【課題】 枠体と一体的に接続される圧電振動片を有する圧電振動体を利用して作製される圧電デバイスにおいて、圧電振動片が極めて小さくなると、圧電振動片が接続部を介して枠体としっかりと固定されてしまうことで、圧電振動片の振動が阻害され、その結果、クリスタルインピーダンス（ＣＩ）値の増加などにより、圧電デバイス特性の劣化を引き起こす。
【解決手段】 圧電振動片と枠体とが接続部を介して一体に形成された圧電振動体を、基板部材に形成された配線電極と圧電振動片に形成された接続電極とを対応させて接合し、基板部材と圧電振動体とを電気的および機械的に接続し、圧電振動体の接続部を切断することで圧電振動片と枠体とを分離した後、枠体上面に蓋体を接合して圧電振動片を封止する圧電デバイスの製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で共振周波数を高くすることが可能な薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】基板１の中央部に矩形状の凹部２が形成され、この凹部２上に圧電膜３が形成される。圧電膜３は、円盤部４と、支持部５とを有する。円盤部４と支持部５は一体に形成されている。圧電膜３の上には上部電極６が形成され、圧電膜３の下には下部電極７が形成される。上部電極６は、それぞれ等しい幅を持ち同じ間隔で配置される同心状の複数の円環部８と、これら円環部８を相互に接続するバスバー９とを有する。下部電極７は、圧電膜３の裏面全体に形成されている。幅と間隔が等しい同心状の複数の円環部８を有する上部電極６を備えるため、共振時のＱ値を高くでき、面積も削減でき、共振周波数の精度も高くでき、高周波動作も可能な薄膜圧電共振器を実現できる。 （もっと読む）

【課題】小型ＡＴカット水晶振動素子の直列共振子抵抗を改善すると共に共振周波数近傍
の不要振動を抑圧する手段を得る。
【解決手段】Ｘ軸方向を長手方向、Ｚ’軸方向を短手方向とし、前記長手方向の両端を長
軸対短軸比が略１．２６である半楕円状に形成した水晶板と、該水晶板の両主面に該水晶
板の形状と相似形に形成した電極と、を備えた水晶振動素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】小型化をしても、実装強度を確保することができる圧電デバイスを提供すること
。
【解決手段】厚み方向の中央付近に配置された基板１２と、基板１２の上面１２ａに配置
され、基板１２を底部にするようにして圧電振動片２０を収容するためのキャビティＳ１
が形成された振動子パッケージ２８と、基板１２の下面１２ｂに配置された電子部品３０
とを備えた圧電デバイス１０であって、電子部品３０は、基板１２の下面１２ｂに配置さ
れた枠状部材３９の内側に収容されて、この枠状部材３９の下端部３９ｂに設けられた実
装端子部４２と電気的に接続されており、実装端子部４２は枠状部材３９の外側の側面部
３９ｃに回り込んでいる。 （もっと読む）

【課題】アイソレーションや放熱特性を劣化させることなく、携帯通信機器の小型化、低価格化を可能とする送受信チップパッケージを提供すること。
【解決手段】送信用のフィルタを有する送信チップ１２Ｔ、１４Ｔと、受信用のフィルタを有する受信チップ１２Ｒ、１４Ｒとを積層し接合させて送受信パッケージ１２、１４を構成し、放熱特性を劣化させないように、送受信パッケージ１２、１４の送信チップ１２Ｔ、１４Ｔをインピーダンス整合回路１８を内蔵するインターポーザ基板１６に搭載する。 （もっと読む）

【課題】従来技術において、水晶素板をコンベックス形状に加工するために数十時間〜数百時間掛かっている。又、従来技術で使用している装置では、加工容器内に数千枚単位で水晶素板を投入しなければならず、少量ロット時に対応が難しくなる。更に、研磨容器内での個々の水晶素板の表面研磨状態を制御管理することができないので、投入ロット内で表面形状にバラツキが生じる。
【解決手段】水晶素板の表裏主面上に主面間で対向するように形成され励振用電極と、この励振用電極から水晶素板の外縁部へ延設した引き出し電極とが形成されてなる水晶振動素子において、前記励振用電極の中心を同心とする円又は円弧状の溝部が少なくとも１本以上該水晶素板の主面に超音波スピンドル手段により形成されている水晶振動素子及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、接合材の水晶素板との接合性を良好にし、水晶素板が受ける応力を軽減した水晶素板の支持構造を提供するものである。
【解決手段】
上記の目的を達成するため本発明は、水晶素板の表裏に励振電極を形成し、前記励振電極から引き回された引出電極を金属ベースから延びる２本の金属端子とつながるサポート板と接合材で保持固定する水晶振動子の支持構造において、前記励振電極から引き回された引出電極の一方は前記金属端子とサポート板で保持され、引出電極の他方は前記金属端子とサポート板の、
前記サポート板の幅方向の少なくとも一部に狭部が存在する水晶振動子の支持構造である。また、狭部に代えて、前記サポート板の一部に貫通孔をあけることにより目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】 板状の圧電片の表面に当該圧電片を励振させる箔状の電極とを備えた圧電振動子において、高温状況下においても電極の劣化を抑えることができる圧電振動子を提供すること。また高温の温度測定に好適な温度センサを提供すること。
【解決手段】 前記電極は、圧電片の表面に形成され、クロム、チタン、ニッケル、アルミニウム及び銅から選ばれる少なくとも一種または前記圧電片に対する密着性がこれら金属と同等の第１の金属層と、この第１の金属層の表面に形成された金あるいは銀からなる第２の金属層と、この第２の金属層の表面に形成されたクロムからなる第３の金属層と、からなる。この圧電振動子を用いた温度センサは、３００℃以上の高温領域においても高精度に温度測定することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、反りのない圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】進行波を発生させるレゾネータ４と、レゾネータ４の表面に形成された下部電極（第１電極層）３と、下部電極３上に形成された圧電薄膜（第１圧電薄膜）２と、圧電薄膜２上に形成された複数の上部電極（複数に区画された第２電極層）１ａ〜１ｄおよび１１ａ〜１１ｄとで構成された積層構造を備えた圧電素子部９と、レゾネータ４の裏面に形成され、圧電素子部９の積層構造のいずれか１層と同一の積層構造を備え、圧電素子部９に生じる内部応力を補償する応力補償膜８とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】歪みや応力が水晶素板の発振周波数変化や経年変化などの諸特性にあたえる悪影響を最小限にする。
【解決手段】水晶素板は、円形状の励振部と、励振部と同心のリング状の支持部と、これら励振部と支持部とを一体で繋ぐ２つの橋梁部とから構成されており、それぞれの橋梁部は水晶素板が保持部により保持されている位置から±９０°回転した方位で、且つ水晶素板の中心に対して点対称となる位置に形成されており、励振電極からそれぞれ延設した引出電極が橋梁部を通って形成され保持リードと導通している形態の水晶振動子である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、反りのない圧電薄膜振動子およびそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】進行波を発生させる薄板状のレゾネータ４と、レゾネータ４表面に形成された第１の電極３と、第１の電極３上に形成された圧電薄膜２と、圧電薄膜２上に形成された複数の第２の電極１ａ〜１ｄおよび１１ａ〜１１ｄとを備えた圧電素子９と、圧電素子９に生じる内部応力を補償する応力補償膜８とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、接合材の水晶素板との接合性を強固にしながらも、水晶素板の励振領域に加わる応力を軽減した水晶素板の支持構造を提供するものである。
【解決手段】
上記の目的を達成するため本発明は、丸板形状の水晶素板に金属電極を配置し励振領域を形成し、該金属電極から伸びる引出電極を支持、固定する水晶振動子において、前記水晶素板の外周内側に円周状の貫通溝を形成し、前記貫通溝の一部に切り欠き部を設けて引出電極領域とし、前記引出電極が前記励振領域から延びる引出電極領域まで延在し前記引出電極領域で導通と保持されることにより目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、低コストで良好な圧電特性が得られる圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】たわみ進行波を発生させるレゾネータ４と、レゾネータ４上に形成された下部電極３と、下部電極３上にエピタキシャル成長により形成された圧電薄膜２と、圧電薄膜２上に形成された上部電極部１および上部電極部１１とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 横モード振動により生じるスパイクなどの不規則な成分を含まない吸収及び／又は伝送スペクトルを有する薄膜圧電共振器および薄膜圧電フィルタを提供する。
【解決手段】 本発明の薄膜圧電共振器は、第１の面及び第２の面を有する圧電シートと、前記第１の面上の導電性の層から成る第１の電極と、前記第２の面上の導電性の層から成る第２の電極とを有し、前記第１の電極の一部は前記圧電シートを挟んで前記第２の電極の少なくとも一部分に重なり合って圧電振動領域を形成している薄膜圧電共振器であり、圧電シートの厚み方向から見た前記圧電振動領域の形が、長さの等しい２つの直線を含む３つの辺からなる。また、薄膜圧電フィルタは、圧電振動領域を構成する長さの等しい２辺の内の１辺が対向するように、薄膜圧電共振器が配置されている。 （もっと読む）

【課題】相異なるサイズを有するキャビティを同時にエッチングしても所望のサイズに正確にエッチングし、ノッチ現象が発生する領域を縮小することによって各キャビティ間の間隔を縮めることができ全サイズを縮小すると同時に、各共振器を接続する配線長さを縮めるフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】フィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタ製造方法は、基板上にメンブレイン層を形成する段階と、メンブレイン層の上面に複数の共振器を形成する段階と、基板の下面にマスク層を蒸着した後複数個のメインウィンドウ及びサブウィンドウをパターニングする段階と、メインウィンドウ及びサブウィンドウに沿って基板にキャビティを形成すると共にキャビティ領域にメンブレイン層から所定間隔離れてサブウォールを乾式エッチングにより形成する段階とを含む。 （もっと読む）

機械的発振器（２０）が、サブミクロンの範囲の寸法を有する構成要素を有し、ギガヘルツの範囲において共振モードの発振を生じる。大きな要素（２１）が、小さなサブミクロンの要素（２２）と結合され、直ちに利用可能な技術を用いて検出される大増幅のギガヘルツ周波数発振を生じる。機械的構造は、ビームと、リングとを含む多くのジオメトリに従って形成され得、静電気と、磁気と、熱に関係する力ならびに他の励起技術を用いて励起される。機械的構造は、増幅およびミキシングなどの適用のためにアレイに配列され得、電気的または光学的な相対物よりも衝撃および放熱の環境に対して感応しにくい。
（もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、接合材の水晶素板との接合性を良好にし、水晶素板に加わるひねりの力を軽減する、二本の金属端子を有する水晶振動子における水晶素板の支持構造を提供することである。
【解決手段】
上記の目的を達成するため本発明は、水晶素板が金属ベースを気密貫通する二本の金属端子に固定されたサポート板により支持される水晶振動子の支持構造において、サポート板の水晶素板側の先端部の板厚内側面に接合材が凹部に溜めて保持され、かつ水晶素板に角部が当接する凹部を有することを特徴とし、又、サポート板の水晶素板側の先端部の板厚内側面に、接合材を凹部に溜めて保持され、かつ水晶素板に角部の二点で当接する第１の凹形部を有し、この第１の凹形部に鉛直方向に壁を隔てて連なり、サポート板の板厚内側面に、板厚外側面側にサポート板の板厚内側面側から凹んだ第２の凹形部を有することを特徴として目的を達成する。 （もっと読む）

本発明は、電気的機械的共振器に関するものであって、振動ボディ（４）と、少なくとも１つの励起電極（１４，１６）と、少なくとも１つの検出電極（１０，１２）と、を具備してなる共振器において、振動ボディが、第１ヤング率を有した第１材料から形成された第１部分（２０）と、第１ヤング率よりも小さな第２ヤング率を有した第２材料から形成された第２部分（２２）と、を備え、この第２部分が、少なくとも部分的に、検出電極（１０，１２）に対向して配置されていることを特徴としている。
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【課題】 横方向の共振振動を抑制して電気的特性の向上と高品質、高生産性を図る。
【解決手段】 絶縁基板２と、その主面２ａ上に空洞部３を構成して積層形成された第１電極層４と、圧電層５、第２電極層６とから構成され、第２電極層６内に中心Ｏ１から外方に偏倚した中心Ｏ２を有し、圧電層５を外方に臨ませて開口され、第２電極層２の外周縁部と非平行対向辺を構成する開口形状の疑似共振制御開口１１を形成してなる。
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【課題】ＭＥＭＳ共振器を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ共振器は、内側半径および外側半径によって定義される環状共振器体、内側半径内に配置され、共振器体から間隔を置かれた第１電極、および環状共振器体の周りに配置され、外側半径から間隔を置かれた第２電極を含む。第１電極および前記第２電極は、共振器体の駆動および検出を提供する。ピエゾ抵抗検出およびピエゾ電気駆動／検出技術も利用されえる。全体の面積は１ｃｍ²よりも小さく、複数のアンカーによって支持基板上に配置される。基板は、駆動電極および検出電極を集積回路に接続するアンカーを持つＲＦトランシーバ集積回路を備えうる。共振器は、従来の半導体集積回路製造技術を用いて容易に製造される。 （もっと読む）