【課題】複数のセンサー素子間での特性バラツキを抑制し、所望の歩留まりが得られる超音波アレイセンサーおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】超音波アレイセンサーにおいて、センサー素子２は、圧電体層８の平面パターンが下部電極５の平面パターンよりも外側にはみ出しておらず、上部電極３の平面パターンが圧電体層８の平面パターンよりも外側にはみ出していない。下部電極引き回し配線６は、コンタクトホール１３を介して下部電極５と電気的に接続され、コンタクトホール１３の箇所を除いて圧電体層８の一面上に配置されている。上部電極引き回し配線４は、下部電極引き回し配線６の延在方向と交差する方向に延在して上部電極３と一体に形成され、圧電体層８の一面上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】広域周波数スペクトルで均一な応答特性を持つ音響変換器及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】 基板上に設けられた複数の駆動ユニットグループ（１０、２０、３０）を備え、複数の駆動ユニットグループは、第１及び第２駆動ユニットグループを備え、第１及び第２駆動ユニットグループそれぞれは、少なくとも一つの電極を備え、第１駆動ユニットグループは第１位相で駆動され、第２駆動ユニットグループは第１位相と異なる第２位相で駆動される。複数の駆動ユニットグループは、他の周波数範囲で比較的均一な周波数応答特性を提供する。 （もっと読む）

【課題】接着作業が容易で、強度が高く、防水シールド性に優れた超音波送受信装置を提供する。
【解決手段】超音波送受信器の外側に取り付けるクッションの内側と外側に、接着剤を流し込むための溝１２を設け、溝に注入した接着剤によって、クッションを超音波送受信器に接着する。接着剤を溝に流し込むことで、接着剤が出すことなく所定の位置に塗布される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で短絡を懸念することなく圧電振動子を配線することができる発振装置を提供する。
【解決手段】電気音響変換器１００は、圧電セラミック１１１の表面と側面と裏面の一部とに連続的に表面電極層１１２が形成されており、表面電極層１１２と干渉しない範囲で圧電セラミック１１１の裏面に裏面電極層１１３が形成されている。弾性振動板１３０の表面に形成されている第一配線層１２１が裏面電極層１１３に導通することなく表面電極層１１２と導通しており、弾性振動板１３０の表面に形成されている第二配線層１２２が表面電極層１１２に導通することなく裏面電極層１１３と導通しており、第一配線層１２１と第二配線層１２２との間隙および表面電極層１１２と裏面電極層１１３との間隙を絶縁材１４０が充填している。 （もっと読む）

【課題】金電極同士間の接着性を向上し、送受信特性を高めた積層型超音波振動子、それを用いた超音波探触子、及び超音波医用画像診断装置を提供する。
【解決手段】圧電層と電極が交互に厚さ方向にそれぞれ三層以上積層された積層型超音波振動子であって、当該圧電層は有機高分子材料により構成されており、当該電極は金属で構成されており、かつ当該電極同士はメルカプト基（−ＳＨ基）又はジスルフィド結合（−Ｓ−Ｓ−）を有する化合物又はその反応生成物を含有する接着層を介して接着されていることを特徴とする積層型超音波振動子。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アクティブ・ソナーシステムに関し、特にカーボンナノチューブを利用したアクティブ・ソナーシステムに関するものである。
【解決手段】本発明のアクティブ・ソナーシステムは、少なくとも一つの送信装置と、少なくとも一つの受信装置と、電気キャビネットと、を含む。前記送信装置は、少なくとも一つの送信トランスデューサを含む。前記送信トランスデューサは、少なくとも一つの第一電極と、少なくとも一つの第二電極と、音響素子と、を含む。前記音響素子はカーボンナノチューブ構造体を含む。該カーボンナノチューブ構造体は、前記第一電極及び第二電極に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、圧電層と印刷回路基板との間の接合不良による性能低下を防止できるように構造を改善した超音波診断装置用プローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】吸音体１１０，１１１を備える吸音層と、互いに離隔して形成される複数の電極を備えており、前記各吸音体の間に挟まれて接合される第１連結部１２０と、前記複数の電極と電気的に連結されるように配置される圧電体とを備えた超音波診断装置用プローブを構成する。 （もっと読む）

【課題】超音波の送信時及び受信時のいずれにおいても最大限の性能を発揮できる、超音波センサーユニットを提供することを目的としている。
【解決手段】圧電体３からなる超音波送信用センサー５２を送信側表面に複数有する超音波送信用センサーアレイと、圧電体３からなる超音波受信用センサー５３を受信側表面に複数有する超音波受信用センサーアレイと、を備え、各センサーアレイは、超音波送信用センサー５２及び超音波受信用センサー５３が平面視した状態で重なっておらず、かつ、送信側表面と受信側表面のどちらか一方が、超音波送信センサー５２の超音波送信方向と逆方向を向き、送信側表面と受信側表面で貼り合わされ、センサーアレイには、他方のセンサーアレイの超音波センサー５３を露出させる貫通孔１１ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度に超音波を発生することが可能な超音波センサを提供する。
【解決手段】超音波センサ１０は、基板１と、第１および第２ねじれ梁１１、１２と、第１および第２回転フレーム７１、７２と、第１および第２駆動リンク梁３１、３２と、駆動フレーム２１と、駆動電極５と、第１および第２振動リンク梁４１、４２と、振動フレーム２２と、検出電極６とを備える。第１駆動リンク梁３１は、第１回転フレーム７１の一方端部側に第１ねじれ軸Ｔ１を移動した軸上に位置する。第２駆動リンク梁３２は、一方端部側への第１ねじれ軸Ｔ１の移動の方向と逆方向に第２ねじれ軸Ｔ２を移動した軸上に位置する。第１振動リンク梁４１は、第１ねじれ軸Ｔ１と交差する方向に沿って第１回転フレーム７１の他方端部側に第１ねじれ軸Ｔ１を移動した軸上に位置する。第２振動リンク梁４２は、一方端部側への第１ねじれ軸Ｔ１の移動の方向に第２ねじれ軸Ｔ２を移動した軸上に位置する。 （もっと読む）

【課題】残響時間の延長の解消が可能な障害物検出装置を提供する。
【解決手段】それぞれ圧電素子１を有して圧電素子１により所定の検出範囲に対する超音波の送波と受波とが可能な２個の送受波ブロック７と、各送受波ブロック７をそれぞれ制御することにより検出範囲内の障害物を検出する検出動作を行う制御部８とを備える。各送受波ブロック７において、圧電素子１の一方の電極は、導電材料からなる振動ケースに対して接触導通しており、振動ケースを介して後段の回路に接続されている。制御部８は、検出動作を行う前に、予め各送受波ブロック７の圧電素子１をそれぞれ駆動する予備動作を行う。長期間の不使用による圧電素子１の上記電極と振動ケースとの電気的な接続状態の変化に伴う残響時間の延長が、予備動作によってある程度解消される。 （もっと読む）

【課題】 音響整合部材に圧電素子を装着した超音波センサであって、超音波検出素子の位置精度が高く、超音波の検出感度の高い超音波センサ及び超音波センサの製造方法を実現する。
【解決手段】 超音波センサ１０において、音響整合部材１２及び圧電素子１１は、受信面１２ａにおいて受信した超音波の伝達方向に沿って形成された溝状の空隙部１６により、超音波を分離して伝達し、検出可能な複数の超音波検出素子１３ｐ〜１３ｓに区画されているため、良好なクロストーク特性を得ることができ、超音波の検出感度を向上させることができる。また、超音波検出素子１３ｐ〜１３ｓは、空隙部１６の延長線上に形成される接続部１７により互いに接続されているため、所定の位置に配置されて一体的に形成されるので、超音波検出素子１３ｐ〜１３ｓの位置精度を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって共振周波数を制御できる超音波センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】一部に薄肉部１２０が形成された基板１１０と、基板１１０の厚さ方向において、２つの検出用電極１３２，１３３間に圧電体薄膜１３１を配置してなり、薄肉部１２０上に形成された圧電振動子１３０と、メンブレン構造体を構成する薄肉部１２０と圧電振動子１３０のうち、薄肉部１２０に所定電圧を印加するための調整用電極１４１，１４２と、を含み、印加された所定電圧に応じて、メンブレン構造体が変形する。 （もっと読む）

【課題】センサ感度のばらつきを低減し、センサ感度を向上することができる超音波センサを提供する。
【解決手段】一部に薄肉部１２０が形成された基板１１０と、薄肉部１２０上に形成され、圧電体薄膜１３１を２つの電極１３２，１３３間に配置してなる圧電振動子１３０とを含み、薄肉部１２０と圧電振動子１３０からなるメンブレン構造体が、所定周波数で共振するように構成された超音波センサ１００であって、メンブレン構造体は、構造体全体の内部応力が引張乃至ゼロに調整されており、基板１１０の平面方向において、メンブレン構造体の一部が圧縮応力部として構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、小型の中空キャパシタが形成可能な半導体装置を提供することにある。
【解決手段】同一基板１０上に、一対の対向電極１４、２４と対向電極の間にある中空部２３とで構成される中空キャパシタ部、及び半導体回路部１１ａ、１１ｂ、１２が形成され、中空キャパシタ部の中空部２３は、絶縁層１６、１７、１８で包まれており、絶縁層１７、１８には、中空部２３に接続する導入孔２２が形成されている。中空部２３を覆う絶縁層１７の表面は平坦化されており、中空部２３の側方に位置する厚い絶縁層１７が、中空部２３の上方に位置する薄い絶縁膜１７と上部電極２４を保持している。 （もっと読む）

【課題】超音波を送信及び／又は受信する超音波装置に関し、簡単な構成で組み立てが行なえる超音波装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、超音波を送信する超音波装置において、
圧電素子（１１２）と、底面に圧電素子（１１２）の一方の電極（１３３）が電気的に接続されるように収納するとともに、係合部（１２２）が形成されたケース（１１１）と、圧電素子（１１２）の他方の電極（１３２）に接続された第１の導電線材（１１３、１１５）と、接地電位とされる第２の導電線材（１１６）と、第２の導電線材（１１６）が接続されるとともに係合部（１２２）に係合して、第２の導電線材（１１６）とケース（１１１）とを接続する接続部材（１１４、２１１、３１１）とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】残響振動を短くするとともに、残留応力を低減することで感度を向上させ、且つ、共振周波数の均一化を図った超音波センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】超音波センサＡは、支持層１１の一部を絶縁層１２に達するまでエッチングすることによってメンブレン１５が形成されたＳＯＩ基板１０を備え、活性層１３の表面を熱酸化してシリコン酸化膜１４を形成するとともに、シリコン酸化膜１４の表面に下部電極１６、圧電薄膜１７および上部電極１８を積層してある。メンブレン１５上に形成された下部電極１６および圧電薄膜１７は、上部電極１８とＳＯＩ基板１０との間に存在する部分のみが残るようにパターニングされ、圧電薄膜１７及び両電極１６，１８を覆うようにしてシリコン酸化膜１４の表面全体にＦＣ薄膜１９を形成してある。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りながらも所望の周波数特性を再現性良く得ることが可能であり、しかも、従来に比べて音響抵抗を大きくすることができ、カットオフ周波数を低くすることが可能な音響センサを提供する。
【解決手段】音響センサチップ１の後面側に対向配置されるベース基板２と、音響センサチップ１とベース基板２との間に配置されるフレーム４とで、音響センサチップ１の後面側に配置され音響センサチップ１との間に背室６を形成するハウジングを構成している。ハウジングとの間で音響センサチップ１を囲むようにハウジングに封着されたシールドケース５は、音響センサチップ１の振動板部１２に対向する前壁５ａに音孔５１が形成され、音響センサチップ１は、支持部１１におけるシールドケース５の前壁５ａの後面との接合面に背室６と外部との間の音響抵抗を設定する通気用溝９が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 製造工程が簡単であって製造コストを軽減できる圧電共振型センサ素子の共振周波数の制御装置等を提供する。
【解決手段】 圧電共振型センサ素子である超音波センサ素子２０は強誘電体であるＰＺＴセラミックス薄膜層１７を２つの電極１６，１８で挟設してなり所定の共振周波数を有して超音波を検出する圧電共振型センサ素子で構成され、超音波センサ素子２０の測定動作中において、２つの電極１６，１８間に可変直流電圧源３０から所定の直流バイアス電圧を印加して超音波センサ素子２０の共振周波数を変化させる。超音波センサ素子２０からの出力信号の電流を電流増幅アンプ３１により増幅して検出信号として出力し、周波数カウンタ３２は検出信号の周波数を計測し、計測された周波数を示す信号をコンパレータ３３により所望の共振周波数に対応する直流電圧と比較しこれらが実質的に一致するように可変直流電圧源３０の直流バイアス電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】超音波センサの筐体として、樹脂製の筐体を採用した場合に、圧電振動子の電極との電気的導通を確保すること。
【解決手段】超音波センサ９０は、有底円筒状に形成された樹脂からなる内側筐体２１を有し、その底面部２１ａに導体膜６を接合する。圧電振動子１は、電極が形成された両側面の一方の面が導体膜６に貼り付けられる。これにより、電極と導体膜６とが接触して電気的に導通する。従って、リード線５を、導体膜６と、圧電振動子１の他方の面に形成された電極とに接続すれば、圧電振動子の両電極との電気的導通が確保される。 （もっと読む）

【課題】 より低い分極電圧で所望の配向度を有するように厚み方向に分極処理することができ、従って分極に際してのクラックが生じ難い圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 セラミックグリーンシート１の上面及び下面に金属材料を密着する工程と、金属材料２，３が上面及び下面に密着されたセラミックグリーンシート１を焼成し、セラミック焼結体１Ａを得る焼成工程と、セラミック焼結体１Ａから金属材料２，３を除去する除去工程と、焼成工程よりも後に行われ、セラミック焼結体１Ａの上面及び下面の間に電圧を印加して分極する分極工程とを備える、圧電素子の製造方法。 （もっと読む）