【課題】圧電定数を向上させた圧電素子、前記圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】一対の電極４０１，４０２と、一対の電極４０１，４０２に接して設けられた圧電材料４０３を少なくとも有する圧電素子４１０であって、圧電材料４０３はチタン酸バリウムを主成分とする結晶粒４０４、４０９の集合体４０５からなり、集合体４０５の結晶粒の中の少なくとも電極４０１と接している結晶粒４０４が、粒内に転位層４０７を有する。 （もっと読む）

【課題】構成が簡易でかつ簡単な制御で駆動できるアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ（２）は、ずり圧電性材料で構成された薄膜（１６）と、薄膜（１６）の第１の主面に形成された第１の電極と、薄膜（１６）の第２の主面に形成された第２の電極を備え、第１の電極と第２の電極間に所定の交流電圧を印加することで薄膜（１６）の少なくとも一の端縁部において駆動力を発生させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電特性が良好なＢｉ系圧電材料を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表されるペロブスカイト型金属酸化物からなる圧電材料。


（式中、ＡはＢｉ元素または３価の金属元素から選択される少なくともＢｉ元素を含む１種類以上の元素を表す。ＭはＦｅ、Ａｌ、Ｓｃ、Ｍｎ、Ｙ、Ｇａ、Ｙｂのうちの少なくとも１種の元素を表す。０．９≦ｘ≦１．２５、０．４≦ｊ≦０．６、０．４≦ｋ≦０．６、０．０９≦ｌ≦０．４９、０．１９≦ｍ≦０．６４、０．１３≦ｎ≦０．４８、ｌ＋ｍ＋ｎ＝１である。） （もっと読む）

【課題】配向性の良好な配向性酸化物セラミックスの製造方法を提供する。
【解決手段】酸化物結晶Ａを還元処理して、前記酸化物結晶Ａと同じ結晶系を有する酸化物結晶Ｂを得る工程と、前記酸化物結晶Ｂを含むスラリーを得る工程と、前記酸化物結晶Ｂに磁場を印加するとともに前記酸化物結晶Ｂの成形体を得る工程と、前記成形体を酸化処理して酸化物結晶Ｃからなる配向性酸化物セラミックスを得る工程を有する配向性酸化物セラミックスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】配向性の良好な配向性酸化物セラミックスの製造方法を提供する。
【解決手段】酸化物結晶Ｂを含むスラリーを得る工程と、前記酸化物結晶Ｂに磁場を印加するとともに前記酸化物結晶Ｂの成形体を得る工程と、前記成形体を酸化処理して、前記酸化物結晶Ｂの一部もしくは全体とは異なる結晶系を有する酸化物結晶Ｃからなる配向性酸化物セラミックスを得る工程を有する配向性酸化物セラミックスの製造方法。（１）原料を反応、（２）酸化物結晶Ａを還元、または（３）酸化物結晶Ａを高温に保持、急冷することで得られた酸化物結晶Ｂを含むスラリーを用いることができる。 （もっと読む）

【課題】菱面体晶構造と正方晶構造を混在させた良好な圧電性を有する圧電薄膜および圧電素子を提供する。
【解決手段】ペロブスカイト型金属酸化物よりなる圧電薄膜であって、前記ペロブスカイト型金属酸化物の結晶系が少なくとも菱面体晶構造と正方晶構造を有する混在系であり、かつ前記正方晶構造のａ軸長とｃ軸長の比が１．１５≦ｃ／ａ≦１．３０である圧電薄膜。基板上に、圧電薄膜と、該圧電薄膜に接して設けられた一対の電極とを有する圧電素子であって、前記圧電薄膜が上記の圧電薄膜である圧電素子。 （もっと読む）

【課題】制御対象となる作用素の数が増大した場合であっても、所望の作用を呈するように容易に制御することが可能な駆動システムを提供する。
【解決手段】外部の環境に対して所定の作用を呈する作用素１３と、作用素１３を駆動する駆動源１２とを有する駆動体１４を複数備え、複数の駆動体１４、１４、・・・を、一の信号源１１が発する信号に応じて動作するように制御する。外部の環境に対して呈する作用による環境の変化に関する情報を取得するセンサ１５を有し、センサ１５が取得した環境の変化に関する情報に基づいて、信号源１１が発する信号を調整する。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波アクチュエータにおいて、簡単な構成により、移動子の固定子表面との接触部の磨耗量を予測し、磨耗限界の予測を実現可能とする。
【解決手段】弾性表面波アクチュエータ１は、弾性表面波Ｗを励振する交差指電極４を表面に有する圧電基板からなる固定子２と、弾性表面波励振用の電力を交差指電極４に供給する高周波電源１１と、交差指電極４と高周波電源１１とによって圧電基板（固定子２）の表面に励振される弾性表面波Ｗにより駆動される移動子３と、加減速を含む単位駆動サイクルにおける移動子３の固定子２表面との接触部の磨耗量を算出する磨耗量算出部１２と、算出された磨耗量を積算する磨耗量積算部１３と、積算された積算磨耗量を表示する出力部１４と、を備えている。移動子３の接触面の磨耗は加減速時に発生するので、単位駆動サイクルの発生回数に基づいて積算磨耗量が算出され、磨耗限界が予測され、出力部１４に表示される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の振動変位を確保したまま、充分な耐衝撃性能が得られ、かつ圧電素子が破壊されることがない駆動装置を実現する。
【解決手段】本発明の駆動装置は、電気的制御により伸縮する圧電部材２２Ｘ・２２Ｙと、圧電部材２２Ｘ・２２Ｙよりも大きいシム材２１とを有し、圧電部材２２Ｘ・２２Ｙとシム材２１とが張り合わされた屈曲変位部材１Ａ・１Ｂを備え、屈曲変位部材１Ａ・１Ｂを駆動源として鏡筒４を駆動する駆動装置である。そして、鏡筒４を駆動するのに必要な屈曲変位部材１Ａ・１Ｂの屈曲変位量の中で最大の変位量を最大屈曲変位量としたとき、最大変位量を超えて過屈曲変位する屈曲変位部材１Ａ・１Ｂにおける圧電部材２２Ｘ・２２Ｙと接触しない位置に配され、かつ屈曲変位部材１Ａ・１Ｂにおけるシム材２１の過屈曲変位を制限する突起部８を備えたので、充分な耐衝撃性能が得られ、かつ圧電素子が破壊されることがない。 （もっと読む）

【課題】発熱が少なく、高入力電力による非線形性のための周波数変化が少なく、鉛フリーで、モータの制御性を改善した超音波モータを実現し、ＭＥＭＳ技術を応用することにより超小型超音波モータを提供する。
【解決手段】
水晶で代表される三方晶系の単結晶圧電材料のＺ板の３回対称軸である３本のｘ軸を中心軸とする３脚振動子をステータ１０とし、前記３本の振動子１１，１２，１３の共振周波数は２０ｋＨｚを越えるように長さ等の寸度を振動モードに応じて設定して、中心にロータ２０を配置し、各３本の振動子を各々２π／３位相差がある同一周波数の信号で駆動することにより、３本の振動子の先端部の変位が円運動を実現し、３本のステータに接しているロータ２０を摩擦により回転させる超音波モータを構成した。 （もっと読む）

【課題】 許容負荷荷重の増大と装置のコンパクト化も図ることが可能な超音波浮上装置を提供すること。
【解決手段】 固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、 上記固定部又は可動部に設けられた超音波振動発生装置と、を具備し、上記超音波振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記超音波振動発生装置を圧電素子から構成し、該圧電素子を上記固定部に直接接合するように構成したことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】
励振手段の破損を防止でき、しかも固定子の耐久力を向上できる弾性表面波アクチュエータを提供する。
【解決手段】
弾性表面波アクチュエータは、圧電基板２と該圧電基板２の表面に形成されて圧電基板２に弾性表面波を発生させる励振手段となる電極３ａ，３ｂとを備える固定子１と、電極３ａ，３ｂが形成される励振用部位Ｐ１を除く圧電基板２の表面部位Ｐ２に所定の圧力で接触されて弾性表面波により移動させられる移動子４とを具備し、移動子４を接触移動させる移動用部位Ｐ３を含む圧電基板２の表面部位Ｐ２には、圧電基板２よりも高い硬度を有する硬質膜５が形成され、硬質膜５は、移動子４と電極３ａ，３ｂとが干渉しない程度の膜厚を有している。 （もっと読む）

【課題】 付勢方向に大型化しない圧電体振動子の与圧機構を提供する。
【解決手段】 与圧機構１は、移動部１０、２０と、移動部１０、２０を第１方向ｘに移動させる圧電体振動子３０を有する固定部と、移動部１０、２０と連動して第１方向ｘに移動し、２つの腕部４１ａ、４１ｂ（４２ａ、４２ｂ）を有し、２つの腕部を含む面上で且つ２つの腕部の間に生じる回転方向の力によって移動部１０、２０を与圧し、与圧によって圧電体振動子３０を、第１方向ｘと垂直な第２方向ｙに付勢する与圧部４１、４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】
小型かつ軽量で、安定した変位及び位置決め，あるいは、回転方向の自在な制御が可能な駆動装置及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】
駆動装置１０は、鏡筒３４に支持されたレンズ３６の光軸方向に沿って配置され、一端が通路３０の底面３２に固定されている。前記鏡筒３４の外周面には、略円筒状のガイド３８が設けられている。該ガイド３８には、適宜間隔で光軸方向に沿って複数のスリット４０が形成されている。前記駆動装置１０は、振動板１２の両主面に、圧電素子１６，２２を設けたバイモルフ構造となっており、前記振動板１２の露出部１２Ａの主面には、振動の節に相当する位置に、突起部１４が設けられている。該突起部１４を前記スリット４０から鏡筒３４に当接させ、圧電素子１６，２２の駆動電極に、時間的に非対称な駆動信号を入力すると、非対称駆動する突起部１４によって、鏡筒３４が一定方向に安定して変位する。 （もっと読む）

【課題】エネルギ回収型の弾性表面波モータにおいて、弾性表面波に生じる位相変化を調整してエネルギ効率の向上を図る。
【解決手段】弾性表面波モータ１は、弾性表面波素子基板２と、弾性表面波素子基板２の表面Ｓの弾性表面波進行方向の前後に配置されてエネルギの回収と供給を行うことによりエネルギの環流を行う一方向性櫛形電極３１，３２と、弾性表面波素子基板２の表面Ｓであって一方向性櫛形電極３１，３２の間に配置され外部電源Ｖ１，Ｖ２に接続されるエネルギ補填用櫛形電極４１，４２と、予圧Ｆが付与された状態で表面Ｓ部分に接触、配置されるスライダ５と、を備えている。スライダ５の接触面５０の弾性表面波の進行方向と直交する幅方向の全幅ａと、各一方向性櫛形電極３１，３２及びエネルギ補填用櫛形電極４１，４２における電極重なり幅ｂとは略等しい寸法とされている。 （もっと読む）

【課題】 振動波駆動装置の性能を確保したままで、積層圧電素子の外形加工を容易化すると共に、積層圧電素子の不良の発生を抑制し、積層圧電素子及び振動波駆動装置のコスト低減を実現可能とした積層圧電素子、振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】 積層圧電素子１は、圧電層１１、複数の圧電層１２、複数の圧電層１３を備える。振動波モータ５０は、積層圧電素子１、第１の弾性体５２、第２の弾性体５３、第３の弾性体５４を有する振動子５１、シャフト５５、ロータ５９、ギア６０を備える。積層圧電素子１における第１及び第２の弾性体５２、５３と対向する挟持接触部の外周側角部に面取りを施し、内部電極の外形寸法を、積層圧電素子１における挟持接触部の外形寸法と同一か又は該外形寸法よりも大きく設定し、内部電極の外周側端部を、積層圧電素子１の外周面に対して非露出状態とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電駆動部の端部における絶縁破壊の発生を抑制し、かつ、機械的強度を適切に保持した積層型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 アクチュエータ１０は、圧電セラミックス層１１と内部電極層１２とが交互に積層されてなる圧電駆動部２と、圧電セラミックス層１１どうしがその中央部で接合層１４により接合され、その外周部に圧電セラミックス層１１どうしが不連続となる不連続層１５が形成されてなる応力吸収層部３と、圧電不活性な保護層部４とを有している。接合層１４の中心から外周までの距離ｃと、内部電極層１２の中心から外周までの距離ａとを、０．７３≦ｃ／ａ≦０．９５、の関係が満たされるように設定する。 （もっと読む）

【課題】移動機構の小型化を現実のものにすることが期待されている。本発明はこの課題を解決するためになされたもので、微小作業機械を駆動することができる、小型でシンプルかつ高性能な振動駆動移動体を提供するものである。
【解決手段】単体または複数の振動子3と、振動子3に接続してループを形成する弾性体2を一体化し、載置面5に接触する少なくとも3の接地脚を有し、交流電源6によって駆動された振動子3の振動が載置面5に伝達され、少なくとも3の接地脚が位相差を持って振動することによって、該接地脚と載置面5との摩擦により載置面5上を移動することを特徴とする振動駆動移動体1。 （もっと読む）

【課題】 複数の圧電アクチュエータの駆動時に消費電流過多によるシステムダウンを回避でき、回路構成の複雑・大型化を防止できる圧電アクチュエータの駆動方法の提供。
【課題手段】 複数の圧電アクチュエータを駆動する圧電アクチュエータの駆動方法であって、前記各圧電アクチュエータは、所定の周波数の駆動信号２０１，２０２が圧電素子に与えられることで振動する振動体を備える。各圧電素子へ供給する駆動信号２０１，２０の周波数を所定範囲でスイープさせるとともに、圧電素子へ供給する駆動信号２０１，２０のスイープ開始タイミングをΔＴだけずらして制御することで、各圧電素子の消費電流が最大となるタイミングをずらす。これにより、各圧電アクチュエータの合計消費電流２１０のピーク値を抑えることができ、電流過多によるシステムダウンを回避できる。 （もっと読む）

【課題】 被駆動部材の駆動時間を短縮できるとともに、基準位置に対する被駆動部材の停止位置の精度を向上させることができる制御装置を提供する。
【解決手段】 駆動源（１）を第１の速度で駆動する第１の駆動制御を行い、検出手段（７、８）での検出タイミングで、第１の速度での駆動を停止させる第２の駆動制御を行い、第２の駆動制御の後、第２の速度であって、第１の速度での駆動方向とは異なる方向に駆動源を所定量駆動する第３の駆動制御を行う。第３の駆動制御の後、第１および第２の速度よりも低い第３の速度であって、第２の速度での駆動方向とは異なる方向に駆動源を駆動する第４の駆動制御を行い、検出手段での再度の検出タイミングで、第３の速度での駆動を停止させる第５の駆動制御を行う。 （もっと読む）