【課題】熱処理における温度変化に対して周波数変動の少ない圧電振動片および圧電デバイスを提供する。
【解決手段】矩形形状の圧電振動片２０は、第１面と、その第１面の反対面の第２面とを有し、所定の熱膨張係数を有する圧電片２０と、所定の熱膨張係数よりも大きな熱膨張係数を有し、下地の第３電極パターン２７の上に形成され、第１面に形成される第１電極膜２３と、所定の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有し、第２面に形成される第２電極膜２５と、を有する。第１電極パターン２３および第２電極パターン２５はともに、圧電振動片２０の中央領域に形成され、中央領域から端部へ延びる第１引き出し電極２３−ａおよび第２引き出し電極２５−ａを有している。 （もっと読む）

【課題】パッケージ内に圧電振動片を片持ち式に接合する圧電デバイスにおいて、圧電振動片の接合角度を確実に一定に揃えることを可能として、発振の不良を防止し、周波数調整が適切にされるようにした圧電デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】製造方法におけるマウント工程で、前記パッケージ３７側に熱硬化性の接着剤４３，４３を塗布し、そのひとつの端部３２ａとは反対の端部３２ｂを前記塗布された該接着剤の上に載置し、上方から磁界を作用させる治具２０を前記圧電振動片３２の上に配置して、該治具の磁界を前記圧電振動片の前記磁性金属に作用させて、前記ひとつの端部が上を向く傾斜状態とし、該傾斜状態を保持して前記硬化工程を行う。 （もっと読む）

【課題】形状で周波数を制御できる広帯域な共振器において、共振特性のＱ値を向上し、かつ低コストに提供する。
【解決手段】薄膜圧電バルク波高周波共振器において、圧電薄膜と前記圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備して成り、前記共振部と前記連結部は、全て絶縁基板上に薄膜製造装置で成膜されており、前記共振部は、中心を節とするＲａｄｉａｌ Ｅｘｔｅｎｓｉｏｎモードで振動し、前記２個の共振部の圧電薄膜は、膜面に対して垂直方向に分極しており、前記連結部の幅は、前記２個の共振部の幅の１／４以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成され、感知対象物の吸着により固有振動数が変わる感知用の圧電振動子が設けられた感知センサを備えた感知装置において、感知対象物の吸着以外の要因による圧電振動子の周波数の変動による測定精度の低下を抑えること。
【解決手段】感知対象物が吸着されない参照用の圧電振動子が設けられた基準センサと、前記参照用の圧電振動子を発振させるための参照用の発振回路と、前記感知用の発振回路の発振出力と参照用の発振回路の発振出力とを順次取り込み、各発振回路の発振出力の周波数を測定するための測定部と、この測定部にて得られた各発振回路の発振出力の周波数に基づいて、感知センサにおける周波数と基準センサにおける周波数との差分の時系列データを作成するデータ作成手段と、を備えるように感知装置を構成することにより、前記吸着以外の要因による周波数変化を打ち消す。 （もっと読む）

【課題】リフロー後の発振周波数の変動を抑制できると共に、電源投入後の周波数立ち上がり特性を向上できるＳＣカット水晶振動子を提供する。
【解決手段】ＳＣカットの水晶基板１１と、水晶基板１１の表裏面に夫々形成される励振電極１２と、水晶基板１１の２点を支持する支持部材６と、水晶基板１１を気密封止する金属ケース３と、を備えたＳＣカット水晶振動子１であって、水晶基板１１の中心軸を通るＺ軸線上から８０°〜９０°回転させた線上にある水晶基板１１の２つの端部１１ａを支持部材６により支持するようにした。 （もっと読む）

【課題】従来の圧電デバイスでは、高周波モジュール等の基準信号として用いられ、高周波モジュールに搭載後、モールド方法により、絶縁性樹脂を塗布し、固着することによって搭載部品を保護しているが、絶縁性樹脂より蓋体に応力が加わり、蓋体が歪んでしまうといった課題があった。
【解決手段】素子搭載パッドが上主面に形成された絶縁性基体と、この素子搭載パッドに搭載された圧電振動素子と、この圧電振動素子を内包できるように、所定の曲率半径を有するドーム状の外面形状及び内面形状により収納空間を形成し、この収納空間開口部に開口部を囲繞し且つ開口部から延設した鍔部を有する蓋体から成り、この蓋体の鍔部に形成した封止材と、鍔部と対向する形態で絶縁性基体の上主面設けた環状の封止用導体パターンとを固着し、絶縁性基体上に搭載された圧電振動素子を収納空間内に内包され気密封止した構成の圧電デバイス。 （もっと読む）

【課題】プリント基板上に横臥させた状態で圧電振動子本体をヒータに密着させると共に
、圧電振動子本体底部から基板面と平行に延びたリード端子を途中から基板面に向けて屈
曲、或いは湾曲させた構成を備えた表面実装型の高安定圧電発振器において、ヒータによ
って圧電振動子本体内の圧電振動素子に伝達された熱がリード端子を介して基板側へ逃げ
ることにより、圧電振動素子の周波数を高精度に制御することが難しくなり、その結果と
して発振器の出力周波数が変動しやすくなる、という問題を解決する。
【解決手段】金属ケース内に圧電振動素子を気密封止した圧電振動子本体２と、圧電振動
子本体の底部から突出した２本のリード端５子と、を備えた圧電振動子１であって、各リ
ード端子の先端部に対して、リード端子よりも熱伝導性の低い導電性接続部材６を夫々電
気的機械的に接続した。 （もっと読む）

【課題】 プラズマアーク電極とインナーリードとの間だけにアーク放電を発生させて、高品質な圧電振動子を効率良く製造すること。
【解決手段】 シリンダパッケージタイプの圧電振動子を製造する方法であって、圧電振動片２及びプラグ４を、振動片ホルダ及び気密端子ホルダにそれぞれセットするセット工程と、マウント電極１６上にインナーリード２６ａが位置するように位置を調整する調整工程と、プラグを押え工具３５で押さえつけ、インナーリードをマウント電極に密着させる密着工程と、トーチ電極をセットするトーチ電極セット工程と、プラズマアーク放電によりインナーリードとマウント電極とを接合する接合工程と、ケースとステムとを封止する封止工程とを備え、接合工程を行う前に、インナーリードの表面の所定位置に突起部材４１を押し付けて、インナーリードの表面に凹凸を形成する凹凸形成工程を行う圧電振動子の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 共振周波数近傍のノイズを抑制するとともに、電気機械結合係数（ｋｔ^２）の大きな薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】 圧電層と該圧電層を挟んで対向するように形成された上部電極と下部電極とを有する圧電共振器スタックと、該圧電共振器スタックの下に形成された空隙部と、該空隙部を形成するように圧電共振器スタックを支持する基板とからなる薄膜圧電共振器であり、前記上部電極と下部電極とが厚み方向で互いに重なる振動部に、圧電共振器スタック上面から前記空隙部に達するとともに、その径が前記空隙部側で小さくなっている貫通孔を有しており、前記貫通孔の内壁が基板面に対して２０°以上７０°以下の角度を有している。 （もっと読む）

【課題】集積回路素子を凹部空間内表面に接合する際に、集積回路素子を保持搬送している保持治具に、接合部材が付着しやすく、この付着した接合部材が更に凹部空間内表面や集積回路素子表面等に二次付着してしまう。
【解決手段】凹部空間が形成され、段差部が形成され、圧電振動素子接続用電極パッド及び集積回路素子接続用電極パッドが形成されている容器体と、圧電振動素子と、集積回路素子と、蓋体とによって構成されている圧電発振器において、この容器体の凹部空間内最下段底面には、集積回路素子を固着搭載する為の凹部空間開口部に向かって凸形状の搭載台部が形成されている圧電発振器である。 （もっと読む）

【課題】 オイルに浸された状態でも硫化せずに粘度の測定の信頼性を向上させる。
【解決手段】 オイルの粘度を測定する粘度センサ用圧電振動子１０であって、両主面に励振電極２Ａを備えた圧電材料からなる圧電振動素子２と、この圧電振動素子２を支持しつつそれぞれの励振電極２Ａと電気的に接続する導通性部材からなる一対の保持部３と、 この一対の保持部３を貫通させ、該一対の保持部３を絶縁部材Ｇを介して固定する金属部材からなる基台部４と、を備え、励振電極２Ａと一対の保持部３とは導電性接着剤により電気的に接続され、一対の保持部３と基台部４とがクロムめっきされている。 （もっと読む）

【課題】従来の圧電デバイスでは、圧電振動素子の固着を確実に行うために容器体上に熱溶融性物質からなる支持部を配置しているが、支持台を熱により溶融した場合、溶融した支持部素材が凹部空間内表面を移動、或いは圧電振動素子の表面に付着して、圧電振動素子の振動特性の不安定化や圧電デバイスの不良発生原因となる虞があった。
【解決手段】圧電デバイスにおいて、支持台が導電性接着材の熱固化温度よりも高い溶融温度の熱可塑性物質により形成されており、且つこの支持台が凹部空間内底面に形成した窪み部内に一部分を挿入した形態で設けられている圧電デバイス。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、水晶振動子を用いたＱＣＭセンサ素子の水晶基板を挟んで液相に対向する素子引き出し電極幅を狭くし、かつ端部電極の面積を小さくした計測精度の高いＱＣＭセンサを提供すること。
【解決手段】
上記目的を達成する為本発明は、ＱＣＭセンサ素子の容器内側の外部引き出し電極幅、及び端部電極の面積がＱＣＭセンサ素子の露出された主面の金属膜の引き出し電極幅、及び端部電極の面積より狭く、かつ小さく形成され、又、センサ容器内側外部引き出し電極幅、及び端部電極の面積がＱＣＭセンサ素子の露出された主面の金属膜引き出し電極幅、端部電極の面積ともに１０％以上、９０％以下とされ、又、ＱＣＭセンサ容器がセラミック、ガラス、水晶、若しくはプラスチックから成り、又、ＱＣＭセンサ素子の信号引き出し用配線がＱＣＭセンサ容器外面に延在することを特徴とし課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】振動体の支持、固定に伴う振動特性の劣化の低減と、耐衝撃性を向上し、小型化
を可能にする輪郭振動片を実現する。
【解決手段】輪郭振動片１０は、等方性材料からなる柱状の振動体２０と、振動体２０の
端面２１に形成される圧電薄膜３０と、圧電薄膜３０を励振する励振電極３１，３３と、
からなり振動体２０の端部が、入力される複数の特定周波数の励振信号に対応した振動モ
ードにて輪郭振動する。輪郭振動領域以外の部位は振動しない支持領域であって、この支
持領域にて輪郭振動片１０の支持、固定を行う。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動板に生じる各種スプリアス振動を効率的に抑制し、最適な特性調整を行うことのできる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】
水晶振動板１は平板状のＡＴカット水晶振動素子からなり、表裏面の中央領域に各々励振電極１１，１２および各励振電極とつながる引出電極１１１，１２１が形成されている。励振電極の第１の領域１１０はその上面（表面）がクロム層からなり、ドライエッチングにおけるエッチングレートが比較的小さい材料からなっている。第２の領域１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄはその上面（表面）が銀層からなり、前記第１の領域（クロム層）よりエッチングレートが大きい材料からなっている。以上の構成の水晶振動板に対し、励振電極に対してエッチング処理を行うことにより特性の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】特に高次輪郭振動に起因する波形歪みを抑制して、最近の厳しい波形歪み仕様を満たした純正弦波振動が可能な逆メサ型圧電共振子を提供する。
【解決手段】結晶軸の方向を指示する切り欠きを有する圧電板、及び第１、第２電極を備え、前記圧電板は主部と、前記主部の外周に段差部を形成しながら延伸され、前記主部よりも厚い板厚を有する支持部とからなり、少なくとも前記主部の第１、第２面には、各々前記第１、第２電極の一部である第１、第２電極膜が付着されている逆メサ型圧電共振子であって、前記圧電板の第１面に前記段差部を覆う補助膜が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電セラミックスや振動体の熱応力に起因した破損を防止しつつ、超音波の伝達効率等を向上させることができる超音波振動子等を提供すること。
【解決手段】超音波振動子１００は、圧電セラミックス１１０と、この圧電セラミックス１１０で発生する超音波を伝達する振動体１２０とを備える。そして、圧電セラミックス１１０と振動体１２０との間には中間板１３０が介在している。この中間板１３０は、その熱膨張係数が、圧電セラミックス１１０の熱膨張係数と振動体１２０の熱膨張係数との間の値を有し、かつ、その音響インピーダンスが、圧電セラミックス１１０の音響インピーダンスと振動体１２０の音響インピーダンスとの間の値を有する。 （もっと読む）

メガソニックプロセス装置および方法は、少なくとも３００ｋＨｚの基本共振周波数で厚さ方向モードで作動する１つ以上の圧電振動子を備える。発生器は、所定のスイープ周波数領域で変動する変動周波数駆動信号で振動子を起動する。発生器は、全振動子の共振周波数を含むスイープ周波数領域中で駆動信号の周波数を繰り返し変動させあるいはスイープする。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、生産効率の高い微少質量測定用センサ（ＱＣＭセンサ素子）の製造方法、及びその素子を提供することである。
【解決手段】
上記の目的を達成する為に本発明は、水晶基板の表面に金属膜を形成してなる水晶振動子を用いたＱＣＭセンサ素子の製造方法において、水晶基板をラッピングする工程（Ｓ１０１）と、この水晶基板をエッチングする工程（Ｓ１０２）と、水晶基板の表面に電極となる金属膜を形成する工程（Ｓ１０３）と、先の金属膜をポリッシングする工程（Ｓ１０４）とからなることを特徴とし、微少質量測定用センサ素子の表面に形成された電極となる金属膜が形成される水晶基板の表面粗さがＲｚ＝１μｍ以下、かつ、０．０５μｍ以上にラッピングされ平坦化されており、金属膜の厚みが先の表面粗さＲｚの２倍以上、かつ、１０倍以下であることを特徴として課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子およびこれを用いた圧電振動板を薄型化するとともに、圧電素子の小型化、圧電振動板の音圧の向上を図る。
【解決手段】 積層体１２の積層方向に３つの圧電体層１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを備えており、圧電体層１２Ａの第１の主面上に第１の電極１４Ａ及び第２の電極１７Ａが間隙１１を挟んで設けられ、第２の主面上に第１の電極と対向する第３の電極１７Ｂ及び第２の電極と対向する第４の電極１４Ｂが間隙を挟んで設けられ、第１の電極と第４の電極とが接続導体１５Ａ、スルーホール導体１６Ａ及び１６Ｂを経由して接続され、第２の電極と第３の電極とが接続導体１８Ａ、スルーホール導体１９Ａ及び１９Ｂを経由して接続されている。従って、同じ音圧を得るために必要な圧電素子１０の面積寸法を削減して、小型化を実現することができる。 （もっと読む）