【課題】共振器の信号対ノイズ比の効果的な低減を可能にするのに十分に高い振動振幅を達成しながら、安定した様式でヒステリシス効果の抑制を実現することを可能にする、共振器を発見提供すること。
【解決手段】本発明は、少なくとも1つの変形可能な要素(20)と、少なくとも1つの第1の周波数での第1の作動力および少なくとも1つの第2の周波数での第2の作動力を同時に少なくとも1つの変形可能な要素に加えるための、この変形可能な要素のための作動手段(40、42、44)とを含み、第1および第2の周波数が作動力のうちの1つの周波数に等しい周波数で少なくとも2つの同時共振を生成する、電気機械共振器に関する。 （もっと読む）

【課題】振動部から漏れる振動を軽減させてＣＩ値を向上させる。
【解決手段】保持部１１１と振動部１１２とから構成され、振動部１１２に電極が形成される圧電振動片１１０ａと、圧電振動片を囲う枠部１３０と、圧電振動片１１０ａの保持部１１１と枠部１３０とに設けられて圧電振動片１１０ａを支持する支持部１４０とを備え、支持部１４０が金属膜であり、保持部１１１と枠部１３０とを少なくとも３箇所で支持して構成されることを特徴とし、圧電振動片が、屈曲振動モード、厚み滑りモード、輪郭モードのいずれかに対応する振動モードで振動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】優れた特性を有し、且つ製造が容易で歩留りの高い、安価で小型化された圧電薄膜共振子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１の第１の面上に形成された圧電薄膜１２と、該圧電薄膜１４を挟むように形成された下部電極１３及び上部電極１４とを有する圧電薄膜共振子１Ａであって、前記圧電薄膜１２が窒化アルミニウムで形成され、前記上部電極１４及び下部電極１３はそれぞれルテニウム又はルテニウム合金の層を含み、前記下部電極１３には、その下に形成された空隙１５に全体が露出しているとともに、前記下部電極より柔らかい材料による薄膜層１６が形成されていることを特徴とする圧電薄膜共振子。 （もっと読む）

【課題】共振器の出力特性に対する浮遊容量の効果が削減又は排除可能であるとともに、容易に実施可能である共振器を提供する。
【解決手段】共振器は、静電力によって起動可能な振動素子１と、振動素子１の第１励起電極２及び第２励起電極３と、を備え、ＡＣ信号生成器は、第１励起電極２及び第２励起電極３に接続され、同じ振幅で且つ逆位相の第１信号及び第２信号を第１励起電極２及び第２励起電極３へ送出する。第１ＤＣ電圧源８は、第３電極４に接続され、第２ＤＣ電圧源９は、第４電極５に接続され、追加電極６は、振動素子１に電気的に接続される。振動素子１の振動を表す信号は、振動素子１のアンカリングポイントによって形成される追加電極６によって提供され、且つ、第３ＤＣ電圧によってバイアスされる。 （もっと読む）

本発明は、新規のバルク弾性波（ＢＡＷ）共振器設計及びこれを製造する方法に関する。バルク弾性波共振器は共振器部分を備え、共振器部分には、共振器部分に連続閉路を形成するトレンチの形態を有する少なくとも１つの空隙が設けられる。共振器部分の外形寸法と同じ加工ステップで空隙を作製することにより、共振器の共振周波数に対するプロセスばらつきの影響を減らすことができる。本発明により、ＢＡＷ共振器の精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】検出用の振動領域及び参照用の振動領域を有する圧電センサーを用いた感知装置において、励振電極の形状を改良することにより高い測定感度が得られる感知装置を提供すること。
【解決手段】水晶片２０ａにおける、前記反応用流路５２の平面形状の輪郭である円５３の中心に対して互に左右に離間して対称に形成され、各々前後に平行に伸びる短冊状の左側領域及び右側領域を形成する。前記領域は、左側領域の左側の両角部１００及び右側領域の右側の両角部１００が前記円５３よりも外側に飛び出す大きさに設定され、外側に飛び出している角部１００を切り落として、左側領域及び右側領域が前記円５３よりも内側に位置するようにし、これら右側領域及び左側領域に夫々計測用の励振電極２１ａ及び参照用の励振電極２１ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動モードを利用し、電極厚とは別に調整しても、少なくとも電気機械結合係数を含む圧電振動子の複数の特性を変更できる構造を備える圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１は、周波数信号の印加により主面法線方向に屈曲振動する振動部を備える。この振動部は上主面電極２と圧電基板３と下主面電極４と誘電体層５とを含む複数の層を主面法線方向に積層した構成である。上主面電極２は、圧電基板３の上主面に設けられる。下主面電極４は圧電基板３の下主面に設けられる。誘電体層５は下主面電極４に積層される。 （もっと読む）

【課題】従来よりもインピーダンスを低減することが可能な共振器およびその製造方法、ならびにそのような共振器を備えた発振器および電子機器を提供する。
【解決手段】入力交流信号Ｓinの周波数に応じて縦波振動による共振振動を行う振動部１１内において、絶縁膜１１２を３つ以上設ける。振動部１１内における各絶縁膜１１２の面積（Ｙ−Ｚ端面の面積）の総和が大きくなり、従来よりもインピーダンスを低減することができる。なお、振動部の振動面内において、各絶縁膜１１２が、互いに直交する２方向のそれぞれに沿って振動するようにしたり、同心円の中心から外周方向へ向かって放射状に振動するようにしたり、円環状の振動部における周回方向に沿って振動するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】温度変動による圧電特性の低下を十分に抑制し、優れた圧電特性を維持することが可能な圧電磁器組成物を提供すること。
【解決手段】ペロブスカイト型酸化物を含有する圧電磁器組成物であって、ペロブスカイト型酸化物は、ＡサイトにＮａ、Ｋ、Ｌｉ、Ｂａ及びＳｒ、並びにＢサイトにＮｂ、Ｔａ及びＺｒを有し、−５０〜１５０℃の温度範囲内において結晶相転移をするものであり、結晶相転移に伴う吸熱量が４Ｊ／ｇ以下である圧電磁器組成物。 （もっと読む）

【課題】 従来の恒温槽型水晶発振器（ＯＣＸＯ）のユニットでは、基地局の保守点検作業等の際に発生した振動が、恒温槽型水晶発振器に影響を与え、周波数ズレや位相雑音等の劣化を招き、ＴＶ映像の乱れや雑音の原因となるという問題点があり、外部からの振動に対する耐性を向上させて、安定した基準信号を供給できるユニットにおける発振器の取り付け構造を提供する。
【解決手段】 恒温槽型水晶発振器内部の水晶片の切り欠き部１２に平行なＹ軸方向が、ユニットの挿入／抜き取り方向に一致するよう、恒温槽型水晶発振器をユニットの基板に取りつける取り付け構造であり、また、恒温槽型水晶発振器１をサブ基板２に搭載し、サブ基板２とメイン基板３とをゲルブッシュ６を介在させた状態でネジ等で固定した取り付け構造としている。 （もっと読む）

【課題】近年、工事の大深度化が進んでいるが、水中や土中では深度が深くなるほど外圧が増加する。従来の音波等の発振器では振動板の内側が密閉されており、大深度の場所では、振動板に大きな外圧がかかり、振動することができなくなる等の問題があった。そこで、大深度の外圧にも耐えることができ、土中のように音波等の周波数が大きいほど減衰が大きくなる場所において低周波数の音波等を発信することができ、かつ、小型化が可能な発振器を提供する。
【解決手段】発振器の筐体１１に開口部１６を設けることにより、外部の水などを筐体内に出入り自由とし、一対の超磁歪アクチュエータ１２ａ，１２ｂによって振動板１５を振動させて圧力波を発振する発振器。 （もっと読む）

【課題】、圧電振動子のパッケージ内部にＩＣ部品を組み込んだ圧電発振器において、共
通のパッケージを使用してサイズや形状が異なる複数種類の圧電振動素子を収容できるば
かりでなく、片持ち支持、及び両持ち支持の両支持構造に対応することができる圧電発振
器を提供する。
【解決手段】一端縁寄りに幅方向に沿って分離して配置された突起状の２つの素子搭載パ
ッド１０、１１を有し、他端寄りの幅方向中央部に突起状で且つ導電パッドを備えた第１
の枕部材１５を有し、長手方向略中央部の幅方向中央部に突起状で且つ導電パッドを備え
た第２の枕部材２０を有し、第１の枕部材と第２の枕部材との間にＩＣ部品収容凹所２５
を備えた絶縁基板４、素子搭載パッド上に搭載される圧電振動素子３０を備えた圧電振動
子２と、ＩＣ部品収容凹所内に収容されたＩＣ部品と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 外部環境温度の変化に伴うサポート部材の熱膨張性と熱伝導性の悪影響が生じないより信頼性の高い高安定向け水晶振動子を提供する。
【解決手段】 金属リード端子１１，１２が絶縁材を介して貫通植設されてなるベース１と、前記金属リード端子のインナー側に設けられた金属サポート１３，１４と、当該金属サポートに搭載されかつ金属ろう材３を介して接合される板状の水晶振動板２とからなる水晶振動子であって、前記金属サポートが水晶より低熱膨張性の金属材料からなり、金属サポートの外部表面には当該金属サポートより熱伝導率の高い金属膜Ｍが形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数を改善した、屈曲振動を利用する圧電振動子、および、安定した感度が得られる振動ジャイロ装置の提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ装置１は、圧電基板３と上面電極２と下面電極４とを備え、上面電極２と下面電極４との電位差に応じて主面法線方向に振動する。下面電極４は、電気機械結合係数が下限極値となる値から外した電極厚である。ここで、上面電極２には周波数信号が印加されるものであり、下面電極４は基準電位に接続されるものである。この振動ジャイロ装置の電気機械結合係数は下面電極４の電極厚を変更することで変化して電気機械結合係数の下限極値を示し、電気機械結合係数が下限極値となる値から下面駆動電極の電極厚が外れると、電気機械結合係数がクリップする値まで急峻に立ち上がる特性を有するものである。 （もっと読む）

【課題】共振中心周波数、帯域幅の調整が容易な結合共振器アレイ及びそれを使用したフィルタ並びに発振器を提供する。
【解決手段】結合共振器１６_ｉのアレイ１０は、入力電気信号Ｖｅを供給するための手段１２と、この入力電気信号を使用してアレイのＮ個の結合共振器１６_ｉを電気的に励起するための手段１４とを備える。電気励起手段１４は、これらＮ個の結合共振器１６_ｉのそれぞれに関して、入力電気信号に従ってこの結合共振器を作動させるために入力電気信号供給手段１２に接続された作動手段１８_ｉと、この結合共振器１６_ｉを作動させるための結合共振器固有の可変利得入力増幅手段２０_ｉとを備える。さらに、それらは、入力増幅手段２０_ｉのそれぞれの可変利得の特定の設定を制御するための手段２２を備える。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の電極に薄膜を形成する薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】無機膜形成装置は、処理チャンバ、処理チャンバ内において複数の水晶振動子９の第１電極９１および第２電極９２に処理蒸気を付与する処理蒸気付与部、および、処理チャンバの底部に設けられて複数の水晶振動子９の下方から処理チャンバ内のガスを排気する排気部を備える。無機膜形成装置では、水晶振動子９の第１電極９１および第２電極９２の斜め上方にそれぞれ位置する処理蒸気付与部の噴出口１４３４ｂ，１４３４ａから、第１電極９１および第２電極９２に向けて処理蒸気が噴出される。これにより、第１電極９１および第２電極９２の表面に薄膜を形成する際に、第１電極９１および第２電極９２以外の部位に処理蒸気が付与されることを抑制することができ、両電極以外の部位に処理材料が付着することを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子を保持する水晶振動子保持装置、および、水晶振動子保持装置を備える電極処理システムを提供する。
【解決手段】１対の電極から水晶片の両主面に平行に伸びるリードが固定部材９６に固定された水晶振動子９の電極に所定の処理を行う電極処理システムにおいて、水晶振動子９を保持するホルダ８１が、固定部材９６に形成された第１嵌合構造９６０と嵌り合う第２嵌合構造８１０を備え、第２嵌合構造８１０に設けられた開口から吸引が行われることにより第１嵌合構造９６０と第２嵌合構造８１０との嵌合状態が維持される。これにより、水晶振動子９を強固かつ位置精度良く保持することができる。また、水晶振動子９を保持する際に第１嵌合構造９６０と第２嵌合構造８１０との摩擦により発生するパーティクルが、第２嵌合構造８１０の開口から吸引されるため、水晶振動子９に対するパーティクルの付着を防止しつつ水晶振動子９を保持できる。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の電極に薄膜を再現性よく形成するとともに、成膜処理を効率よく行う。
【解決手段】主感応膜形成部６は、処理液を貯溜するとともに、処理液中に水晶振動子が浸漬されることにより、水晶振動子の電極に対して成膜処理を行う処理槽６１、処理液を貯溜するとともに、供給ライン６３および排出ライン６４を介して処理槽６１に接続される処理液タンク６２、並びに、成膜処理が行われている間に、処理液タンク６２内の処理液を設定温度に調整する温度調整部６５を備える。主感応膜形成部６では、成膜処理毎に処理槽６１内の処理液を、処理液タンク６２内の設定温度の処理液に交換することにより、水晶振動子の電極に薄膜を再現性よく形成するとともに、成膜処理が行われている間に処理液タンク６２内の処理液を一定の設定温度に調整することにより、成膜処理を効率よく行うことが実現される。 （もっと読む）

【課題】Ｐｂ含有量が十分に低減されており、十分優れた機械的品質係数を有するとともに駆動時の発熱を低減することが可能な圧電磁器、並びにそのような圧電磁器を備える振動子を提供する。
【解決手段】主成分として下記一般式（１）で表わされる化合物を含有し、主成分を基準として、Ｍｎ、Ｆｅ及びＣｕから選ばれる少なくとも一つの元素を０．０４〜０．６質量％含有する圧電磁器１及び該圧電磁器１と電極２，３を備える振動子１０を提供する。
Ｃａ_ｘＢａ_１−ｘＴｉＯ_３・・・（１）
（上記一般式（１）中、ｘは、０．０５≦ｘ≦０．２０を満たす。） （もっと読む）

【課題】特定の複酸化物を含有する圧電磁器、及びその製造方法、並びにこの圧電磁器を圧電体として備える圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明の圧電磁器は、Ｐｂ、Ｚｒ及びＴｉを含むペロブスカイト型結晶構造を有する第１複酸化物と、Ｌｉ_２ＷＯ_４及びＬｉ_２Ｗ_２Ｏ_７のうちの少なくとも一方（第２複酸化物）とを含有する。また、本発明の圧電磁器の製造方法は、第１複酸化物となる原料粉末を混合し、仮焼し、仮焼粉末を成形して成形体とし、この成形体を焼成し、焼成体を分極処理する圧電磁器の製造方法であって、仮焼粉末に第２複酸化物の粉末を配合する。更に、本発明の圧電素子は、本発明の圧電磁器からなる圧電体と、その表面に設けられた一対の電極とを備える。 （もっと読む）