【課題】横波のエネルギー散逸を防止しながら従来例より電気機械結合係数の低下、および定在波モードの増大を抑圧した圧電薄膜共振器を実現する。
【解決手段】基板１４と、基板１４上に配され、一部が互いに対向するように配置された上部電極１１及び下部電極１２と、上部電極１１と下部電極１２との間に配された圧電膜１３とを備えた圧電薄膜共振器であって、上部電極１１上に配された質量体１６を備え、質量体１６は、上部電極１１における下部電極１２に対向する領域の端部の一部に配されている。 （もっと読む）

【課題】近年の圧電薄膜共振子フィルタに対する要求に対応すべく、横方向漏れを抑制し、低損失化することができる圧電薄膜共振子、フィルタ、通信モジュール、および通信装置を提供する。
【解決手段】基板５と、基板５上に配され、一部が互いに対向するように配置された上部電極１及び下部電極２と、上部電極１と下部電極２との間に配された圧電膜３とを備えた圧電薄膜共振子であって、圧電膜３は、上部電極１と下部電極２とが対向する部位に配され、上部電極１と基板５とが対向する領域の一部に絶縁膜４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】高い放射音圧をもち音圧の周波数帯域の広帯域化を実現し、例えば、医療用、計測用超音波センサとしても用いることが可能な積層型圧電素子を提供する。
【解決手段】積層型圧電素子は、面積が徐々に変化する内部電極を配設（Ｓ３）した圧電グリーンシートを積層した積層体を作製し（Ｓ５）、積層体の上面に整合層を圧縮一体化し（Ｓ７）、一体化した積層体及び整合層を一体として焼成し（Ｓ９）、側面の所定位置に電極と導通する一対の外部電極を形成し（Ｓ１１）、その後積層体側面の外部電極パターン配設部分を除く略全面にガラスペーストを塗布して塗布膜を形成し（Ｓ１３）、塗布膜が形成された積層体を加熱処理してガラス被膜を形成し（Ｓ１６）、積層体の下面にバッキング層を接着一体化（Ｓ１８）した後に、リード線を取り付け（Ｓ２１）、分極処理をして（Ｓ２２）製造される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電極を精度良く形成することにより、安定した振動特性で、高い信頼性を有する小型の水晶デバイスを提供することを目的としている。
【解決手段】水晶片上に電極が形成され、所定の周波数で振動する水晶デバイスであって、電極形成工程で水晶片と電極パターンを位置合わせするためのアライメントマークパターン１０を、水晶の結晶軸のＸ軸に対して平行な直線からなる多角形にする。
さらに、前記の水晶デバイスのフォトリソグラフィー法による製造方法であって、水晶ウェハー上に、水晶片の外形形状パターンと前記のアライメントマークパターンを有するマスク層を形成するマスク層パターニング工程と、水晶ウェハーをウェットエッチング法によって加工し、水晶片とアライメントマークを形成する水晶エッチング工程と、露光用マスクをアライメントマークに位置合わせして電極を形成する電極形成工程とを有する製造方法である。 （もっと読む）

【課題】導電性接着剤による固着強度を高め、振動周波数の変化を抑制して耐衝撃特性及び経時変化特性に優れた高安定用の水晶振動子を提供する。
【解決手段】スリットの上端が閉塞したサポータ７を適用し、応力感度軸となる少なくとも外周部２ヶ所を保持することを前提として、スリットに露出した水晶片１の端面のみならず、水晶片１の下面と舌片９、及び水晶片１の上面とサポータ７（スリット）の閉塞した上端内周面との間にも導電性接着剤１０を塗布し、導電性接着剤１０による固着強度を高める構成とした。 （もっと読む）

【課題】気密ガラスのクラックを防止して気密度を確実にした金属ベース及びこれを用いた水晶振動子を提供する。
【解決手段】少なくとも一対の貫通孔を有するベース本体５と、前記貫通孔を挿通して前記ベース本体５の外底面から延出するとともにガラス６によって気密化され、先端側に水晶片を保持するサポータ８が接続される一対のリード線とを有する水晶振動子用の金属ベースにおいて、前記リード線は第１リード部７ａ、第２リード部７ｂ及び釘頭部７ｈからなり、前記ベース本体５の外底面との境界部にて段差を有し、前記境界部より延出端側となる第１リード部７ａの直径は、前記境界部より前記貫通孔側となる第２リード部７ｂの直径よりも小さくした構成とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、不要振動の抑圧と感度の改善、または複数種類の不要振動を総合的に抑圧することのできる水晶振動片を提供する。
【解決手段】肉厚の振動部１４と肉薄の周縁部１６とを有するバイメサ型の水晶振動片１０であって、振動部１４の外形形状を矩形とすると共に、励振電極２０の中心と振動部１４の中心を一致させ、励振電極２０と周縁部１６のうちの少なくとも一方を構成する縁辺のうち、少なくとも長手方向に沿った中心軸と交差する縁辺部分のうちの一箇所を円弧状に形成し、厚み滑り振動と共に励起される屈曲振動の波長をλとした場合に、振動部１４における長手方向の寸法Ｌ２を


で示すことのできる寸法としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ハーメチックベースのネイルリードにサポータを容易に且つ確実に取り付けることができ、これによって量産性を可能にした水晶振動子を提供する。
【解決手段】水晶振動子（１００）は、両主面に設けた励振電極（３）及び励振電極と電気的に接続した端面電極（４）を外周部両端面に有する水晶片（１）と、水晶片の主面に対向して釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子（８）を有するベース（２）と、水晶片（１）を支えるとともに釘頭部に対して開口部（１４）を有する少なくとも一対のサポータ（９−１）と、開口部と釘頭部とを接続し所定の温度で溶融する接合材（１２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 振動部へのストレスの作用を防ぎつつエージング特性を向上させ、安定した固定状態とする。
【解決手段】 電極が形成された振動部、引回電極が設けられ前記振動部の外側に位置し切欠部が設けられてＣ型形状をなす枠部、前記振動部と前記枠部とをつなぐ接続部、前記枠部と前記接続部とに設けられる引出電極からなる水晶振動素子と、前記水晶振動素子の前記枠部を２点で支持・接合される２つ一対の外部引出部を備えたベース部と、このベース部に接合され、内部に前記水晶振動素子を気密封止するキャップ部とを備え、前記接続部が前記ベース部より最も離れて位置しており、前記切欠部が前記一対の外部引出部のうちいずれか一方の外部引出部との接合位置より前記ベース部側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】従来の実施の形態に関わる圧電素体について、分極するとき近接する部分の電極からスパークが生じ圧電素体に亀裂が発生する問題がある。このため分極時の歩留まりが下がったり印加電圧を下げ分極時間が長くなるため生産性が下がるためコストを上がる。更にスパークを抑えるため電極間の距離をあける事が必要で性能を下げてしまっている。
【解決手段】電極が近接する部分の形状を丸みをもたせた平行なギャップを設ける事で分極時の先端放電現象を抑え、スパークしにくくし圧電素体に亀裂が発生することを防止する。 （もっと読む）

【課題】スプラッシュの発生をより軽減することができ、より安価で信頼性の高い電子部品およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フランジを有する金属製のキャップ２と、フランジと金属製のリード端子１２を有するベース１と、当該ベースに搭載される電子素子を有し、前記ベースに前記キャップをかぶせ、前記ベースのフランジに前記キャップのフランジを当接した状態で抵抗溶接して気密封止された電子部品であって、前記キャップの表面および前記ベースの表面のうち、前記キャップのベースが当接するフランジ部分と、前記ベースのキャップが当接するフランジ部分を含み、内部表面に露出する金属部分には電解ニッケルメッキ１５のみが形成されており、外部表面に露出したリード端子には少なくとも無電解ニッケルメッキ１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】抵抗溶接によりベースとキャップとを接合するのに対してスプラッシュが発生するのを防止する。
【解決手段】水晶振動子１の本体筐体４は、ベース２とキャップ３とから構成され、本体筐体４の内部空間５に水晶振動素子６が設けられている。接合材７は、結晶構造が面心立方形であり、ベース２とキャップ３との接合時に塑性変形するとともに拡散接合されている。また、本体筐体４にはフランジ４１が形成され、このフランジ４１においてベース２とキャップ３とが接合材７を介して低温低圧により接合されている。また、本体筐体４のフランジ４１に、接合材７の塑性変形による応力を緩衝する緩衝材８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】並列共振器における各共振器素子の構造及び各共振器素子の振動部にかかる応力を等しくしてＱ値の向上を図る。この共振器を用いたフィルタ、通信装置を提供する。
【解決手段】空間を挟んで下部電極２６、２７と振動部２４を有した複数の共振器素子２１が並列接続され、複数の共振器素子２１が閉じた系となるように配置され、複数の共振器素子２１の振動部２４が連続して一体に形成されて成る。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の表面にＡｕ導電性ペーストを印刷及び焼成して形成したＡｕ膜状電極に対し、リード部材を導通接続する振動子の配線構造及び配線接続方法において、圧電振動子とリード部材の接続信頼性（耐久性）を高める。
【解決手段】Ａｕ膜状電極上のリード部材接続部に、少なくともＡｇを含むＡｇ系電極材料、あるいは、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｕのうちの１種または２種以上の合金からなるリード部材接続電極を形成し、このリード部材接続電極にリード部材を半田付けする。 （もっと読む）

【課題】圧電センサの信号回路接続に半田付け接続を用いているが、半田付けの部分の熱容量が大きくて半田こてからの熱が奪われて半田温度が十分の上昇できない状態になることがあり、半田付け作業に時間がかかりすぎるため単位時間当たりの生産数量に限界がある。この単位時間当たりの回路接続箇所数を大幅に増加させること。
【解決手段】回路接続部材としての接続端子７と容器の導電部６との間に導電性接着剤３を介在させて、導電性を確保して、さらに、回路接続部材間と接続導体としての導電性接着剤の３者にまたがり導電性接着剤３を覆い隠す非導電性接着剤５が塗布された状態とすることにより、機械的組み立て応力の残る容器の導電部６と回路基準電圧の接続端子７との間の電気的導通を確保しながら容器の導電部６と回路基準電圧の接続端子７との間の分離接続不良の発生を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】従来のマイクロメカニカル共振器よりも高い周波数帯域の共振周波数を利用することが可能なマイクロメカニカル共振器を提供する。
【解決手段】本発明に係るマイクロメカニカル共振器は、基板７上に、基板７と平行な平面形状が円形の共振子２と、共振子２を挟んで両側に配置された一対の電極30,31とを具えている。共振子２は、中央部に位置する薄肉円盤部20と、薄肉円盤部20よりも厚さが大きく薄肉円盤部20を包囲する厚肉環状部50とを有している。厚肉環状部50は基板７に支持され、一対の電極30,31は共振子２の薄肉円盤部20との間にギャップ部を形成している。共振子２に主電圧を印加すると共に、一対の電極30,31へ高周波信号を入力することによって、共振子２と一対の電極30,31との間の静電容量の変化が高周波信号として出力される。 （もっと読む）

【課題】従来のマイクロメカニカル共振器よりも高い周波数帯域の共振周波数を利用することが可能なマイクロメカニカル共振器を提供する。
【解決手段】本発明に係るマイクロメカニカル共振器は、円筒形状の共振子２を具えている。共振子２は、基板７と平行な面内で振動することが可能に支持されている。又、共振子２の外周面又は内周面に対向して第１乃至第８電極30〜37が円陣に配置され、第１乃至第８電極30〜37と共振子２の外周面或いは内周面との間にギャップ部が形成されている。共振子２に主電圧を印加すると共に、第１乃至第８電極30〜37のうちの所定の複数の電極に高周波信号を入力することにより、共振子２が共振する。 （もっと読む）

【課題】下部電極と圧電体薄膜との積層膜がベース基板から剥離するのを防止することが可能な共振装置の製造方法、共振装置およびＵＷＢ用フィルタを提供する。
【解決手段】ベース基板１の一表面側に中央部が上記一表面から離間する形で湾曲した下部電極３１を形成する下部電極形成工程と、ＰＺＴの成分元素を含む金属アルコキシドを溶媒に溶かした溶液を下部電極３１上に塗布する塗布工程と、塗布工程の後で上記溶媒を除去することによりＰＺＴ薄膜からなる圧電体薄膜３２の前駆体膜３２ａを形成する仮焼成工程と、仮焼成工程の後に前駆体膜３２ａを焼結することによりＰＺＴ薄膜からなる圧電体薄膜３２を形成するとともに下部電極３１を塑性変形させてベース基板１の上記一表面に密着させる焼結工程と、圧電体薄膜３２上に上部電極３３を形成する上部電極形成工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 正圧電効果を利用した場合の、圧力１Ｎ当りに発生する電荷量が大きくすることができるとともに、−４０〜２００℃の温度範囲での２５℃に対する発生電荷の温度安定性に優れる非鉛系の圧電磁器および圧電素子を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電磁器として、組成式がＢｉ_４Ｔｉ_３Ｏ_１２・ｘ｛（Ｓｒ_１−ａＣａ_ａ）_{（１−ｂ）}Ｂａ_ｂＴｉＯ_３｝と表され、１．３０≦ｘ≦１．７５、０．４０≦ａ≦０．６０、０≦ｂ≦０．２０を満足するビスマス層状化合物の主成分１００質量部に対して、ＭｎをＭｎＯ_２換算で０．０５〜１．５質量部含有するものを用いる
（もっと読む）

【課題】 圧動的ｄ_３３定数が大きく、２００℃の高温下においても使用可能であり、室温の動的ｄ_３３定数に対する２００℃の動的ｄ_３３定数の変化の小さい圧電磁器および圧電素子を提供する。
【解決手段】 圧電磁器を組成式でＢｉ_４Ｔｉ_３Ｏ_１２・β［（１−γＭ１ＴｉＯ_３・γＭ２Ｍ３Ｏ_３］と表したとき、０．４０５≦β≦０．４９８、０≦γ≦０．３を満足するとともに、Ｍ１が、Ｓｒ、Ｂａ、Ｃａ、（Ｂｉ_０．５Ｎａ_０．５）、（Ｂｉ_０．５Ｌｉ_０．５）および（Ｂｉ_０．５Ｋ_０．５）のうち少なくとも１種であり、Ｍ２が、Ｂｉ、Ｎａ、ＫおよびＬｉのうち少なくとも１種であり、Ｍ３が、ＦｅおよびＮｂのうち少なくとも１種であるビスマス層状化合物の主成分１００質量部に対して、ＭｎおよびＦｅのうち少なくとも１種を酸化物（ＭｎＯ_２、Ｆｅ_２Ｏ_３）換算の合量で０．０５〜１質量部含有することを特徴とする。 （もっと読む）