにより本実施例に係る振動アクチュエータ１が得られる。
【００３７】
本実施例に係る駆動装置１０は、圧電体１３の励振により駆動装置１０の振動面１２ａに進行性振動波を発生させ、振動面１２ａに加圧接触した移動子（ロータ）２０を駆動させる。
【００３８】
具体的には、例えば、位相が９０゜ずれた駆動信号のそれぞれが圧電体１３のＡ相１３１およびＢ相１３２に印加されることにより、Ａ相から発生する曲げ振動（例えば、４次曲げ振動）とＢ相から発生する曲げ振動との位置的な位相が１／４波長ずれ、２つの曲げ振動が合成され、例えば、４波の進行性振動波が振動面１２ａに発生する。また、図示の実施例では、振動面１２ａに櫛歯１２ｂを形成することにより、進行性振動波の中立面を圧電体１３側に接近させ、進行性振動波の振幅を増幅させている。
【００３９】
本実施形態において、振動アクチュエータ１は、フランジ部１２ｄに対向する部分に凹部４３を有するから、導電接合部５０が形成された領域に凹部４３を対応させることにより、導電接合部５０の盛り上がり分に起因した振動面１２ａの変形が回避され、振動面１２ａの平面度の劣化が防止される。
【００４０】
更に、凹部４３が複数であるから、振動面１２ａにおいて、凹部４３に対応した変形箇所が複数の箇所に分散し、１箇所当たりの変形量が小さくなるとともに、形状の異方性（振動面の位置に依存する変形量の偏り）が低減し、振動面１２ａの平面度の劣化が防止される。
【００４１】
本実施形態の振動アクチュエータ１は、このような平面精度の高い振動面により、弾性体１２の振動面１２ａと移動子２０との接触状態が良好になり、アクチュエータの駆動時に異音が発生するという問題や、駆動トルクが低下するという問題を回避し、安定した駆動特性が得られる。
【００４２】
特に、振動体１１や移動子２０の径を、例えば、従来の１／３〜１／５倍程度に小型化し、出力性能を維持するために回転数を上げた場合には、振動面１２ａの平面度の影響が大きくなるから、上述した優れた作用効果が顕著に表れることとなる。
【００４３】
凹部４３の数は、３つ以上であることが好ましい。凹部４３の数が２箇所である場合、それぞれの凹部４３の位置関係によっては、振動面１２ａが２つに折れた形状となり振動面１２ａの平面度が低下するおそれがあるのに対し、凹部４３の数が３箇所以上であれば、振動面１２ａが折れた形状になることがなく、良好な平面度が確実に得られるからである。
【００４４】
また、複数の凹部４３のそれぞれは、取付部４２の外周を等分割した位置に配置することが好ましい。凹部に対応して変形する箇所が均等に分散し、形状の異方性が更に低減し、更に良好な平面度が得られるからである。
【００４５】
本実施形態の振動アクチュエータは、振動面１２ａの平面度が良いから、平面度を更に良好にすべく研削を施す場合でも、ラッピングのサグ量が少なくて済む。このため、振動面１２ａに形成された薄いメッキ膜等が削り取られる等の不具合が生じることがなく、モーターの使用時に安定した特性が得られる。
【００４６】
更に、本実施形態の振動アクチュエータでは、ラッピングのサグ量が少なくて済むから、ラッピングで削り取られる分を考慮して振動面１２ａの表面に厚いメッキ膜を形成する必要がなくなり、製品製造に要する期間が短縮される。
【００４７】
次に、別の実施例を用いて本発明に係る振動アクチュエータを説明する。以下に示す各実施例では、図１〜図３に示した振動アクチュエータと同一又は同様な機能を果たす部分には、同一又の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。
【実施例２】
【００４８】
図４は別の一実施例を示す部分平面図である。図示の振動アクチュエータは、凹部４３が４つ設けられている点が図１〜図３に示した振動アクチュエータと相違する。
本実施例の振動アクチュエータは、図１〜図３に示した振動アクチュエータと同様の構成要素を含むので、同様の優れた作用効果を奏することができる。
【００４９】
また、本実施例の振動アクチュエータは、凹部が４つ設けられているから、凹部が３つ設けられている図１〜図３の振動アクチュエータと比較して、凹部に対応する振動面１２ａの変形が更に均等に分散し、振動面１２ａの平面度の劣化が更に低減し、更に良好な平面度が得られる。
【実施例３】
【００５０】
図５は更に別の一実施例を示す部分平面図である。図示の振動アクチュエータは、取付部４２の外周側のみに凹部４３が形成されている点が図１〜図４に示した振動アクチュエータと相違する。
【００５１】
本実施例の振動アクチュエータは、図１〜図４に示した振動アクチュエータと同様の構成要素を含むので、同様の優れた作用効果を奏することができる。
また、本実施例では、軸７１（図１参照）と対向する取付部４２の内周（内側面）に凹部４３が形成されておらず、取付部４２の内側面が凹凸のない滑らかな形状であるから、軸７１の回転特性が向上することとなる。
【実施例４】
【００５２】
図６は更に別の一実施例を示す部分正面図である。図示の振動アクチュエータは、取付部材４０の側面から見て、凹部４３が略三角形の切欠きである点が図１〜図５に示した振動アクチュエータと相違する。
【００５３】
図６に示した振動アクチュエータは、図１〜図５に示した振動アクチュエータと同様の構成要素を含むので、同様の優れた作用効果を奏することができる。
【実施例５】
【００５４】
図７は更に別の一実施例を示す部分正面図である。図７において、凹部４３は、取付部材４０の側面から見て曲線形状である。
図７に示した振動アクチュエータは、図１〜図６に示した振動アクチュエータと同様の構成要素を含むので、同様の優れた作用効果を奏することができる。
【実施例６】
【００５５】
図８は更に別の一実施例を示す断面図である。図示の振動アクチュエータは、弾性体１２の外側面１１３にフランジ部１２ｄが形成されている点が図１〜図７に示した振動アクチュエータと相違する。
【００５６】
図８に示した振動アクチュエータは、図１〜図７に示した振動アクチュエータと同様の構成要素を含むので、同様の優れた作用効果を奏することができる。
【実施例７】
【００５７】
図９は電子機器の一実施例を説明するブロック図である。以下の実施例は、電子機器として、カメラを例にとって説明するが、本発明の電子機器は、カメラ鏡筒、スチールカメラ、ビデオカメラ等の光学機器に限らず、携帯電話等の通信機器などであってもよい。
【００５８】
図９に示した電子機器３は、ＣＰＵ等から供給された駆動指令（目標位置情報）および検出部９５から供給された検出信号等に基づいて、光学要素９９を目標位置に位置決めする制御信号を生成する制御部９１と、制御部９１から供給される制御信号により駆動信号を生成する発振部９２と、発振器で発生した駆動信号を９０゜位相の異なる２つの駆動信号に分ける移相部９３と、移相部９３によって分けられた２つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する増幅部９４１、９４２と、上述した本発明に係る振動アクチュエータ１と、レンズなどの光学要素９９（駆動体）と、光学要素９９の位置情報、速度情報、振動アクチュエータ１の駆動状態等を検出する検出部９５とを含む。
【００５９】
上述した電子機器３は、以下の様にして動作する。
まず、発振部９２は制御部９１から供給された制御信号により所望の周波数の駆動信号を生成する。駆動信号は、位相部９３により９０゜位相の異なる２つの駆動信号に分割され、増幅部９４１、９４２により所望の電圧に増幅され、振動アクチュエータ１に含まれる圧電体１３（図２参照）のＡ、Ｂ相１３１、１３２（図２参照）に印加される。駆動信号が印加された圧電体１３は励振し、その励振により弾性体１２の振動面１２ａに進行性振動波が生じる。
【００６０】
振動アクチュエータ１は、レンズなどの光学要素９９（駆動体）に接続されており、光学要素９９を駆動する。検出部９５は、光学要素９９に取付けられた光学式エンコ−ダ、磁気エンコ−ダ等から光学要素９９の位置情報等に対応する電気パルスが供給され、これをを制御部９１にフィードバックする。
【００６１】
図９に示した電子機器３は、図１〜図８に示した振動アクチュエータ１を含むので、上述した振動アクチュエータ１により得られる優れた作用効果を享受することができる。
（変形例）
本実施例は、以下の変形も可能である。
（１）本発明に係る駆動装置は、固定子に限定されるものではなく、移動子等であってもよい。
（２）本発明に係る駆動装置は、取付部材４０の土台部４１及び取付部４２の一方はＧＦ含有ポリカーボネイト等の樹脂材料で構成し、他方は銅合金などの金属材料で構成することが好ましい。双方を金属材料で構成すると、ビビリによる異音が発生するおそれがあり、双方を樹脂材料で構成すると締め付け力が得られないおそれがあるからである。
（３）本発明において、振動体は圧電体により振動するものに限定されるものでなく、例えば、磁歪素子等により振動するものであってもよい。
（４）本発明に係る振動アクチュエータは、いわゆるリング型の振動アクチュエータに限定されるものではなく、いわゆるペンシル型など種々の振動アクチュエータに適用することができる。
【００６２】
なお、本第1実施例〜第７実施例及び変形例は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は、以上説明した各実施例によって限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施例１の断面図である。
【図２】図１に示した振動アクチュエータの部分拡大図である。
【図３】図１に示した振動アクチュエータの振動体および取付部材の外観を示す図である。
【図４】実施例２の部分平面図である。
【図５】実施例３の部分平面図である。
【図６】実施例４の部分正面図である。
【図７】実施例５の部分正面図である。
【図８】実施例６の断面図である。
【図９】電子機器の実施例のブロック図である。
【符号の説明】
【００６４】
駆動装置 １０
移動子 ２０
振動体 １１
圧電体 １３
弾性体 １２
振動面 １２ａ
フランジ部 １２ｄ
取付部材 ４０
取付部 ４２
凹部 ４３
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動面に進行性振動波を生じさせる振動体と、前記振動体に取り付けられる取付部材とを含む駆動装置であって、
前記振動体は前記振動面とは異なる面にフランジ部を有し、
前記取付部材は前記フランジ部に取り付けられる取付部を有し、
前記取付部は前記フランジ部に対向する部分に複数の凹部を有することを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載された駆動装置であって、
前記複数の凹部は３つ以上であることを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載された駆動装置であって、
前記フランジ部は前記振動面と略直交する前記振動体の側面に備えられていることを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項３に記載された駆動装置であって、
前記振動体は、駆動信号により励振される圧電体と、前記圧電体に取付けられた弾性体とを含み、
前記弾性体は、その側面に前記フランジ部を有し、前記圧電体の励振により前記振動面に進行性振動波を生じさせることを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項４に記載された駆動装置であって、導電性を有する導電接合部を含み、
前記導電接合部の少なくとも一部は、前記振動面の裏面において、前記圧電体から前記フランジ部にわたって設けられ、前記圧電体と前記弾性体とを電気的に接続しており、前記凹部のうち少なくとも一つは、前記導電接合部に対応して備えられていることを特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された駆動装置であって、
前記凹部は、切欠きであり、前記凹部のそれぞれは、前記取付部の外周に沿って、互いに間隔を隔てて形成されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項７】
請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された駆動装置であって、
前記凹部は、凹溝であり、前記凹部のそれぞれは、前記取付部の外周に沿って、互いに間隔を隔てて形成されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された駆動装置であって、
前記振動体は、前記振動面を貫通する貫通孔を有し、
前記フランジ部は、前記貫通孔により形成された前記振動体の内側面に形成されていることを特徴とする
駆動装置。
【請求項９】
請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された駆動装置であって、
前記フランジ部は、前記振動体の外側面に形成されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９までの何れか１項に記載された駆動装置と、前記振動体の前記振動面に加圧接触される移動子とを含む振動アクチュエータであって、
前記移動子は、前記進行性振動波によって前記駆動装置と相対運動することを特徴とする
振動アクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１０に記載された振動アクチュエータを用いたことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
振動面に進行性振動波を生じさせる振動体と、前記振動体に取り付けられる取付部材とを含む駆動装置であって、
前記振動体は前記振動面とは異なる面にフランジ部を有し、
前記取付部材は前記フランジ部に取り付けられる取付部を有し、
前記取付部は前記フランジ部に対向する部分に複数の凹部を有することを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載された駆動装置であって、
前記複数の凹部は３つ以上であることを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載された駆動装置であって、
前記フランジ部は前記振動面と略直交する前記振動体の側面に備えられていることを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項３に記載された駆動装置であって、
前記振動体は、駆動信号により励振される圧電体と、前記圧電体に取付けられた弾性体とを含み、
前記弾性体は、その側面に前記フランジ部を有し、前記圧電体の励振により前記振動面に進行性振動波を生じさせることを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項４に記載された駆動装置であって、導電性を有する導電接合部を含み、
前記導電接合部の少なくとも一部は、前記振動面の裏面において、前記圧電体から前記フランジ部にわたって設けられ、前記圧電体と前記弾性体とを電気的に接続しており、前記凹部のうち少なくとも一つは、前記導電接合部に対応して備えられていることを特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された駆動装置であって、
前記凹部は、切欠きであり、前記凹部のそれぞれは、前記取付部の外周に沿って、互いに間隔を隔てて形成されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項７】
請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された駆動装置であって、
前記凹部は、凹溝であり、前記凹部のそれぞれは、前記取付部の外周に沿って、互いに間隔を隔てて形成されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された駆動装置であって、
前記振動体は、前記振動面を貫通する貫通孔を有し、
前記フランジ部は、前記貫通孔により形成された前記振動体の内側面に形成されていることを特徴とする
駆動装置。
【請求項９】
請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された駆動装置であって、
前記フランジ部は、前記振動体の外側面に形成されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９までの何れか１項に記載された駆動装置と、前記振動体の前記振動面に加圧接触される移動子とを含む振動アクチュエータであって、
前記移動子は、前記進行性振動波によって前記駆動装置と相対運動することを特徴とする
振動アクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１０に記載された振動アクチュエータを用いたことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００７−１５９２１１（Ｐ２００７−１５９２１１Ａ）
【公開日】平成１９年６月２１日（２００７．６．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−３４８６０５（Ｐ２００５−３４８６０５）
【出願日】平成１７年１２月２日（２００５．１２．２）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年６月２１日（２００７．６．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年１２月２日（２００５．１２．２）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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